可移除过滤器滤芯、其密封阀及改装过滤器外壳的方法与流程

1.本公开大体上涉及一种过滤器组合件。更确切地说，本公开涉及一种过滤器组合件中的可移除过滤器滤芯。


背景技术：

2.过滤器可用于在半导体制造中去除流体中的污染物。过滤器头部可引导流体(例如，液体、水或类似者)通过可移除过滤器。过滤器可配置成在液体穿过过滤器时去除例如固体等污染物。确切地说，过滤器可用于在液体穿过过滤器时去除液体中的固体污染物。随时间推移，过滤器充满所截留的污染物(例如，固体)且随后替换。常规地，过滤器的外壳被排出且接着被移除且被新过滤器替换。


技术实现要素：

3.在实施例中，一种可移除过滤器滤芯包含过滤器外壳和耦合到所述过滤器外壳的开放端的密封阀。过滤器外壳具有容纳过滤器的内部体积。所述密封阀包含用于将所述可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部的第一螺纹。密封阀具有打开位置和关闭位置。打开位置允许流体流入和流出过滤器外壳的内部体积。关闭位置密封过滤器外壳的内部体积。密封阀在关闭位置中配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。
4.在实施例中，用于可移除过滤器滤芯的密封阀包含第一螺纹和第二螺纹。第一螺纹用于将密封阀以可移除方式耦合到过滤器头部。第二螺纹用于将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯。过滤器外壳具有容纳过滤器的内部体积。密封阀具有打开位置和关闭位置。打开位置配置成将流体从过滤器头部引导到过滤器外壳中，且接着从过滤器外壳引导回到过滤器头部。关闭位置配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封过滤器外壳的内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。
5.在实施例中，一种用于改装具有容纳过滤器的内部体积的过滤器外壳的方法。方法包含从过滤器头部移除过滤器外壳，所述移除包含从过滤器头部拧下过滤器外壳。方法还包含将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯，所述耦合包含将过滤器外壳和密封阀旋拧在一起。方法还包含将可移除过滤器滤芯耦合到过滤器头部，所述耦合包含使用密封阀的第一螺纹将可移除过滤器滤芯旋拧到过滤器头部上。密封阀具有打开位置和关闭位置。打开位置允许来自过滤器头部的流体通过密封阀流入和流出过滤器外壳。关闭位置密封过滤器外壳的内部体积。密封阀在关闭位置中配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。
附图说明
6.图1为过滤器组合件的实施例的前透视图。
7.图2为根据实施例的图1的过滤器组合件的分解视图。
8.图3为根据实施例的图1的过滤器组合件的俯视图。
9.图4为根据实施例的在打开位置中沿着图3中的线iv-iv的过滤器组合件的截面视图。
10.图5为根据实施例的在关闭位置中沿着图3中的线iv-iv的过滤器组合件的截面视图。
11.图6a为根据实施例的在打开位置中的图4中的过滤器组合件的密封阀的前透视图。
12.图6b为根据实施例的在关闭位置中的图4中的过滤器组合件的密封阀的前透视图。
13.图7为根据实施例的图5中的过滤器组合件的密封阀的前透视图。
14.图8为改装过滤器外壳的方法的框流程图。
15.相同数字表示相同特征。
具体实施方式
16.本公开涉及过滤器，且明确地说，涉及在过滤器组合件中使用的可移除过滤器滤芯。
17.在使用一段时间之后，过滤器随时间推移变得充满所截留的污染物(例如，固体)，且过滤容量减小。举例来说，许多过滤器配置成在使用预定时间量之后或在对预定量的流体进行过滤之后进行更换。常规地，过滤器的外壳被排出且接着被移除且被新过滤器替换。然而，过滤器外壳的此排出可花费额外时间且需要暂停与正过滤的流体相关联的过程。举例来说，在半导体制造中，制造步骤/过程可能会在排出过滤器外壳且接着更换时短暂地延迟。这可引起制造半导体的总体时间的增加。本文所公开的实施例被配置成通过有利地允许可移除过滤器滤芯而不必排出过滤器外壳来解决此问题。
18.图1和2示出过滤器组合件1的实施例。图1为过滤器组合件1的前透视图。过滤器组合件1包含流体入口2和流体出口4。待过滤的流体被供应到流体入口2、由过滤器组合件1过滤，且接着经过滤的流体被引导出过滤器组合件1的流体出口4。过滤器组合件1在流体穿过时去除流体中的固体。在实施例中，流体为液体或大部分为液体。举例来说，液体可以是水(例如，去离子水)、hcl、hno3、异丙醇或类似者。在实施例中，流体为水。过滤器组合件1包含耦合到过滤器头部80的可移除过滤器滤芯10。所去除的固体保持在过滤器滤芯10内。过滤器头部80包含过滤器组合件1的流体入口2和流体出口4。
19.可移除过滤器滤芯10配置成从过滤器头部80移除。举例来说，当到期更换时，可移除过滤器滤芯10被移除。可移除过滤器滤芯10可在执行预定量的过滤之后到期更换。举例来说，在可移除过滤器滤芯10已过滤预定量的流体之后、已从流体过滤预定量的材料、已使用预定时间量、已达到经过滤材料的特定饱和度等。
20.可移除过滤器滤芯10包含过滤器外壳20和密封阀40。密封阀40耦合到过滤器外壳20以形成可移除过滤器滤芯10。密封阀40以可移除方式将可移除过滤器滤芯10耦合到过滤器头部80。如图1中所示，过滤器外壳20通过密封阀40以可移除方式耦合到过滤器头部80。
21.图2为可移除过滤器滤芯10的分解视图。图2示出了当彼此未耦合时的过滤器外壳
20、密封阀40和过滤器头部80。在所示出的实施例中，通过从过滤器头部80拧下密封阀40而使其与过滤器头部80解耦，且通过从过滤器头部80拧下过滤器外壳20而使其与密封阀40解耦。
22.图3为过滤器组合件1的俯视图。图4为沿着图1中的线iv-iv的过滤器组合件1的竖直截面视图。密封阀40具有打开位置和关闭位置。图4示出了在打开位置中的允许流体f穿过过滤器组合件1的密封阀40。图4中提供虚线以说明流体f穿过过滤器组合件1的流动。在打开位置中，允许来自过滤器头部80的流体f穿过密封阀40到达过滤器外壳20、穿过过滤器外壳20且接着穿过密封阀40从过滤器外壳40回到过滤器头部80。密封阀40的打开位置配置成允许流体流入和流出过滤器外壳20的内部体积22。
23.过滤器外壳20包含容纳过滤器24的内部体积22。过滤器24在流体f穿过可移除过滤器滤芯10时对其进行过滤。流体f在其穿过过滤器外壳40时被过滤，使得流动回过滤器头部20(且接着通过流体出口4流出)的流体f为经过滤流体。
24.如所示出的实施例中所展示，过滤器外壳20可呈碗状。过滤器外壳20具有开放端26和封闭端28。开放端26和封闭端28是过滤器外壳20的长度l的相对端。密封阀40耦合到过滤器外壳20的开放端26。开放端26还可被称作流体入口-出口，因为流体f通过其开放端26进入和离开过滤器外壳20。
25.密封阀40包含用于将可移除过滤器滤芯10以可移除方式耦合到过滤器头部80的第一螺纹42a。确切地说，第一螺纹42a配置成用于将可移除过滤器滤芯10的密封阀40以可移除方式耦合到过滤器头部80。如图4中所示，密封阀40可包含具有第一螺纹42a的耦合螺母44。第一螺纹42a配置成旋拧到过滤器头部80的螺纹82以将可移除滤芯10的密封阀40以可移除方式耦合到过滤器头部80。举例来说，密封阀40。
26.在实施例中，密封阀40包含围绕密封阀40的圆周延伸的圆周凹槽46。举例来说，圆周凹槽46可包围密封阀40的阀体48的圆周。密封阀40包含安置于圆周凹槽46中的卡扣环50。当密封阀40耦合到过滤器头部80(例如，旋拧到过滤器头部80上)时，卡扣环50压缩在密封阀40与过滤器头部80之间。如所示实施例中所示，当将密封阀40的耦合螺母44旋拧到过滤器头部80上时，耦合螺母44抵靠着密封阀40推动卡扣环50。当耦合螺母44旋拧到过滤器头部80上时，卡扣环50压缩在耦合螺母44与过滤器头部80之间。
27.密封阀40还包含将密封阀40耦合到过滤器外壳20的第二螺纹42b。第二螺纹42b旋拧到过滤器外壳20的螺纹30(例如，第三螺纹)。在实施例中，密封阀40的第一螺纹42a和过滤器外壳20的螺纹30具有相同结构(例如，螺纹大小、螺纹间距等)。密封阀40的第二螺纹42b旋拧到过滤器外壳20的螺纹30，以将过滤器外壳20和密封阀40耦合在一起。如图4中所示，过滤器外壳20可包含具有螺纹30的耦合螺母32。举例来说，通过将过滤器外壳20的耦合螺母32旋拧到密封阀40上(例如，将耦合螺母32旋拧到第二螺纹42b上)，密封阀40耦合到过滤器外壳20。
28.过滤器外壳20包含设置于过滤器外壳20的开放端26处的第一入口34a、第二入口34b和出口36。举例来说，第一入口34a、第二入口34b和出口36从开放端26延伸到过滤器外壳20中的不同通道。出口36径向安置于第一入口34a与第二入口34b之间。流体配置成使得流体f通过第一入口34a和第二入口34b进入过滤器外壳20，并且通过出口36离开过滤器外壳20(例如，在过滤之后)。
29.密封阀40包含手柄52，所述手柄配置成旋转以使密封阀40在其打开位置与其关闭位置之间转变。在实施例中，手柄52可沿第一方向(例如，顺时针)旋转以将阀40转变到其关闭位置，且沿相反方向(例如，逆时针)旋转以将密封阀40转变到其打开位置。操作人员(例如，技术员等)可旋转手柄52以使密封阀40在其打开与关闭位置之间移动。确切地说，密封阀40包含安置于阀体48中的阀芯54，且手柄52附接到阀芯54。阀芯54可相对于阀体48旋转，且阀芯54配置成与手柄52一起旋转以使密封阀40在其打开和关闭位置之间转变。
30.密封阀40包含第一通道56a、第二通道56b和第三通道56c。通道56a、56b、56c安置于密封阀40的可旋转阀芯52中。通道56a、56b、56c中的每一个延伸穿过可旋转阀芯52。密封阀40配置成使得当处于其打开位置时(例如，如图4中所示)，第一通道56a与过滤器外壳20的第一入口34a对准，第二通道56b与过滤器外壳20的第二入口34b对准，且第三通道56c与过滤器外壳20的出口36对准。当通道沿朝向其相应入口/出口的方向延伸时，每一通道与其相应入口/出口“对准”。
31.如通过图4中的虚线所展示，第一通道56a和第二通道56b将过滤器头部80的流体入口2流体连接到过滤器外壳20的第一入口34a和第二入口34b，且第三通道56c将过滤器外壳20的出口36c流体连接到过滤器头部的流体出口4。举例来说，第一通道56a和第二通道56b将从过滤器头部80的流体入口2的通道供应的流体f引导到过滤器外壳20的入口34a、34b。举例来说，第三通道56c将经过滤流体f从出口36引导到用于流体出口4的过滤器头部80中的通道。
32.应了解，在其它实施例中，过滤器外壳20在其开放端26处可具有不同于三个的数目的入口和出口56a、56b(例如，一个入口、多于两个入口、多个出口等)。在此类实施例中，密封阀40可具有不同于三个的数目的通道56a、56b、56c(例如，与过滤器外壳20中的入口和出口相同数目的对应通道、通道中的两个等)。
33.图5展示当密封阀40处于关闭位置时的过滤器组合件1。可移除过滤器滤芯10配置成在仍以可移除方式耦合到过滤器头部80时使密封阀40移动到关闭位置。当阀密封件40转变到其关闭位置(例如，手柄52和阀芯54旋转到关闭位置)时，关闭位置密封过滤器外壳20的内部体积22。如图5所示，阀密封件40旋转到其关闭位置阻止流体f流动穿过阀密封件40。关闭阀密封件40阻止流体流入和流出过滤器外壳20的开放端26。关闭阀密封件40密封过滤器外壳20的开放端26。
34.在关闭位置中，阀芯54的旋转使得通道56a、56b、56c不再与过滤器外壳的其相应入口/出口34a、34b、36对准。通道56a、56b、56c的侧壁58a、58b、58c阻挡过滤器外壳20的开放端26中的入口/出口34a、34b、36中的每一个。第一通道56a的侧壁58a和第二通道56b的侧壁58b阻挡第一入口34a和第二入口34a，且第三通道58c的侧壁58c阻挡出口36。举例来说，第一通道34a的侧壁58a阻挡第一入口34a，且第二通道34b的侧壁58b阻挡第二入口34b。
35.当从过滤器头部80移除可移除过滤器滤芯10(例如，耦合的过滤器外壳20和密封阀40从过滤器头部80解耦/拧下)时，密封阀40配置成维持内部体积22的密封。在滤芯保持与过滤器头部解耦时，密封阀40配置成维持过滤器外壳20的密封。确切地说，密封阀40的关闭密封过滤器外壳20，使得内部体积22中的液体中的任一者滞留在可移除过滤器滤芯10内。这一点优于先前配置，因为可移除过滤器滤芯10可更快速地移除而不必排出液体。
36.在实施例中，可移除过滤器滤芯10是可重复使用的。可通过使不同流体穿过过滤
器滤芯10来再生过滤器滤芯10以恢复过滤器24的过滤容量。在一个实施例中，不同流体可以是清洁流体(例如氢氟酸或类似者)。在一些实施例中，不同流体可与过滤器24配置成过滤的流体为同一类型/化学物质。举例来说，如果过滤器配置成在使用期间过滤hno3中的固体，那么过滤器配置成通过使干净的hno3穿过过滤器24而再生/清洁。不同流体可例如在流体f的过滤期间去除过滤器24中保留的固体。在一些实施例中，用过的过滤器滤芯10被运到场外以再生/清洁以供再使用。过滤器滤芯10在已再生/清洁后被运回到过滤位置/部位。过滤器滤芯10在运到场外位置期间保持密封。
37.举例来说，用过的过滤器滤芯10配置成以可移除方式耦合到清洁头(未图示)(例如，旋拧到清洁头上)。在以可移除方式耦合到清洁头之后，打开密封阀40，且接着：通过清洁头排出滞留于内部体积22中的液体，且清洁头引导不同流体穿过过滤器滤芯10和其过滤器24以再生/清洁过滤器24。再生的过滤器滤芯10随后与清洁头解耦，且准备再次使用。举例来说，可使再生的过滤器滤芯10返回且再耦合到过滤器头部80以为更多流体f提供过滤40。
38.图6a示出了处于打开位置的密封阀40。图6b示出了处于关闭位置的密封阀40。通过沿第一方向d1(例如，顺时针)旋转手柄52，将密封阀40从打开位置(例如，图6a)转变到关闭位置(例如，图6b)。通过沿相反方向d2(例如，逆时针)旋转手柄52，将密封阀40从关闭位置转变到打开位置。在所示出的实施例中，手柄52旋转90度以使密封阀40在打开和关闭位置之间转变。在实施例中，手柄52可配置成旋转至少90度以使密封阀40在打开和关闭位置之间转变。
39.密封阀40可包含保持器固定夹58以防止意外地从关闭位置转变。保持器固定夹58配置成防止手柄52从关闭位置旋转。当密封阀40旋转到关闭位置中时，固持夹58移动到密封阀40中的凹槽60中。一旦安置于凹槽60中，固持夹58的末端分别邻接密封阀40的主体48，且手柄52防止手柄旋转。保持器固定夹58防止密封阀40从关闭位置移开，直到固持夹58移动离开凹槽60为止。举例来说，通过推动固持夹58以展开/打开固持夹58，固持夹58移出凹槽60。
40.图7展示具有用于密封阀40的扳手90的密封阀40。当耦合螺母44旋拧到过滤器头部80上时，扳手90用于固定密封阀40且防止其旋转。密封阀40的主体48包含两组水平肋62。两组水平肋62分别设置于密封阀40的相对侧上(例如，一组在阀体48的前侧上且第二组在其后侧上)。狭槽64形成于每一组水平肋62之间。
41.扳手90具有面向第一内表面92a和面向第一内表面92a的第二内表面92b。轨道94a、94b分别从每一内表面92a、92b突出且沿着所述每一内表面延伸。扳手90配置成通过使其内表面92a、92b中的每一个分别接触其相应对水平肋62的顶部且其轨道94a、94b安置于相应狭槽64中来固定密封阀40。举例来说，第一内表面92a接触在密封阀40的前部上的水平肋62的顶部，且轨道94a装配在所述水平肋62之间的狭槽64中。
42.展示过滤器组合件1，其中过滤器滤芯10向下耦合到过滤器头部80上。然而，应了解，可移除过滤器滤芯10在其它实施例中可在不同方向上耦合到过滤器头部80。举例来说，在其它实施例中，过滤器滤芯10可在水平方向上或向上耦合到过滤器头部80。
43.图8示出改装过滤器外壳(例如，图2中的过滤器外壳20)的方法1000的框流程图。过滤器外壳具有容纳过滤器(例如，过滤器24)的内部体积(例如，内部体积22)。举例来说，
方法1000可用于改装原先预期直接以可移除方式耦合到过滤器头部(例如，过滤器头部80)的过滤器外壳(例如，过滤器外壳20)。方法开始于1010。
44.在1010处，从过滤器头部移除过滤器外壳。从过滤器头部移除过滤器外壳1010包含从过滤器头部拧下过滤器外壳1012。在实施例中，从过滤器头部拧下过滤器外壳1012可包含从过滤器头部拧下过滤器外壳的耦合螺母(例如，耦合螺母44)。方法1000接着进行到1020。
45.在1020处，将密封阀(例如，密封阀40)耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯(例如，可移除过滤器滤芯10)。将密封阀耦合到可移除过滤器1020包含将过滤器外壳和密封阀旋拧在一起1022。在实施例中，将过滤器外壳和密封阀旋拧在一起1022可包含将过滤器外壳的耦合螺母旋拧到密封阀上。方法1000接着进行到1030。
46.在1030处，将可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部。将滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部1030包含使用密封阀的第一螺纹(例如，第一螺纹42a)将可移除过滤器滤芯旋拧到过滤器头部上1032。在实施例中，将可移除过滤器滤芯旋拧到过滤器头部上1032包含将密封阀的耦合螺母(例如，耦合螺母44)旋拧到过滤器头部上。
47.应了解，可修改实施例中的方法1000以包含如上文相对于图1到5中的过滤器组合件1、图6a和6b中的密封阀40和/或图7中的扳手90和密封阀40所描述的特征。
48.方面：
49.方面1到11中的任一个可与方面12到19中的任一个组合，且方面12到16中的任一个可与方面17到19中的任一个组合。
50.方面1.一种可移除过滤器滤芯，其包括：过滤器外壳，其具有容纳过滤器的内部体积；以及密封阀，其耦合到过滤器外壳的开放端，密封阀包含用于将可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部的第一螺纹，密封阀具有：打开位置，其允许流体流入和流出过滤器外壳的内部体积，以及关闭位置，其密封过滤器外壳的所述内部体积，密封阀在关闭位置中配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。
51.方面2.根据方面1所述的可移除过滤器滤芯，其中密封阀包含旋拧到过滤器外壳的第三螺纹以耦合过滤器外壳和密封阀的第二螺纹。
52.方面3.根据方面2所述的可移除过滤器滤芯，其中过滤器外壳包含具有第三螺纹的耦合螺母，所述耦合螺母旋拧到密封阀上以将密封阀耦合到过滤器外壳。
53.方面4.根据方面2和3中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中密封阀的第一螺纹和过滤器外壳的第三螺纹具有相同螺纹结构。
54.方面5.根据方面1到4中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中密封阀的打开位置配置成允许可移除过滤器滤芯在以可移除方式耦合到过滤器头部时：从过滤器头部接收流体、使流体穿过过滤器以进行过滤以及随后将流体引导回到过滤器头部。
55.方面6.根据方面1到5中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中密封阀包含具有第一螺纹的耦合螺母，所述耦合螺母配置成旋拧到过滤器头部上以将密封阀以可移除方式耦合到过滤器头部。
56.方面7.根据方面6所述的可移除过滤器滤芯，其中密封阀包含：圆周凹槽；以及安置于圆周凹槽中的卡扣环，所述卡扣环配置成在耦合螺母旋拧到过滤器头部上时通过耦合
螺母压靠过滤器头部。
57.方面8.根据方面1到7中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中过滤器外壳包含第一入口、第二入口和出口，并且密封阀包含第一通道、第二通道和第三通道，其中在打开位置中：第一通道与第一入口对准，第二通道与第二入口对准，且第三通道与出口对准，并且在关闭位置中：第一通道的侧壁阻挡第一入口，第二通道的侧壁阻挡第二入口，且第三通道的侧壁阻挡出口。
58.方面9.根据方面1到8中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中密封阀包含可旋转以使密封阀在打开位置与关闭位置之间转变的手柄。
59.方面10.根据方面1到9中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中将密封阀从打开位置转变到关闭位置配置成密封过滤器外壳，使得内部体积内的任何液体滞留在可移除过滤器滤芯内。
60.方面11.根据方面1到10中任一方面所述的可移除过滤器滤芯，其中过滤器配置成通过使第二流体穿过可移除过滤器滤芯而再生。
61.方面12.一种用于可移除过滤器滤芯的密封阀，所述密封阀包括：第一螺纹，其用于将密封阀以可移除方式耦合到过滤器头部；以及第二螺纹，其用于将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯，过滤器外壳具有容纳过滤器的内部体积，其中密封阀具有：打开位置，其配置成将流体从过滤器头部引导到过滤器外壳中，且接着从过滤器外壳引导回到过滤器头部，以及关闭位置，其配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过滤器头部时密封过滤器外壳的内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。
62.方面13.根据方面12所述的密封阀，其进一步包括：具有所述第一螺纹的耦合螺母，所述耦合螺母配置成旋拧到过滤器头部上以将密封阀以可移除方式耦合到过滤器头部。
63.方面14.根据方面13所述的密封阀，其中密封阀包含：圆周凹槽；以及安置于圆周凹槽中的卡扣环，所述卡扣环配置成在耦合螺母旋拧到过滤器头部上时通过耦合螺母压靠过滤器头部。
64.方面15.根据方面12到14中任一方面所述的密封阀，其中密封阀包含第一通道、第二通道和第三通道，其中在打开位置中：第一通道和第二通道配置成与可移除过滤器的第一入口和第二入口对准，且第三通道配置成与可移除过滤器的出口对准，并且在关闭位置中：第一通道的侧壁和第二通道的侧壁配置成阻挡可移除过滤器的第一入口和第二入口，且第三通道的侧壁阻挡出口。
65.方面16.根据方面12到15中任一方面所述的密封阀，其中密封阀包含可旋转以使密封阀在打开位置与关闭位置之间转变的手柄。
66.方面17.一种改装过滤器外壳的方法，所述过滤器外壳具有容纳过滤器的内部体积，所述方法包括：从过滤器头部移除过滤器外壳，所述移除包含从过滤器头部拧下过滤器外壳；将密封阀耦合到过滤器外壳以形成可移除过滤器滤芯，所述耦合包含将过滤器外壳和密封阀旋拧在一起；将可移除过滤器滤芯耦合到过滤器头部，所述耦合包含使用密封阀的第一螺纹将可移除过滤器滤芯旋拧到过滤器头部上，其中密封阀具有：打开位置，其允许来自过滤器头部的流体通过密封阀流入和流出过滤器外壳，以及关闭位置，其密封过滤器外壳的内部体积，密封阀在关闭位置中配置成在可移除过滤器滤芯以可移除方式耦合到过
滤器头部时密封内部体积，且在可移除过滤器滤芯保持未耦合时维持密封。
67.方面18.根据方面17所述的方法，其中将过滤器外壳和密封阀旋拧在一起包含将过滤器外壳的第一耦合螺母旋拧到密封阀上，且将可移除过滤器滤芯旋拧到过滤器头部上包含将密封阀的第二耦合螺母旋拧到过滤器头部上。
68.方面19.根据方面17和18中任一方面所述的方法，其中密封阀包含可旋转以使密封阀在打开位置与关闭位置之间转变的手柄。
69.本技术中公开的实例在所有方面中都被视为说明性和非限制性的。本发明的范围是由所附权利要求书而不是由前述描述来指定；且在所述权利要求书的等效性的含义和范围之内的所有变化均打算涵盖于其中。