一种显影液喷淋装置的制作方法

1.本实用新型涉及显影液喷淋领域，特别涉及一种显影液喷淋装置。


背景技术：

2.显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂，对于负显影工艺，显影液通常是一种有机溶剂，如二甲苯，对于正显影工艺，显影液是一种用水稀释的强碱溶液，早期的是氢氧化钾与水的混合物，但这两种都包含了可动离子玷污，最普通的是四甲基氢氧化铵。
3.现有的显影液部分循环利用非常常见的，但在显影液二次利用的同时，不可避免的会混入垃圾杂质，垃圾杂质的摄入会影响后续的喷淋作业，甚至堵住喷淋管的喷嘴，并且现有技术中大多采用固定喷头的方式进行喷淋，针对单一产品该喷淋方式是能够有效显影溶解的，但是真多多个产品同时喷淋时，难免会喷淋不匀，进而影响产品质量。


技术实现要素：

4.(一)要解决的技术问题
5.为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种显影液喷淋装置。
6.(二)技术方案
7.为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：
8.一种显影液喷淋装置，包括箱体、设置在所述箱体上的喷淋机构以及设置在所述箱体底部的循环过滤机构，所述喷淋机构包括设置在所述箱体开口两侧壁上的导轨，所述导轨内滑动安装有滚轮，所述滚轮上连接有支架，两个所述支架间固定安装有若干个喷淋管，所述喷淋管上开设多个喷淋喷嘴，所述支架连接有驱动其沿所述导轨往复移动的驱动组件。
9.优选的，所述驱动组件包括伺服电机、安装在所述伺服电机输出端上的驱动杆、安装在所述驱动杆末端位置的连接板、设置在所述连接板底部的活动柱以及设置在两个所述支架间的两条横梁，所述活动柱位于两条所述横梁间。
10.优选的，所述喷淋管呈口字型，所述喷淋管的四周内壁均设置有所述喷淋喷嘴，若干个所述喷淋管间相互连通。
11.优选的，所述循环过滤机构包括设置在所述箱体底部的过滤组件，所述过滤组件通过导管依次连接水泵和所述喷淋管，实现显影液循环。
12.优选的，所述过滤组件包括开设在所述箱体底部的排液口以及与所述排液口螺纹连接的过滤管，所述过滤管内沿径向呈阶梯状向下收缩，所述过滤管内的阶面上安装有过滤板，所述过滤管底部密封转动连接所述导管。
13.(三)有益效果
14.本实用新型的有益效果在于：采用上述技术方案，将产品放入箱体内，通过循环过滤机构能够将箱体内的显影液输送至喷淋管内，并在输送过程中对显影液内混入的杂质进
行过滤，显影液输送至喷淋管后，通过喷淋喷嘴将显影液喷洒在产品上，在驱动组件的驱动下，支架能够沿导轨往复移动，从而使得喷淋管也能够往复移动，在移动过程中，将显影液均匀喷洒在产品上；从而提供了一种喷淋均匀且能够滤出循环使用的显影液中的杂质的显影液喷淋装置。
附图说明
15.图1为一种显影液喷淋装置的结构示意图；
16.图2为喷淋机构的结构示意图一；
17.图3为喷淋机构的结构示意图二；
18.图4为一种显影液喷淋装置的主视结构示意图；
19.图5为图4中a部放大示意图。
20.【附图标记说明】
21.1、箱体；
22.2、喷淋机构；21、导轨；22、滚轮；23、支架；24、喷淋管；25、伺服电机；26、驱动杆；27、连接板；28、活动柱。
23.3、循环过滤机构；31、过滤组件；311、排液口；312、过滤管；313、过滤板；32、导管；33、水泵。
具体实施方式
24.为了更好的解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型作详细描述。
25.请参照图1至图3，本实用新型提供一种显影液喷淋装置，包括箱体1、设置在箱体1上的喷淋机构2以及设置在箱体1底部的循环过滤机构3，喷淋机构2包括设置在箱体1开口两侧壁上的导轨21，导轨21内滑动安装有滚轮22，滚轮22上连接有支架23，两个支架23间固定安装有若干个喷淋管24，喷淋管24上开设多个喷淋喷嘴，支架23连接有驱动其沿导轨21往复移动的驱动组件；使用时，将产品放入箱体1内，通过循环过滤机构3能够将箱体1内的显影液输送至喷淋管24内，并在输送过程中对显影液内混入的杂质进行过滤，显影液输送至喷淋管24后，通过喷淋喷嘴将显影液喷洒在产品上，在驱动组件的驱动下，支架23能够沿导轨21往复移动，从而使得喷淋管24也能够往复移动，在移动过程中，将显影液均匀喷洒在产品上。
26.本实施例中，驱动组件包括伺服电机25、安装在伺服电机25输出端上的驱动杆26、安装在驱动杆26末端位置的连接板27、设置在连接板27底部的活动柱28以及设置在两个支架23间的两条横梁，活动柱28位于两条横梁间；通过伺服电机25带动驱动杆26旋转，驱动杆26驱动连接板27圆周旋转，在连接板27圆周旋转一周的过程中，活动柱28拉动横梁移动，使得横梁能够沿导轨21往复移动一次，因此，伺服电机25在不断旋转过程中，能够驱动支架23沿导轨21不断往复移动。
27.本实施例中，喷淋管24呈口字型，喷淋管24的四周内壁均设置有喷淋喷嘴，若干个喷淋管24间相互连通；喷淋管24内部为喷淋区域，实现全方位喷淋，箱体1内设置有置物板，置物板位于喷淋管24的喷淋区域内。
28.参考图4和图5，本实施例中，循环过滤机构3包括设置在箱体1底部的过滤组件31，过滤组件31通过导管32依次连接水泵33和喷淋管24，实现显影液循环；通过水泵33将箱体1内的显影液输送至水泵33，再通过水泵33将显影液输送喷淋管24。
29.参考图4和图5，本实施例中，过滤组件31包括开设在箱体1底部的排液口311以及与排液口311螺纹连接的过滤管312，过滤管312内沿径向呈阶梯状向下收缩，过滤管312内的阶面上安装有过滤板313，过滤管312底部密封转动连接导管32；显影液通过排液口311进入过滤管312内，并通过过滤板313能够将杂质滤出，螺纹连接的过滤管312是可拆卸的，能够通过拆卸过滤管312将过滤板313取出更换，以便保证本装置的过滤效果。
30.本实用新型的工作原理如下：将产品放入箱体1内，通过循环过滤机构3能够将箱体1内的显影液输送至喷淋管24内，并在输送过程中对显影液内混入的杂质进行过滤，显影液输送至喷淋管24后，通过喷淋喷嘴将显影液喷洒在产品上，在驱动组件的驱动下，支架23能够沿导轨21往复移动，从而使得喷淋管24也能够往复移动，在移动过程中，将显影液均匀喷洒在产品上；从而提供了一种喷淋均匀且能够滤出循环使用的显影液中的杂质的显影液喷淋装置。
31.涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
32.以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
33.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。