一种高纯氩气的提纯装置的制作方法

本技术涉及氩气提纯，具体为一种高纯氩气的提纯装置。

背景技术：

1、氩气由于是惰性气体，氩气是目前工业上应用很广的稀有气体，它的性质十分不活泼，既不能燃烧，也不助燃，在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门，对特殊金属，例如铝、镁、铜及其合金和不锈钢在焊接时，往往用氩作为焊接保护气，防止焊接件被空气氧化或氮化，还可以作为制造单晶体以及多晶体的保护气体，为了提高硅晶体的质量，选择高纯度的氩气至关重要，既可以提高晶体使用寿命，还可以满足市场的需求。

2、一般对于气体来说，纯度是衡量该气体是否优质的一个标准，氩气纯化过程是通过净化提纯装置来实现，氩气纯化方法可分为直接脱氧法和吸附剂纯化法，直接脱氧法：使用活性金属与氩气中的氧气进行反应，消化掉氩气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸附掉的氩气中的水分子，使氩气的含水量小于1ppm；而吸附剂纯化法：采用吸气净化剂或者干燥剂，吸附剂可以与氩气中微量杂质形成稳定化合物，从而达到对氩气提纯的效果，其中使用吸附剂纯化法提纯可得到高纯氩，但吸附剂纯化法会大量消耗吸附剂，使得提纯设备投资大、提纯成本高昂，且市面上有些提纯设备过于固定化，无法根据需求灵活调整设备结构，因此提出一种高纯氩气的提纯装置。

3、现有专利(公开号：cn218530309u)公开了一种氩气净化提纯设备，包括壳体；所述壳体的顶端安装有桶盖；所述桶盖的顶端固接有进水管；所述壳体的中部固接有鼓风机；所述壳体的中部固接有进气管；所述壳体的内侧壁固接有分割网；所述分割网的底端固接有分割板；所述桶盖的内侧壁固接有过滤件；所述过滤件的内部固接有过滤板；所述过滤板上固接有过滤球；所述过滤板的内部开设有一号排气孔；通过鼓风机的输出把混合气体吸入壳体的内部，通过分割板和分割网的配合可以提高水对气体的过滤，通过过滤板和过滤球的配合可以减少气体中的杂质，避免气体中杂质过多影响后续的氩气提纯效率。发明人在实现本实用新型的过程中发现现有技术存在如下问题：1、现有设计单纯使用吸附剂进行过滤，吸附效率较低，且吸附剂更换频率较高，增加了氩气提纯的成本；2、现有设计提纯氩气为固定装置，无法根据输出气口氩气的纯度进行增减提纯结构，设备灵活性不高。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高纯氩气的提纯装置，以解决上述背景技术中提出的单一提纯结构效率低成本高和无法根据氩气质量调整设备提纯结构等问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯氩气的提纯装置，包括进气口，所述进气口的一端固定有加热过滤箱；

2、所述加热过滤箱的一端贴合有初筛网，所述加热过滤箱的顶部和一侧分别贯穿有加热模块，所述加热过滤箱的内壁贴合有钛颗粒，所述加热过滤箱的另一端固定有对接管，所述对接管的一端固定有吸附塔；

3、所述吸附塔的外壁顶部贴合有密封环，所述吸附塔的内壁一端贴合有过滤环，所述过滤环的内壁填充有吸附剂，所述吸附塔的顶部连接有顶盖组件。

4、进一步优选的，所述初筛网设在进气口与加热过滤箱的中间，且进气口与加热过滤箱之间构成活动结构。

5、进一步优选的，所述加热模块与加热过滤箱之间构成活动结构，且钛颗粒贴合于两组加热模块之间。

6、进一步优选的，所述吸附塔的顶部通过密封环连接顶盖组件或另一组吸附塔，且最下层吸附塔的底部为密封结构。

7、进一步优选的，所述过滤环与吸附剂构成活动结构，且过滤环与吸附塔的内壁构成活动结构。

8、进一步优选的，所述顶盖组件的顶部固定有输出管，所述输出管的表面固定有管阀，所述顶盖组件的外壁一侧固定有纯度传感器，所述顶盖组件的外壁另一侧固定有压力表，所述输出管、纯度传感器、压力表与顶盖组件构成一体式结构。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

10、本实用新型中，通过在吸附剂提纯结构前端，增加设置初筛网、加热过滤箱、加热模块、金属钛颗粒等部件，可完成氩气的初次提纯，初筛网会吸附氩气中的一些颗粒，被加热的金属钛颗粒，能够吸附氩气中的各种杂质气体，同时上述部件可反复利用，降低了氩气提纯的成本。

11、本实用新型中，通过增加纯度传感器、过滤环、吸附剂、密封环和多段自由组合的吸附塔，可根据纯度传感器的数据进行增减吸附塔的数量，为氩气提供多次过滤，直至达到预设标准。

技术特征：

1.一种高纯氩气的提纯装置，包括进气口(1)，其特征在于：所述进气口(1)的一端固定有加热过滤箱(2)；

2.根据权利要求1所述的一种高纯氩气的提纯装置，其特征在于：所述初筛网(201)设在进气口(1)与加热过滤箱(2)的中间，且进气口(1)与加热过滤箱(2)之间构成活动结构。

3.根据权利要求1所述的一种高纯氩气的提纯装置，其特征在于：所述加热模块(202)与加热过滤箱(2)之间构成活动结构，且钛颗粒(203)贴合于两组加热模块(202)之间。

4.根据权利要求1所述的一种高纯氩气的提纯装置，其特征在于：所述吸附塔(4)的顶部通过密封环(401)连接顶盖组件(5)或另一组吸附塔(4)，且最下层吸附塔(4)的底部为密封结构。

5.根据权利要求1所述的一种高纯氩气的提纯装置，其特征在于：所述过滤环(402)与吸附剂(403)构成活动结构，且过滤环(402)与吸附塔(4)的内壁构成活动结构。

6.根据权利要求1所述的一种高纯氩气的提纯装置，其特征在于：所述顶盖组件(5)的顶部固定有输出管(501)，所述输出管(501)的表面固定有管阀(502)，所述顶盖组件(5)的外壁一侧固定有纯度传感器(503)，所述顶盖组件(5)的外壁另一侧固定有压力表(504)，所述输出管(501)、纯度传感器(503)、压力表(504)与顶盖组件(5)构成一体式结构。

技术总结
本技术涉及氩气提纯技术领域，具体为一种高纯氩气的提纯装置，包括进气口，所述进气口的一端固定有加热过滤箱，所述加热过滤箱的一端贴合有初筛网，所述加热过滤箱的顶部和一侧分别贯穿有加热模块，所述加热过滤箱的内壁贴合有钛颗粒，所述加热过滤箱的另一端固定有对接管，所述对接管的一端固定有吸附塔，所述吸附塔的外壁顶部贴合有密封环，所述吸附塔的内壁一端贴合有过滤环，改良后的高纯氩气的提纯装置，通过增加设置初筛网、加热过滤箱、加热模块、金属钛颗粒等部件，实现初次提纯，且通过反复利用，降低提纯成本，通过增加纯度传感器、过滤环、吸附剂、密封环和多段自由组合的吸附塔，可提供多次过滤，直至达到预设标准。

技术研发人员：陈兵,王翔,陈伟,陈东杰
受保护的技术使用者：连云港晨虹特种气体有限公司
技术研发日：20230801
技术公布日：2024/3/21