一种微泡发生装置及硅片清洗系统的制作方法

本技术属于微泡发生器，具体涉及一种微泡发生装置及硅片清洗系统。

背景技术：

1、微泡发生器是一种能够产生微小气泡的装置，在环保、污水处理、食品加工、医疗等多个领域得到广泛应用，其主要原理是利用高压气体将液体中的氧分子或气体分子转化为气泡。

2、现有微泡发生器通过金属泵的泵头进行气液混合，压力为0.5mpa通过喷头出来含微泡的液体，但是该类金属泵无法直接应用于硅片清洗技术领域，因为金属泵会产生金属离子对硅片产生污染。

3、因此，亟需开发一种新的微泡发生装置及硅片清洗系统，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种微泡发生装置及硅片清洗系统。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种微泡发生装置，其包括：供液组件、供气组件、高压溶解罐和喷出组件；其中所述供液组件、供气组件、高压溶解罐、喷出组件依次相连；所述供液组件适于向供气组件输送液体，所述供气组件将气体与液体混合以输送至高压溶解罐；所述高压溶解罐适于通过高压将气体压入液体中，以使所述喷出组件喷出微泡液体。

3、进一步，所述供液组件包括：储液箱；所述储液箱适于向供气组件提供液体。

4、进一步，所述供液组件还包括：气动泵；所述气动泵的进口分别连接储液箱和液体内循环设备，所述气动泵的出口连接供气组件；所述气动泵适于将储液箱或液体内循环设备提供的液体泵向供气组件。

5、进一步，所述气动泵通过第一控制阀连接储液箱；所述气动泵通过第二控制阀连接液体内循环设备。

6、进一步，所述供气组件包括：气液混合器和增压器；所述气液混合器的进口分别连接气动泵和气体进口，所述气液混合器的出口连接高压溶解罐。

7、进一步，所述气液混合器与气体进口之间设置有第一调压阀、第一电磁阀和第一单向阀。

8、进一步，所述高压溶解罐连接有第一压力表、第一泄压阀。

9、进一步，所述喷出组件包括：若干喷头；各所述喷头分别与高压溶解罐连接，以喷出微泡液体。

10、进一步，所述储液箱内设置有第一液位检测器；所述高压溶解罐内设置有第二液位检测器。

11、另一方面，本实用新型提供一种硅片清洗系统，其包括：如上述的微泡发生装置。

12、本实用新型的有益效果是，本实用新型通过供液组件与供气组件相配合，实现将气体与液体混合，并且在高压溶解罐中将气体压入液体中实现充分融合，由喷出组件实现喷出微泡液体，代替金属泵的泵头进行气液混合，能够避免产生金属离子污染硅片，实现清洗硅片的功能。

13、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

14、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种微泡发生装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的微泡发生装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的微泡发生装置，其特征在于，

5.如权利要求3所述的微泡发生装置，其特征在于，

6.如权利要求5所述的微泡发生装置，其特征在于，

7.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

8.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

9.如权利要求2所述的微泡发生装置，其特征在于，

10.一种硅片清洗系统，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的微泡发生装置。

技术总结
本技术属于微泡发生器技术领域，具体涉及一种微泡发生装置及硅片清洗系统，本微泡发生装置包括：供液组件、供气组件、高压溶解罐和喷出组件；其中所述供液组件、供气组件、高压溶解罐、喷出组件依次相连；所述供液组件适于向供气组件输送液体，所述供气组件将气体与液体混合以输送至高压溶解罐；所述高压溶解罐适于通过高压将气体压入液体中，以使所述喷出组件喷出微泡液体；本技术通过供液组件与供气组件相配合，实现将气体与液体混合，并且在高压溶解罐中将气体压入液体中实现充分融合，由喷出组件实现喷出微泡液体，代替金属泵的泵头进行气液混合，能够避免产生金属离子污染硅片，实现清洗硅片的功能。

技术研发人员：左国军,成旭,鞠璐平,谈丽文,申斌
受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司
技术研发日：20230911
技术公布日：2024/4/7