干燥装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及将涂布在基板上的涂布膜干燥的干燥装置。
【背景技术】
[0002] 在将抗蚀膜等涂布膜涂布于用于液晶显示面板等的基板上的情况下，之后需要使 涂布膜中所含的溶剂蒸发。因此，被涂布在基板上的涂布膜采用减压干燥装置来干燥。
[0003] 在减压干燥装置中，将基板容纳在腔室内后，通过将腔室内减压，从而基板上的涂 布膜被干燥。这里，基板在腔室内被与基板的背面抵接的多个支撑销支撑。
[0004] 当将腔室内减压后，腔室内的温度降低，但支撑销与基板的背面抵接的部分与支 撑销未抵接的部分相比温度不容易降低。因此，在被多个支撑销支撑的基板内产生局部的 温差。其结果是，由于温差而使溶剂的蒸发速度产生差异，因此存在这样的问题：在支撑销 抵接的部分产生干燥不均（销斑）。
[0005] 对于这样的问题，专利文献1中记载有如下的方法：将基板载置在沿一个方向排 列的多个辊上，在减压干燥时使辊旋转而使搭置在辊上的基板移位。通过以使辊与基板背 面抵接的位置发生变化的方式进行控制，从而在减压干燥时能够避免辊与基板背面始终在 相同位置抵接，由此能够减少干燥不均。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :日本特开2011-58740号公报
[0009] 但是，在专利文献1记载的方法中，需要确保在腔室内多些用于使基板移位的区 域，因此存在减压干燥装置变大的问题。
[0010] 另外，为了提高生产性，有如下的方法：在基板（母板）上排列多个产品形成区域、 例如多个液晶显示器（液晶单元）来统一处理母板。在该情况下，各产品形成区域被非产 品形成区域（划线）划分开，在处理工序完毕后，各产品形成区域沿着非产品形成区域（划 线）被切断而个别地分离。
[0011] 图18的（a)~（C)是示出将涂布于母板120上的涂布膜干燥的方法的图。
[0012] 如图18的（a)所示，被容纳在减压干燥装置100内的母板120由被配置于支撑部 150的多个支撑销130支撑。此外，如图18的（b)所示，在母板120上排列有多个产品形成 区域121，各产品形成区域121被非产品形成区域（划线）122划分开。这里，涂布膜通常形 成于母板120的整个面，但也可以分离地形成于每个产品形成区域。
[0013] 如图18的（b)、（c)所示，在带状的非产品形成区域122配置多个支撑销130,利 用这些支撑销130来支撑母板120。由此，至少各产品形成区域121的背面不与支撑销130 抵接，因而能够防止被涂布于各产品形成区域121上的涂布膜产生干燥不均。
[0014] 但是，形成于母板120的产品形成区域121的大小根据每个产品而变化。因此，在 每次变更非产品形成区域122的配置图案（下面，简称为"配置图案"）时，配置于非产品形 成区域122的支撑销122也需要进行配置更换。
[0015] 在每次变更配置图案时，当作业者通过手工作业进行支撑销122的配置更换时， 有可能垃圾会混入到减压干燥装置内，此外，配置图案的种类越多，则相应地越需要配置更 换的作业时间，并且也越容易发生配置更换错误。
[0016] 图19是示出采用提升干燥销170来支撑基板120的减压干燥装置100的图。如 图19所示，穿过形成于内板150的贯通孔（未图示）而根据配置图案来利用致动器160使 所选择的提升干燥销170上升、下降，从而能够使提升干燥销170与非产品形成区域122的 背面抵接。由此，能够根据配置图案来自动地切换支撑母板120的提升干燥销170的配置。
[0017] 但是，由于通过提升干燥销170的上升、下降来选择支撑母板120的提升干燥销 170,因此很难对应多个配置图案。此外，当预先确定的配置图案变更后，为了变更提升干燥 销170的配置，需要对腔室重新加工致动器160的安装用孔，很难应对配置图案的变更。
【发明内容】
[0018] 本发明正是为了解决上述课题而完成的，其主要目的在于，提供如下的干燥装置： 能够与多个配置图案对应地自动进行支撑销的配置更换，并且在基板的产品形成区域不产 生干燥不均。
[0019] 本发明的干燥装置是使涂布在基板上的涂布膜干燥的干燥装置，其中，该干燥装 置具备：腔室，其容纳基板；和支撑部，其利用多个支撑销来支撑被容纳在腔室内的基板， 基板具有：多个产品形成区域；和划分各产品形成区域的非产品形成区域，支撑部具有：多 个轴，它们与旋转轴线平行地配设，并且被支撑成能够以旋转轴线为中心进行旋转；和至少 一个以上旋转销，它们沿着旋转轴线配设于各轴的外周部，旋转销在沿着轴的外周部的周 向而相对于与基板的面垂直的方向的中心角Θ为（n-1) X α (n是1~N的整数；N是产品 形成区域的配置图案的种类数；α是任意的角度）的位置上，具有沿轴的法线方向延伸的 至少一个以上支撑销，具有第Μ(Μ是1~N的整数）个配置图案的基板是由通过使各轴相 对于基板的垂直方向旋转至旋转角度Φ为（M-I)X α而选择出的、处于与基板垂直的方向 的多个支撑销来支撑的。
[0020] 发明效果
[0021] 根据本发明，能够提供如下的干燥装置：能够与多个配置图案对应地自动进行支 撑销的配置更换，并且在基板的产品形成区域不产生干燥不均。
【附图说明】
[0022] 图1是示意性地示出本发明的一个实施方式的减压干燥装置的结构的图。
[0023] 图2的（a)、（b)是液晶单元排列成格子状的基板的平面图。
[0024] 图3是示出本发明的一个实施方式的轴和支撑销的结构的立体图。
[0025] 图4是示意性地示出本发明的一个实施方式的支撑部的结构的立体图。
[0026] 图5的（a)、（b)是形成有两种配置图案的基板的平面图。
[0027] 图6的（a)、（b)是示出在支撑销位置与两种配置图案重叠的位置配置有线Al~ A5、和线Bl~B7的状态的图。
[0028] 图7是示出本发明的一个实施方式的轴和支撑销的结构的立体图。
[0029] 图8的（a)、（b)是说明用于避免支撑销彼此干扰的方法的平面图。
[0030] 图9的（a)、(b)是示意性地示出将彼此接近的一个轴与另一轴合并的情况下的支 撑部的结构的平面图。
[0031] 图10的（a)、（b)是示出本发明的一个实施方式的轴和支撑销的结构的立体图。 [0032] 图11的（a)、（b)是说明用于避免旋转销彼此干扰的方法的平面图。
[0033] 图12的（a)、（b)是示意性地示出将彼此接近的一个支撑销位置与另一支撑销位 置重叠地配置的情况下的支撑部的结构的平面图。
[0034] 图13的（a)、（b)是示出本发明的一个实施方式的轴和支撑销的结构的立体图。
[0035] 图14的（a)~（e)是示出沿着旋转销的外周部的周向而设置有多个支撑销的结 构的图。
[0036] 图15是示出支撑销的配置位置的图。
[0037] 图16是示意性地示出本发明的另一实施方式的支撑部的结构的立体图。
[0038] 图17的（a)、（b)是示出本发明的另一实施方式的轴和旋转销的形状的图。
[0039] 图18的（a)~（c)是示出将涂布于母板上的涂布膜干燥的方法的图。
[0040] 图19是示出具备采用提升干燥销来支撑基板的机构的减压干燥装置的图。
[0041] 标号说明
[0042] 10干燥装置<