可自由调节的固定喷头及半导体清洗设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备，尤其涉及一种可自由调节的固定喷头及半导体清洗设备。
【背景技术】
[0002]在多种半导体设备中，例如半导体清洗设备，都需要配置固定喷头，用于喷出清洗液等液体。在不同的工艺腔体中，晶圆可能具有不同的姿态，例如其位置、角度等各有不同，而目前的喷头大多是固定的，或者其调节的幅度较小，无法根据晶圆的实际姿态进行充分调整。
【发明内容】
[0003]本发明要解决的技术问题是提供一种可自由调节的固定喷头及半导体清洗设备，能够在水平面内、竖直面内等多个维度实现自由调节。
[0004]为解决上述技术问题，本发明提供了一种可自由调节的固定喷头，包括:
[0005]竖直设置的竖轴；
[0006]夹持在所述竖轴上的第一夹具，该第一夹具在松弛状态下能沿所述竖轴上下滑动并能绕所述竖轴在水平面转动，该第一夹具在夹紧状态下固定在所述竖轴上；
[0007]喷头，通过水平轴与所述第一夹具形成可转动连接，所述水平轴水平设置，所述喷头能绕所述水平轴在竖直面转动。
[0008]根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括:绕所述水平轴旋转的第二夹具，所述喷头固定夹持在所述第二夹具上。
[0009]根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括:
[0010]与所述第二夹具相固定的固定盘，该固定盘随所述第二夹具绕所述水平轴旋转，所述固定盘上具有弧形限位槽，所述弧形限位槽的圆心位于所述水平轴上；
[0011]螺接在所述第一夹具上的螺丝，所述螺丝位于所述限位槽内，所述螺丝处于松弛状态时，所述第二夹具和固定盘能绕所述水平轴旋转并由所述螺丝和限位槽限位，所述螺丝处于旋紧状态时，所述固定盘和第二夹具相对于所述第一夹具固定。
[0012]根据本发明的一个实施例，所述弧形限位槽的圆心角小于180度。
[0013]根据本发明的一个实施例，所述喷头的数量为2个，且每一喷头具有独立的第一夹具和第二夹具。
[0014]根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括:绕所述竖轴旋转的漏液盘，所述漏液盘位于所述喷头的喷嘴下方。
[0015]根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括:与所述喷头的进液口相连的接头。
[0016]本发明还提供了一种半导体清洗设备，包括上述任一项所述的可自由调节的固定口货头。
[0017]与现有技术相比，本发明具有以下优点:
[0018]本发明实施例的固定喷头中，喷头通过水平轴与第一夹具形成可转动连接，而第一夹具夹持在竖轴上，第一夹具在松弛状态下，喷头能够随第一夹具沿竖轴上下滑动，并且能绕着竖轴在水平面转动，第一夹具在夹紧状态下，喷头的高度以及在水平面内的角度也被固定；另外，喷头还可以绕着水平轴在竖直面内转动，以调节在竖直面内的角度。由此，实现了喷头在多个维度的自由调节。
【附图说明】
[0019]图1是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的立体图；
[0020]图2是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的正视图；
[0021]图3是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的右视图；
[0022]图4是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的俯视图。
【具体实施方式】
[0023]下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
[0024]参考图1至图4，本实施例的可自由调节的固定喷头包括:竖轴11、第一夹具12、喷头13、第二夹具14、固定盘15、漏液盘17以及接头18。
[0025]其中，竖轴11沿竖直方向设置。第一夹具12夹持在竖轴11上，第一夹具12可以通过螺栓等方式调节为松弛状态或是夹紧状态，在松弛状态下，第一夹具能够沿竖轴11上下滑动并且能绕竖轴11在水平面转动；在夹紧状态下，第一夹具12固定在竖轴11上。
[0026]喷头13通过水平轴(图中未示出)与第一夹具12形成可转动连接，该水平轴水平设置，喷头13能够绕水平轴在竖直面内转动。
[0027]进一步而言，喷头13固定夹持在第二夹具14上，第二夹具14能够绕水平轴旋转。第二夹具14绕水平轴旋转时，将带动喷头13 —同在竖直面内旋转。水平轴的位置相对于第一夹具12固定，因此，通过第一夹具12的夹紧状态和松弛状态的变换，能够同时调节第一夹具12、水平轴、第二夹具14以及喷头13的竖直高度以及在水平面内的旋转角度。
[0028]固定盘15与第二夹具14固定，也就是固定盘15能够随第二夹具14 一起绕水平轴旋转。固定盘15上具有弧形限位槽151，该弧形限位槽151的圆心落在水平轴上。螺丝16螺接在第一夹具12上并位于限位槽151内，螺丝16和限位槽151的配合对于固定盘15以及第二夹具14的旋转起到了限位的作用。具体而言，螺丝16处于松弛状态下时，第二夹具14和固定盘15能够绕水平轴旋转，旋转的角度由限位槽151限制；而螺丝16处于旋紧状态时，将固定盘15与第一夹具12相互固定，相应地，此时第二夹具14也和第一夹具12相互固定。
[0029]弧形限位槽151的圆心角优选为小于180度，也就是将第二夹具14和喷头13在竖直面内可以旋转的角度限制为180度以内。作为一个非限制性的例子，弧形限位槽151的圆心角为120度。
[0030]喷头13的进液口与接头18相连，接头18可以和进液管路相邻，清洗液等液体可以经过由接头18进入喷头13。
[0031]漏液盘17位于喷头13的喷嘴下方，喷头13漏出的液体可以收集在漏液盘17内。漏液盘17可以具有排出口，排出口可以通过接头与排出管路相连，从而将漏液盘17内收集的漏液排除。漏液盘17也能够绕竖轴11旋转，例如也可以通过夹具的方式夹持在竖轴11上，通过夹具的松弛以及夹紧状态的改变实现旋转或固定。
[0032]作为一个优选的实施例，喷头13的数量为2个，并且每一个喷头13具有独立的第一夹具12、第二夹具14以及固定盘15。换言之，每个喷头13在水平面和竖直面内的旋转运动是互不干扰的，可以独立旋转，而且每个喷头13的高度也是独立可调的。
[0033]本实施例的固定喷头可以适用于半导体清洗设备，或者其他需要喷头的半导体设备。
[0034]本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
【主权项】
1.一种可自由调节的固定喷头，其特征在于，包括: 竖直设置的竖轴； 夹持在所述竖轴上的第一夹具，该第一夹具在松弛状态下能沿所述竖轴上下滑动并能绕所述竖轴在水平面转动，该第一夹具在夹紧状态下固定在所述竖轴上； 喷头，通过水平轴与所述第一夹具形成可转动连接，所述水平轴水平设置，所述喷头能绕所述水平轴在竖直面转动。2.根据权利要求1所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括: 绕所述水平轴旋转的第二夹具，所述喷头固定夹持在所述第二夹具上。3.根据权利要求2所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括: 与所述第二夹具相固定的固定盘，该固定盘随所述第二夹具绕所述水平轴旋转，所述固定盘上具有弧形限位槽，所述弧形限位槽的圆心位于所述水平轴上； 螺接在所述第一夹具上的螺丝，所述螺丝位于所述限位槽内，所述螺丝处于松弛状态时，所述第二夹具和固定盘能绕所述水平轴旋转并由所述螺丝和限位槽限位，所述螺丝处于旋紧状态时，所述固定盘和第二夹具相对于所述第一夹具固定。4.根据权利要求3所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，所述弧形限位槽的圆心角小于180度。5.根据权利要求3所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，所述喷头的数量为2个，且每一喷头具有独立的第一夹具和第二夹具。6.根据权利要求1所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括: 绕所述竖轴旋转的漏液盘，所述漏液盘位于所述喷头的喷嘴下方。7.根据权利要求1所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括: 与所述喷头的进液口相连的接头。8.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括权利要求1至7中任一项所述的可自由调节的固定喷头。
【专利摘要】本发明提供了一种可自由调节的固定喷头及半导体清洗设备，该固定喷头包括：竖直设置的竖轴；夹持在所述竖轴上的第一夹具，该第一夹具在松弛状态下能沿所述竖轴上下滑动并能绕所述竖轴在水平面转动，该第一夹具在夹紧状态下固定在所述竖轴上；喷头，通过水平轴与所述第一夹具形成可转动连接，所述水平轴水平设置，所述喷头能绕所述水平轴在竖直面转动。本发明的固定喷头能够在水平面内、竖直面内等多个维度实现自由调节。
【IPC分类】B05B15/00, H01L21/02, B05B13/04
【公开号】CN105521898
【申请号】CN201410512831
【发明人】吴均, 焦欣欣, 金一诺, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2014年9月29日