一种真空计防尘防污染遮罩的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种防护遮罩，具体涉及一种真空计防尘防污染遮罩。
【背景技术】
[0002]PVD是英文Physical Vapor Deposit1n (物理气相沉积)的缩写，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研宄。PVD工艺处理温度低，在600°C以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。目前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。
[0003]在PVD制程启动前，要用真空计测量各腔室真空度来确认腔室压力，以反馈腔室是否达到制程要求，磁控溅射过程中，真空计对腔室压力的监测是十分重要的；制程过程中，要通过真空计测量值来监察各腔室真空度反馈信号来进行各项操作，而由于受洁净室洁净度及腔室内镀膜残留粒子的影响，真空计在使用一段时间后可能会因吸入杂质及水蒸气造成污染而损坏，而PVD所用真空计造价昂贵且不可修复，更换耗费较大且周期长，为不影响生产的正常进行，延长真空计的使用寿命，防止真空计的污染是很重要的，所以，设计一个简易的真空计防尘防污染遮罩是十分必要的。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型为了解决现有真空计在使用时容易因为吸入杂质及水蒸气造成污染而损坏的问题，进而提出一种真空计防尘防污染遮罩。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是:本实用新型包括顶盖、滤芯、遮罩外壳和密封圈，滤芯的一端端面与顶盖一端的中部固接，遮罩外壳一端的中部连接有真空计接头，真空计接头的外形为中空圆管状，遮罩外壳的下端侧壁上设有通道凹槽，遮罩外壳套装在滤芯的外侧，滤芯另一端的端面设置在遮罩外壳一端的内壁上，遮罩外壳的另一端与顶盖通过螺纹连接，遮罩外壳和顶盖的连接处设有密封圈。
[0006]本实用新型与现有技术相比包含的有益效果是:本实用新型解决了磁控溅射设备运行中，因洁净室洁净度及腔室镀膜过程产生杂质对真空计造成污染而损坏的问题，空气在经过本实用新型过滤后在进入真空计，实现了对真空计的保护及防污防尘作用，大大提高了真空计的使用寿命，有效降低成本，减少因真空计损坏而造成的设备当机时间，提高生产效率和设备稼动率，保证生产的正常进行。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的整体结构示意图；图2是图1中的主视图；图3是本实用新型中遮罩外壳3和真空计接头5的结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]【具体实施方式】一:结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式所述一种真空计防尘防污染遮罩包括顶盖1、滤芯2、遮罩外壳3和密封圈4，滤芯2的一端端面与顶盖I 一端的中部固接，遮罩外壳3 —端的中部连接有真空计接头5，真空计接头5的外形为中空圆管状，遮罩外壳3的下端侧壁上设有通道凹槽3-1，遮罩外壳3套装在滤芯2的外侧，滤芯2另一端的端面设置在遮罩外壳3 —端的内壁上，遮罩外壳3的另一端与顶盖I通过螺纹连接，遮罩外壳3和顶盖I的连接处设有密封圈4。
[0009]如此设计将滤芯2和顶盖I固接为一体，顶盖I和遮罩外壳3之间为可拆卸连接，便于滤芯2的更换，遮罩外壳3的下端侧壁上设有通道凹槽3-1，作为气体的循环进出通道，气体在通过通道凹槽3-1进入遮罩内部，经过滤芯2的过滤后到达真空计接头5，最终进入真空计，而气体中的杂质和水蒸气等将会被滤芯吸附过滤，这样既可以保证真空计的正常运行又可以杜绝气体中杂质及水蒸气的进入，可以有效防止真空计的污染损坏。密封圈4可以有效防止遮罩外壳3与顶盖I的连接处发生漏气。
[0010]【具体实施方式】二:结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式所述滤芯2的外形为中空圆管状。其它组成和连接方式与【具体实施方式】一相同。
[0011]如此设计采用中空结构的滤芯2使空气能够通畅的穿过滤芯2，经由滤芯2的中间部位进入到真空计接头6中。
[0012]【具体实施方式】三:结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式所述滤芯2的长度为70mm，滤芯2的外径为35mm，滤芯2的内径为20mm。其它组成和连接方式与【具体实施方式】二相同。
[0013]如此设计在保证能够过滤效果的前提下，最大限度的节省滤芯2的耗材，降低成本，节省空间。
[0014]【具体实施方式】四:结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式所述滤芯2是由超细聚丙烯纤维热熔缠结制作的滤芯2。其它组成和连接方式与【具体实施方式】二或三相同。
[0015]此种滤芯2是由超细聚丙烯纤维热熔缠结制成。超细纤维依靠自身粘合和缠结，在空间随机构成三维微孔结构，纤维间联结不需要任何粘合剂，尤其具有径向纤维呈梯度变化的特点，是多孔型和织物型过滤介质的综合体。它一方面可以形成深层过滤(多孔型过滤材料的特点)，另一方面又可以形成表面过滤(织物型过滤材料的特点)，是集预过滤、精过滤和重力沉降于一体的复合过滤材料，滤芯2的过滤效率高、压力损失小，过滤效率稳定、使用寿命长，过滤成本低、安全性好、适应性强。
[0016]滤芯2内部细密的纤维层和外部粗松的纤维层组成双层纤维结构，有效地减少了压力损失，保持了稳定的过滤效率。滤芯2的微孔孔径沿直径方向呈梯度分布，在过滤时，孔径大的部分能足够容纳较大的颗粒杂质，确保滤芯2不至于被很快堵塞，同时提供了良好的形状刚性；孔径小的部分可阻挡细小颗粒，确保了过滤精度，从而避免了精度高的滤芯2堵塞快、寿命短的弊病，而且还降低了过滤阻力，减少了设备的能耗，延长滤芯2的使用寿命O
[0017]【具体实施方式】五:结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式所述遮罩外壳3的另一端端面与顶盖I通过多个密封螺钉6连接。其它组成和连接方式与【具体实施方式】一相同。
[0018]如此设计便于顶盖I与遮罩外壳3的拆卸和安装，且不对密封圈4的气密性造成影响。
[0019]【具体实施方式】六:结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式所述遮罩外壳3的外形为中空圆管状。其它组成和连接方式与【具体实施方式】一相同。
[0020]如此设计减少遮罩外壳3的尺寸，节省空间，同时遮罩外壳3的外表面为光滑圆弧，易于除去溅射累积镀膜，为防止腔室内镀膜过程中溅射到遮罩内。
[0021]【具体实施方式】七:结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式所述遮罩外壳3是由不锈钢材质制作的遮罩外壳3。其它组成和连接方式与【具体实施方式】六相同。
[0022]如此设计采用不锈钢材质制作的遮罩外壳3，易于除去溅射累积镀膜，为防止腔室内镀膜过程中溅射到遮罩内。
[0023]【具体实施方式】八:结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式所述密封圈4为O型密封圈4。其它组成和连接方式与【具体实施方式】一相同。
[0024]采用O型密封圈4能够有效提高密封效果，防止气体泄漏。
【主权项】
1.一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述一种真空计防尘防污染遮罩包括顶盖(1)、滤芯(2)、遮罩外壳(3)和密封圈(4)，滤芯⑵的一端端面与顶盖⑴一端的中部固接，遮罩外壳(3) —端的中部连接有真空计接头(5)，真空计接头(5)的外形为中空圆管状，遮罩外壳(3)的下端侧壁上设有通道凹槽(3-1)，遮罩外壳(3)套装在滤芯(2)的外侧，滤芯(2)另一端的端面设置在遮罩外壳⑶一端的内壁上，遮罩外壳⑶的另一端与顶盖(I)通过螺纹连接，遮罩外壳(3)和顶盖(I)的连接处设有密封圈(4)。2.根据权利要求1所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述滤芯(2)的外形为中空圆管状。3.根据权利要求2所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述滤芯(2)的长度为70mm，滤芯⑵的外径为35mm，滤芯⑵的内径为20mm。4.根据权利要求2或3所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述滤芯(2)是由超细聚丙烯纤维热熔缠结制作的滤芯(2)。5.根据权利要求1所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述遮罩外壳(3)的另一端端面与顶盖(I)通过多个密封螺钉(6)连接。6.根据权利要求1所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述遮罩外壳(3)的外形为中空圆管状。7.根据权利要求6所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述遮罩外壳(3)是由不锈钢材质制作的遮罩外壳(3)。8.根据权利要求1所述一种真空计防尘防污染遮罩，其特征在于:所述密封圈(4)为O型密封圈⑷。
【专利摘要】一种真空计防尘防污染遮罩。本实用新型涉及一种检修通道，具体涉及一种中心给料机的检修通道。本实用新型为解决现有真空计在使用时容易因为吸入杂质及水蒸气造成污染而损坏的问题。一种真空计防尘防污染遮罩包括顶盖、滤芯、遮罩外壳和密封圈，滤芯的一端端面与顶盖一端的中部固接，遮罩外壳一端的中部连接有真空计接头，真空计接头的外形为中空圆管状，遮罩外壳的下端侧壁上设有通道凹槽，遮罩外壳套装在滤芯的外侧，滤芯另一端的端面设置在遮罩外壳一端的内壁上，遮罩外壳的另一端与顶盖通过螺纹连接，遮罩外壳和顶盖的连接处设有密封圈。本实用新型用于真空计的防尘防污。
【IPC分类】B01D35/30, C23C14/35, B01D35/00
【公开号】CN204637738
【申请号】CN201520368121
【发明人】陈猛
【申请人】黑龙江汉能薄膜太阳能有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年6月1日