一种加热型蒸发罐的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，尤其涉及一种加热型蒸发罐。
【背景技术】
[0002]随着全球电子和光伏产业的蓬勃发展，国内的半导体和光伏制造业也得到了迅猛的发展。据2006年中国半导体产业研究报告指出:“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。
[0003]目前，在半导体和光伏相关产业中，一般需要使用带许多特殊气体，其中一些是液态性气体，并且在使用时需要转化为气态性气体再进行使用。
[0004]蒸发罐是一种用于半导体和光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体的设备。然而，现有的蒸发罐结构较为复杂，且蒸发效果并不理想，从而导致气体的传输成本较高。
【实用新型内容】
[0005]为了解决上述问题，本实用新型提供一种加热型蒸发罐，具备结构简单、供气稳定等优点。
[0006]上述的一种加热型蒸发罐，包括罐体，该罐体的顶部设置有液态性气体入口、气态性气体出口、压力传感器、液位传感器、液位开关以及导向磁条；所述罐体的侧壁设置有第一硅橡胶加热带，所述罐体的底部设置有第二硅橡胶加热带和排放口。
[0007]上述设备中，所述罐体为密封结构。
[0008]上述设备中，所述第一硅橡胶加热带为500W加热带。
[0009]上述设备中，所述第二硅橡胶加热带为300W加热带。
[0010]上述设备中，所述第一硅橡胶加热带和第二硅橡胶加热带的内部均设置有A级铂热电阻。
[0011]上述设备中，所述罐体还设置有温控表。
[0012]本实用新型的优点和有益效果在于:本实用新型提供了一种加热型蒸发罐，通过在罐体的侧面和底部设置了硅橡胶加热带，并利用该两个硅橡胶加热带分别自罐体的侧部和底部进行加热，从而将液态性气体转化为气态性气体；同时，由于罐体本身具有一定的储存量，从而可以相对稳定的供应气体，并最终实现了便于气体传输和控制传输成本的目的。
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本实用新型中加热型蒸发罐的结构示意图；
[0015]图2是本实用新型中加热型蒸发罐的俯视图；
[0016]图3是图2中加热型蒸发罐的A-A剖面示意图；
[0017]图4是图2中加热型蒸发罐的B-B剖面示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0019]如图1和图2所示，本实用新型记载了一种加热型蒸发罐，包括罐体1，且该罐体I的顶部设置有液态性气体入口 2、气态性气体出口 3、压力传感器4、液位传感器5、液位开关6以及导向磁条7 ；
[0020]进一步的，本实用新型中加热型蒸发罐的内部结构如图3和图4所示，其中液态性气体入口 2用于接入液态性气体，而气态性气体出口 3则负责输出加热后的气态性气体，且排放口 8主要用于清理剩余的气体。
[0021]至于压力传感器4则负责检测罐体I内的压力，当压力传感器4的压力达到补液前压力排放设定值后，蒸发罐开始补液；而液位传感器5则负责检测液位并控制液位开关6的动作，使得当液体达到设定液位时(补液完成时)，罐体I会自动切换至准备状态，从而为后续的加热工艺做好准备；如此便实现了整个蒸发罐设备的自动化操作，从而大大的节省了人力，同时有效的提高了传输效率。
[0022]优选的，为了增加供气的稳定性，上述的罐体I采用了密封结构。
[0023]同时，在罐体I的侧壁设置有第一硅橡胶加热带(未在图中标出)，且在罐体I的底部还设置有第二硅橡胶加热带(未在图中标出)和排放口 8 ;
[0024]优选的，由于实际加热时需要第一硅橡胶加热带和第二硅橡胶加热带的相互配合，所以上述的第一娃橡胶加热带为500W加热带，而第二娃橡胶加热带为300W加热带，同时在第一硅橡胶加热带和第二硅橡胶加热带的内部均设置有A级铂热电阻，从而在对罐体I的侧部和底部进行加热时，可以在保证加热效果的同时，最大化的节省能源，进而避免能源的浪费。
[0025]此外，为了更好的对罐体I进行操作和控制，所以罐体I还设置有温控表(未在图中标出)。
[0026]在实际加热中，使用者先在温控表上设定所要加热的温度值，然而温控表将第一硅橡胶加热带和第二硅橡胶加热带内置的A级铂热电阻所传送回来的温度值与设定值进行比较，再通过输出控制固态继电器的通断来控制两条硅橡胶加热带的加热状态，从而使得全程仅需要基础的电路控制，即可具备提高稳定性、缩短稳定时间以及辅助的高温报警等功能，并使得整个加热系统变得更加安全。
[0027]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种加热型蒸发罐，包括罐体，其特征在于，所述罐体的顶部设置有液态性气体入口、气态性气体出口、压力传感器、液位传感器、液位开关以及导向磁条；所述罐体的侧壁设置有第一硅橡胶加热带，所述罐体的底部设置有第二硅橡胶加热带和排放口。2.如权利要求1所述的一种加热型蒸发罐，其特征在于，所述罐体为密封结构。3.如权利要求1所述的一种加热型蒸发罐，其特征在于，所述第一硅橡胶加热带为500W加热带。4.如权利要求1所述的一种加热型蒸发罐，其特征在于，所述第二硅橡胶加热带为300W加热带。5.如权利要求3或4所述的一种加热型蒸发罐，其特征在于，所述第一硅橡胶加热带和第二硅橡胶加热带的内部均设置有A级铂热电阻。6.如权利要求1所述的一种加热型蒸发罐，其特征在于，所述罐体还设置有温控表。
【专利摘要】本实用新型记载了一种加热型蒸发罐，包括罐体，该罐体的顶部设置有液态性气体入口、气态性气体出口、压力传感器、液位传感器、液位开关以及导向磁条；在罐体的侧壁设置有第一硅橡胶加热带，同时在罐体的底部还设置有第二硅橡胶加热带和排放口。由于采用了上述技术，本实用新型通过在罐体的侧面和底部设置了硅橡胶加热带，并利用该两个硅橡胶加热带分别自罐体的侧部和底部进行加热，从而将液态性气体转化为气态性气体；同时，由于罐体本身具有一定的储存量，从而可以相对稳定的供应气体，并最终实现了便于气体传输和控制传输成本的目的。
【IPC分类】B01D1/30, B01D1/00
【公开号】CN204865014
【申请号】CN201520253665
【发明人】甘万
【申请人】上海盛韬半导体科技有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年4月23日