尾气处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气体提纯技术领域，具体说是一种气体再生系统的尾气处理
目.0
【背景技术】
[0002]在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的氢气。而工业制备出的氢气气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水等杂质因其化学性质而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂对氢气气体纯化。
[0003]目前，现有的氢气气体纯化系统一般是由纯化罐里面填满氢气纯化材料制成，纯化罐的进料口和出料口均设置有过滤器。通过对原料氢气的初步过滤，将氢气通入纯化罐之中，通过氢气与吸水材料、洗涤材料制成的氢气纯化材料反应，对氢气进行除杂。纯化罐中的氢气纯化材料使用1~3星期之后需要再生，再生反应过程中会放热，纯化罐底部会产生一些高温残留物以及高温水或者极高温度的水蒸气，极高温度的水蒸气遇到外面的室温之后凝结成水，同时释放大量热，由于设计成本控制需要，我们一般采用常温阀，而高温水混合水蒸气会损坏常温阀阀体，不方便操作。
[0004]我们设计了一种气体再生系统的尾气处理装置，在再生气体出料管道上设置有高温水流出管道，高温水流出管道通过预热板吸热又通过散热片散热，进而使高温水变成液态水储存在较长的管道内，再经过变径接头使高温液态水孔径减小，通过加热板加热，使小孔径中的液态水变成水蒸气排出。而预热板中的热量可以对再生支路进气管道进行加热，实现纯化罐的热循环。
【发明内容】
[0005]针对上述情况，本实用新型提供一种尾气处理装置，在再生气体出料管道上设置有高温水流出管道，高温水流出管道通过预热板吸热又通过散热片散热，进而使高温水变成液态水储存在较长的管道内，再经过变径接头使高温液态水孔径减小，通过加热板加热，使小孔径中的液态水变成水蒸气排出。而预热板中的热量可以对再生支路进气管道进行加热，实现纯化罐的热循环。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0007]尾气处理装置，包括纯化罐、再生气体出料管道、再生支路进气管道，纯化罐底部设有再生气体出料管道，纯化罐上部与再生支路进气管道连接，其特征在于，还包括高温水流出管道、预热板、散热片、变径接头、小孔径流出管道、加热板、排出阀，所述高温水流出管道一端安装在再生气体出料管道上，高温水流出管道向上延伸达到至纯化罐上部位置设有第一 U型折弯处，第一 U型折弯处前段安装在预热板内，第一 U型折弯处后段安装有散热片，高温水流出管道位于散热片底部的位置设有第二 U型折弯处，第二 U型折弯处顶部的高温水流出管道安装在散热板上，高温水流出管道在散热板顶部设有第三U型折弯处，第三U型折弯处上设有变径接头，变径接头连接高温水流出管道与小孔径流出管道，小孔径流出管道设有加热板，小孔径流出管道出口设有排出阀。
[0008]所述散热片为环形设置，环形散热片由内而外成放射形结构。
[0009]所述再生支路进气管道安装在预热板内。再生支路进气管道内的气体通过预热板内的热量进行预热，达到一定的热度后进入纯化罐，实现纯化再生系统的热循环利用。
[0010]本实用新型的优点是:在再生气体出料管道上设置有高温水流出管道，高温水流出管道通过预热板吸热又通过散热片散热，进而使高温水变成液态水储存在较长的管道内，再经过变径接头使高温液态水孔径减小，通过加热板加热，使小孔径中的液态水变成水蒸气排出。而预热板中的热量可以对再生支路进气管道进行加热，实现纯化罐的热循环。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图。
[0012]在图中:1_纯化罐，2-再生气体出料管道，3-再生支路进气管道，4-高温水流出管道，5-预热板，6-散热片，7-变径接头，8-小孔径流出管道，9-加热板，10-排出阀，11-第一U型折弯处，12-第二 U型折弯处，13-第三U型折弯处。
【具体实施方式】
[0013]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0014]参见图1，尾气处理装置，包括纯化罐、再生气体出料管道、再生支路进气管道，纯化罐底部设有再生气体出料管道，纯化罐上部与再生支路进气管道连接，其特征在于，还包括高温水流出管道、预热板、散热片、变径接头、小孔径流出管道、加热板、排出阀，所述高温水流出管道一端安装在再生气体出料管道上，高温水流出管道向上延伸达到至纯化罐上部位置设有第一 U型折弯处，第一 U型折弯处前段安装在预热板内，第一 U型折弯处后段安装有散热片，高温水流出管道位于散热片底部的位置设有第二 U型折弯处，第二 U型折弯处顶部的高温水流出管道安装在散热板上，高温水流出管道在散热板顶部设有第三U型折弯处，第三U型折弯处上设有变径接头，变径接头连接高温水流出管道与小孔径流出管道，小孔径流出管道设有加热板，小孔径流出管道出口设有排出阀。
[0015]所述散热片为环形设置，环形散热片由内而外成放射形结构。
[0016]所述再生支路进气管道安装在预热板内。再生支路进气管道内的气体通过预热板内的热量进行预热，达到一定的热度后进入纯化罐，实现纯化再生系统的热循环利用。
[0017]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.尾气处理装置，包括纯化罐、再生气体出料管道、再生支路进气管道，纯化罐底部设有再生气体出料管道，纯化罐上部与再生支路进气管道连接，其特征在于，还包括高温水流出管道、预热板、散热片、变径接头、小孔径流出管道、加热板、排出阀，所述高温水流出管道一端安装在再生气体出料管道上，高温水流出管道向上延伸达到至纯化罐上部位置设有第一 U型折弯处，第一 U型折弯处前段安装在预热板内，第一 U型折弯处后段安装有散热片，高温水流出管道位于散热片底部的位置设有第二 U型折弯处，第二 U型折弯处顶部的高温水流出管道安装在散热板上，高温水流出管道在散热板顶部设有第三U型折弯处，第三U型折弯处上设有变径接头，变径接头连接高温水流出管道与小孔径流出管道，小孔径流出管道设有加热板，小孔径流出管道出口设有排出阀。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述散热片为环形设置，环形散热片由内而外成放射形结构。3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述再生支路进气管道安装在预热板内。
【专利摘要】本实用新型涉及一种尾气处理装置，包括纯化罐、再生气体出料管道、再生支路进气管道，纯化罐底部设有再生气体出料管道，纯化罐上部与再生支路进气管道连接，还包括高温水流出管道、预热板、散热片、变径接头、小孔径流出管道、加热板、排出阀，所述高温水流出管道一端安装在再生气体出料管道上，高温水流出管道安装了预热板、散热片、加热板。本实用新型高温水流出管道通过预热板吸热又通过散热片散热，进而使高温水变成液态水储存在较长的管道内，再经过变径接头使高温液态水孔径减小，通过加热板加热，使小孔径中的液态水变成水蒸气排出。而预热板中的热量可以对再生支路进气管道进行加热，实现纯化罐的热循环。
【IPC分类】B01D53/26
【公开号】CN204911179
【申请号】CN201520634328
【发明人】江晓松
【申请人】先普半导体技术(上海)有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月21日