技术特征：
1.一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，包括：外壳，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；加热组件，所述加热组件设于所述容纳腔内；筛分机构，所述筛分机构包括筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构，所述筛分架布置在所述容纳腔内，并能够转动地安装在所述外壳上；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分；其中，所述外壳的侧壁上设有进气口，所述外壳的顶端设有散热孔，所述外壳的底部设有排料口，所述输料管道的出料端与所述排料口连接；所述排料口处安装有阀门。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述筛网组件为上开口的抽屉状结构，所述出料口开设在所述筛网组件的后侧壁上，所述筛网组件的后侧壁上设有用于封堵所述出料口的封板。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括称重机构，所述称重机构包括：储料斗，所述储料斗布置在所述外壳的下方正对所述排料口的位置；称重单元，所述称重单元包括：壳体，所述壳体内设有中空腔，所述壳体具有与所述中空腔连通的上开口和下开口；封口组件，所述封口组件设置在所述中空腔内，以使所述上开口和所述下开口连通或隔断；压力传感器，所述压力传感器安装在所述封口组件内；其中，所述壳体的上开口于所述储料斗的出料口连通。4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述封口组件包括第一挡板，所述第一挡板具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态，所述第一挡板位于所述上开口和所述下开口之间，以使所述上开口和所述下开口隔断；在所述第二工作状态，所述第一挡板远离所述上开口和所述下开口，以使所述上开口和所述下开口连通。5.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括设置在所述称重机构下方的分装机构，所述分装机构包括：坩埚台，所述坩埚台内形成有第一腔体，所述坩埚台的上表面设有多个与所述第一腔体上端连通的第一吸孔，所述第一腔体的进气端贯穿所述坩埚台，并连接有第一抽气机构；旋转机构，所述旋转机构设在所述坩埚台的下方，以带动所述坩埚台自转；其中，所述坩埚台与所述储料斗偏心设置。6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括布置在所述分装机构一侧的振动机构，所述振动机构包括：振动台，所述振动台内形成有第二腔体，所述振动台的上表面设有多个与所述第二腔体上端连通的第二吸孔，所述第二腔体的进气端贯穿所述振动台，并连接有第二抽气机构；振动电机，所述振动电机安装在所述振动台的底部。7.根据权利要求6所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述振动机构
还包括布置在所述振动台下方的复位弹簧，所述复位弹簧远离所述振动台的一端与振动台安装支架连接。8.根据权利要求6所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括设置在所述分装机构远离所述振动机构一侧的推杆机构，所述推杆机构包括电动伸缩杆和设在所述电动伸缩杆端部的推板。9.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述动力机构包括：双向伺服电机，所述双向伺服电机布置在所述外壳的外部；主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述双向伺服电机的输出端；从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述筛分架伸至所述外壳外部的端部，并与所述主动齿轮相啮合；其中，所述从动齿轮周向上的齿纹夹角不超过60
°
。10.根据权利要求1至9中任一项所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述加热组件包括多个电钨丝加热管，所述电钨丝加热管的两端与所述外壳的两侧内壁连接，所有所述电钨丝加热管均匀布置在所述筛分机构的上方和下方。
技术总结
本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长用筛分装置，包括外壳、加热组件和筛分机构，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；所述加热组件设于所述容纳腔内；所述筛分机构包括布置在所述容纳腔内的筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分。本实用新型能够对碳化硅晶体生长使用后的净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低了成本，提高了效率。提高了效率。提高了效率。
技术研发人员：刘留 陈俊宏
受保护的技术使用者：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
技术研发日：2022.10.28
技术公布日：2023/3/23