MEMS器件及电子设备的制作方法

文档序号:15732819发布日期:2018-10-23 20:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MEMS器件,包括:

微发光二极管;以及

能移动部件,

其中,所述微发光二极管被安装在所述能移动部件上并被配置用于随所述能移动部件一起移动。

2.根据权利要求1所述的MEMS器件,还包括:

至少一个光检测器,

其中,所述至少一个光检测器被安装在所述微发光二极管附近并被配置用于感测由微发光二极管所发射的光。

3.根据权利要求2所述的MEMS器件,其中,所述至少一个光检测器包括第一光检测器和第二光检测器,第一光检测器被安装成面向所述微发光二极管并被配置用于感测所述微发光二极管正面的光,所述第二光检测器被安装在所述微光二极管的侧面方向并被配置用于感测所述微光二极管侧面方向的光。

4.根据权利要求2所述的MEMS器件,其中,所述能移动部件被配置用于根据如下至少一个因素而移动:所述MEMS器件的加速度、所述MEMS器件的角速度、施加到所述能移动部件上的压力、施加到所述能移动部件上的力和施加到所述能移动部件上的流体流动。

5.根据权利要求4所述的MEMS器件,其中,所述至少一个光检测器被配置用于感测由所述能移动部件的移动引起的微发光二极管的机械位移并输出反映该机械位移的感测信号。

6.根据权利要求1所述的MEMS器件,其中,所述能移动部件被配置用于通过施加于其上的电信号或电磁信号而被致动以进行移动,以及所述微发光二极管被配置用于发射由所述能移动部件的移动所调制的光信号。

7.根据权利要求6所述的MEMS器件,其中,所述调制的光信号被馈入到光纤中。

8.根据权利要求1所述的MEMS器件,其中,多个所述微发光二极管分别被安装到显示面板上的多个所述能移动部件上。

9.根据权利要求8所述的MEMS器件,其中,所述多个能移动部件被配置用于进行移动以分别与所述显示面板形成角度,从而使由所述多个微发光二极管所发射的光形成3D图像。

10.一种电子设备,包括根据权利要求1所述的MEMS器件。

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