技术总结
本实用新型提供了一种用于测量液体粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底，该衬底上设有储液池、位于该储液池上方的悬臂梁、设置在该储液池一侧的液体流道以及与液体流道相连通的滴液口，其中，在该悬臂梁上设有用于静电驱动的第一驱动电极；所述衬底上还设有与所述第一驱动电极对应的第二驱动电极；所述储液池用于收容待测量液体；所述悬臂梁用于测量该液体的粘度变化。本实用新型的MEMS芯片结构更加简单，生产成本更低，生产效率更高，并且可广泛应用于医疗卫生、石油、化工、冶金、国防等技术领域。另外，采用本实用新型的MEMS芯片能够检测精度，与IC兼容性更高，更适合个人化与家庭化的使用。
技术研发人员：王新亮;马硕;温赛赛;胡慧珊
受保护的技术使用者：苏州原位芯片科技有限责任公司
技术研发日：2018.03.27
技术公布日：2018.11.27