技术特征：
技术总结
本发明公开了一种MEMS红外探测器结构，包括：设于衬底上的多层金属互连层和设于所述多层金属互连层之上的红外微桥探测结构；其中，至少一层所述金属互连层的至少一侧设有一层第一MIM电容层，利用每侧的所述第一MIM电容层的两个极板层与对应侧也用作极板层的所述金属互连层之间的组合，形成两个并联的第一MIM电容；通过将各层相并联的所述第一MIM电容全部并联在一起，在多层所述金属互连层中形成所述第一MIM电容的多级并联结构。本发明可大幅度提升MEMS红外探测器的单位面积电容的数值，并因此能够大幅度降低成本并提升性能。
技术研发人员：康晓旭
受保护的技术使用者：上海集成电路研发中心有限公司
技术研发日：2019.02.28
技术公布日：2019.06.21