一种用于微流控芯片对准键合的装置的制作方法

1.本实用新型涉及微流控芯片加工技术领域，具体是一种用于微流控芯片对准键合的装置。


背景技术：

2.微流控芯片又称为芯片实验室，是指在一块几平方厘米的芯片上采用微加工技术制作微沟道、微泵、微阀、微混合腔室和微反应分析腔室等单元集成的微器件，微流控芯片作为一种较为新颖的分析技术平台，由于其独有的特性，它们被广泛应用于化学，生物学，工程学和医学等各个领域。
3.现有技术中，目前的微流控芯片对准键合装置不具有固定玻璃盖片和聚合物芯片的功能，键合的过程中，玻璃盖片和聚合物芯片容易发生移动，从而导致键合失败，因此，针对上述问题提出一种用于微流控芯片对准键合的装置。


技术实现要素：

4.针对现有的问题，本实用新型的目的在于提供一种用于微流控芯片对准键合的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：
6.一种用于微流控芯片对准键合的装置，包括底板，所述底板顶端的后侧固接有l形板；所述l形板的顶端固接有电动气缸；所述电动气缸伸缩端的底部固接有压板；所述压板的底部设有热压板；所述底板顶端的四侧均开设有斜槽；所述斜槽相远离的一侧均固接有一号弹簧；所述一号弹簧的另一端均固接有滑杆；所述滑杆的顶端均固接有角套；所述滑杆的底端均固接有拉绳；所述底板底端的两侧均固接有直杆；所述直杆的底端共同固接有圆环；所述圆环的底部设有转杆；所述拉绳远离滑杆的一端均绕过圆环并与转杆固接；所述转杆的一端开设有方形槽；所述方形槽的内侧固接有二号弹簧；所述二号弹簧的另一端固接有方形杆；所述方形杆的另一端固接有圆块；所述圆块的外环面固接有一组一号卡块；所述底板靠近一号卡块的一侧固接有卡板。
7.作为本实用新型再进一步的方案：所述压板顶端的四角均开设有圆孔；所述圆孔远离电动气缸的一侧均开设有穿孔；所述压板顶端的四角均固接有一组三号弹簧；每组所述三号弹簧的顶端均共同固接有顶套；所述顶套的底端均开设有圆槽；所述热压板顶端的四角均转动连接有圆杆；所述圆杆一侧的顶端均固接有二号卡块。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述斜槽的两端之间均共同固接有限位杆，且限位杆的杆体部分均贯穿滑杆并与其滑动连接；所述一号弹簧均套设在限位杆的外侧。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述底板的两端均固接有箍环，且箍环均套设在转杆的外侧。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述圆槽的一侧均开设有卡槽。
11.作为本实用新型再进一步的方案：同侧所述顶套的顶端之间均共同固接有连接
杆。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1.本实用新型利用四个角套对玻璃盖板和聚合物芯片进行对准固定，能够避免在对准键合的过程中，玻璃盖板和聚合物芯片发生相互移动的情况，从而导致键合失败，有利于提高对准键合的稳定性；
14.2.本实用新型通过二号卡块穿过穿孔，并转动圆杆，使得二号卡块远离穿孔，而后在三号弹簧和顶套的作用下，能够对热压板安装后进行固定，从而有利于对损坏后的热压板进行更换安装，实用性强。
附图说明
15.图1为一种用于微流控芯片对准键合的装置的第一立体图；
16.图2为一种用于微流控芯片对准键合的装置的第二立体图；
17.图3为一种用于微流控芯片对准键合的装置的剖面立体结构示意图；
18.图4为一种用于微流控芯片对准键合中图3的a处局部放大示意图
19.图5为一种用于微流控芯片对准键合的装置的第三立体图；
20.图6为一种用于微流控芯片对准键合中图5的b处局部放大示意图；
21.图7为一种用于微流控芯片对准键合中图5的c处局部放大示意图；
22.图8为一种用于微流控芯片对准键合中图5的d处局部放大示意图；
23.图9为一种用于微流控芯片对准键合中图3的e处局部放大示意图。
24.图中：1、底板；2、l形板；3、电动气缸；4、压板；5、热压板；6、斜槽；7、一号弹簧；8、滑杆；9、角套；10、拉绳；11、直杆；12、圆环；13、转杆；14、方形槽；15、二号弹簧；16、方形杆；17、圆块；18、一号卡块；19、卡板；20、圆孔；21、穿孔；22、三号弹簧；23、顶套；24、圆槽；25、圆杆；26、二号卡块；27、限位杆；28、箍环；29、卡槽；30、连接杆。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.如图1-9所示，在本实施例中，结合图1至图9说明本实施方式，本实施方式提供了一种用于微流控芯片对准键合的装置，包括底板1，底板1顶端的后侧固接有l形板2；l形板2的顶端固接有电动气缸3；电动气缸3伸缩端的底部固接有压板4；压板4的底部设有热压板5；底板1顶端的四侧均开设有斜槽6；斜槽6相远离的一侧均固接有一号弹簧7；一号弹簧7的另一端均固接有滑杆8；滑杆8的顶端均固接有角套9；滑杆8的底端均固接有拉绳10；底板1底端的两侧均固接有直杆11；直杆11的底端共同固接有圆环12；圆环12的底部设有转杆13；拉绳10远离滑杆8的一端均绕过圆环12并与转杆13固接；转杆13的一端开设有方形槽14；方形槽14的内侧固接有二号弹簧15；二号弹簧15的另一端固接有方形杆16；方形杆16的另一端固接有圆块17；圆块17的外环面固接有一组一号卡块18；底板1靠近一号卡块18的一侧固接有卡板19；在工作时，将玻璃盖板和聚合物芯片放置于底板1上，并对准，而后拉动圆块
17，使得圆块17带动方形杆16在方形槽14内向外滑动，此时二号弹簧15被拉伸，一号卡块18和卡板19相分离，而后转动圆块17，圆块17通过方形杆16和方形槽14带动转杆13转动，转杆13在转动的过程中，拉绳10逐渐缠绕在转杆13上，此时转杆13拉动滑杆8，滑杆8在斜槽6内滑动，此时一号弹簧7被拉伸，滑杆8带动角套9向玻璃盖板和聚合物芯片的方向移动，直至角套9与玻璃盖板和聚合物芯片的边角完全套合，而后缓慢松开圆块17，在二号弹簧15的作用下，方形杆16向方形槽14内滑动，卡板19卡在对应相邻的两个一号卡块18之间，此时即实现角套9对玻璃盖板和聚合物芯片的固定，进而该装置利用四个角套9对玻璃盖板和聚合物芯片进行对准固定，能够避免在对准键合的过程中，玻璃盖板和聚合物芯片发生相互移动的情况，从而导致键合失败，有利于提高对准键合的稳定性。
27.如图3、图5、图8、图9所示，压板4顶端的四角均开设有圆孔20；圆孔20远离电动气缸3的一侧均开设有穿孔21；压板4顶端的四角均固接有一组三号弹簧22；每组三号弹簧22的顶端均共同固接有顶套23；顶套23的底端均开设有圆槽24；热压板5顶端的四角均转动连接有圆杆25；圆杆25一侧的顶端均固接有二号卡块26；在工作时，当热压板5发生损坏需要更换，转动圆杆25，圆杆25带动二号卡块26转动，使得二号卡块26转动至穿孔21处，此时在三号弹簧22的作用下，热压板5被向下顶出，此时对热压板5进行更换，安装时，使得二号卡块26对准穿孔21处，而后向上按压热压板5，此时圆杆25穿过圆孔20，并对顶套23进行向上挤压，此时三号弹簧22被拉伸，当二号卡块26完全脱离穿孔21后，转动圆杆25，使得圆杆25带动二号卡块26远离穿孔21，此时即实现对热压板5的安装，进而该结构通过二号卡块26穿过穿孔21，并转动圆杆25，使得二号卡块26远离穿孔21，而后在三号弹簧22和顶套23的作用下，能够对热压板5安装后进行固定，从而有利于对损坏后的热压板5进行更换安装，实用性强。
28.如图2所示，斜槽6的两端之间均共同固接有限位杆27，且限位杆27的杆体部分均贯穿滑杆8并与其滑动连接；一号弹簧7均套设在限位杆27的外侧；在工作时，限位杆27能够对滑杆8起到限位的作用，使得滑杆8只能够在斜槽6内滑动。
29.如图3、图4、图5所示，底板1的两端均固接有箍环28，且箍环28均套设在转杆13的外侧；在工作时，箍环28能够对转杆13起到支撑限位的作用。
30.如图5、图8所示，圆槽24的一侧均开设有卡槽29；在工作时，安装热压板5后，将二号卡块26转动至卡槽29内，能够避免在工作的过程中，发生热压板5和压板4相分离的情况。
31.如图1、图2、图3、图5、图8、图9所示，同侧顶套23的顶端之间均共同固接有连接杆30；在工作时，通过设置连接杆30，方便拆卸热压板5，提供了方便。
32.本实用新型的工作原理是：在工作时，将玻璃盖板和聚合物芯片放置于底板1上，并对准，而后拉动圆块17，使得圆块17带动方形杆16在方形槽14内向外滑动，此时二号弹簧15被拉伸，一号卡块18和卡板19相分离，而后转动圆块17，圆块17通过方形杆16和方形槽14带动转杆13转动，转杆13在转动的过程中，拉绳10逐渐缠绕在转杆13上，此时转杆13拉动滑杆8，滑杆8在斜槽6内滑动，此时一号弹簧7被拉伸，滑杆8带动角套9向玻璃盖板和聚合物芯片的方向移动，直至角套9与玻璃盖板和聚合物芯片的边角完全套合，而后缓慢松开圆块17，在二号弹簧15的作用下，方形杆16向方形槽14内滑动，卡板19卡在对应相邻的两个一号卡块18之间，此时即实现角套9对玻璃盖板和聚合物芯片的固定，进而该装置利用四个角套9对玻璃盖板和聚合物芯片进行对准固定，能够避免在对准键合的过程中，玻璃盖板和聚合
物芯片发生相互移动的情况，从而导致键合失败，有利于提高对准键合的稳定性；
33.当热压板5发生损坏需要更换，转动圆杆25，圆杆25带动二号卡块26转动，使得二号卡块26转动至穿孔21处，此时在三号弹簧22的作用下，热压板5被向下顶出，此时对热压板5进行更换，安装时，使得二号卡块26对准穿孔21处，而后向上按压热压板5，此时圆杆25穿过圆孔20，并对顶套23进行向上挤压，此时三号弹簧22被拉伸，当二号卡块26完全脱离穿孔21后，转动圆杆25，使得圆杆25带动二号卡块26远离穿孔21，此时即实现对热压板5的安装，进而该结构通过二号卡块26穿过穿孔21，并转动圆杆25，使得二号卡块26远离穿孔21，而后在三号弹簧22和顶套23的作用下，能够对热压板5安装后进行固定，从而有利于对损坏后的热压板5进行更换安装，实用性强。
34.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
35.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。