一种电泳装置的制作方法

本发明属于半导体设备制造技术领域，尤其是涉及一种电泳装置。

背景技术：

随着半导体工业的迅速发展，玻璃钝化工艺的应用越来越普遍，目前涂敷玻璃主要有三种方法：医用手术刀法，电泳法和旋转匀涂法，相比于其他两种方法电泳法玻璃涂层厚度可控并且更均匀，现有的电泳机大多在溶液起火时无应对措施，且机械传动装置的稳定性差，这就需要一种运动可靠，且满足消防和环保要求的电泳装置。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明旨在提出一种运动可靠，且满足消防和环保要求的电泳装置。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种电泳装置，包括主体框架、超声槽、机械传动装置和活动门，所述主体框架内部底端设置有底座，所述底座上端设置有若干个所述超声槽；所述机械传动装置包括设置于所述超声槽外部的提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，每根导向杆的上部和中部由轴承A固定，所述两导向杆中段之间固定有平衡臂，所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆，所述提升连杆上部由轴承B固定，所述平衡臂下端正对所述提升连杆处设有电缸，所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板靠近超声槽一端的侧面上设有沿所述超声槽方向延伸的提升支架，所述提升支架位于所述超声槽的正上方，所述提升基板上还设有光电安装座，所述光电安装座上设置有光电开关；所述主体框架的后端面设置有后封板，所述主体框架的两侧面设置有侧封板，所述主体框架的前端面上位于超声槽上方和下方处设置有前封板，所述主体框架前端面的超声槽位置通过活动门来开启和关闭；所述活动门包括纵截面为长方形的活动门主体，所述活动门主体后端面的两侧边缘处设置有导引槽，所述导引槽中部设置有钢丝绳卡块，所述导引槽内设置有若干个滚子，所述主体框架上设置有可供所述滚子上下滑动的滑道，所述钢丝绳卡块与钢丝绳一端相连，所述钢丝绳另一端穿过至少两个设置于主体框架顶端的定滑轮后与主体框架后方的重锤上端相连，所述重锤下端与气缸的活塞杆相连，所述气缸设置在气缸支撑架上；所述主体框架一侧设置有电控柜，所述主体框架另一侧设置有消防装置；所述超声槽、机械传动装置、活动门和消防装置均与电控柜相连。

进一步的，所述超声槽包括外槽，所述外槽内部设置有内槽，所述内槽的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子，所述内槽内部设置有若干个石英杯底座，所述内槽壁上设置有进水口和内槽出水口，所述进水口与外部水源连通，所述内槽出水口通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口，所述溢流排水口通向外槽外部。

进一步的，所述超声振子的个数为13个，分三列均匀固定在内槽底部外壁上。

进一步的，所述进水口设置于所述内槽的侧壁上，所述内槽出水口设置于所述内槽的底面上。

进一步的，所述重锤上端设置有吊环，所述钢丝绳连接在吊环上。

进一步的，所述气缸活塞杆与重锤之间设置有重锤缓冲垫。

进一步的，所述主体框架上设置有风路通道和水路通道。

进一步的，所述主体框架的外部底端设置有若干个刹车脚轮。

进一步的，所述消防装置包括温度传感器、丙酮浓度测量元件以及灭火器。

相对于现有技术，本发明所述的电泳装置具有以下优势：增加了消防装置和活动门，通过测温传感器和丙酮浓度检测装置实时监测，预防消除火灾隐患，且在消防装置启动前可自动关闭活动门，使设备内部封闭，防止消防装置动作对人造成伤害。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明的主视图；

图2为本发明的侧视图；

图3为本发明所述的机械传动装置的主视图；

图4为本发明所述的机械传动装置的侧视图；

图5为本发明所述的活动门的主视图；

图6为本发明所述的活动门的侧视图；

图7为本发明所述的超声槽的主视图；

图8为本发明所述的超声槽的侧视图。

附图标记说明：

1-主体框架，2-底座，3-超声槽，301-外槽，302-内槽，303-超声振子，304-进水口，305-内槽出水口，306-溢流排水口，307-石英杯底座，4-机械传动装置，401-提升基板，402-轴承A，403-导向杆，404-提升连杆，405-电缸，406-提升架载板，407-平衡臂，408-光电安装座，409-光电开关，410-提升支架，5-活动门，501-活动门主体，502-钢丝绳，503-重锤，504-气缸，505-气缸支撑架，506-定滑轮，507-吊环，508-重锤缓冲垫，6-电控柜，7-消防装置，8-刹车脚轮。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

如图1-8所示，一种电泳装置，包括主体框架1、超声槽3、机械传动装置4和活动门5，所述主体框架1内部底端设置有底座2，所述底座2上端设置有若干个所述超声槽3；

所述超声槽3包括外槽301，所述外槽301内部设置有内槽302，所述内槽302的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子303，所述超声振子303的个数为13个，分三列均匀固定在内槽302底部外壁上，所述内槽302内部设置有若干个石英杯底座307，石英杯置于所述石英杯底座307上，放有硅片的电泳架放在石英杯中，超声振子303可对石英杯中的电泳混合液进行震动，使得玻璃粒子尽可能的悬浮在石英杯中，有效避免了玻璃粒子下沉堆积的现象；

所述内槽壁上设置有进水口304和内槽出水口305，所述进水口304设置于所述内槽302的侧壁上，所述内槽出水口305设置于所述内槽302的底面上，所述进水口304与外部水源连通，在进行超声之前，需要水泵提供水源作为介质的流动，所述内槽出水口305通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口306，所述溢流排水口306通向外槽外部，内槽302提供放置石英杯，外槽301用来内槽302外溢水的排放，通过进水口304、内槽排水口305和溢流排水口306的配合，达到水介质的循环，避免了水质因震动产生的温度升高；

所述机械传动装置4包括设置于所述超声槽3外部的提升基板401，所述提升基板401上平行放置有两根沿所述提升基板401长度方向延伸的导向杆403，每根导向杆403的上部和中部由轴承A402固定，两导向杆403中段之间固定有平衡臂407，所述平衡臂407的中部上端固定有提升连杆404，所述提升连杆404上部由轴承B固定，所述平衡臂407下端正对所述提升连杆404处设有电缸405，所述导向杆403和提升连杆404的上端固定在提升架载板406的底面上，所述提升架载板406靠近超声槽3一端的侧面上设有沿所述超声槽3方向延伸的提升支架410，所述提升支架410位于所述超声槽3的正上方，所述提升基板401上还设有光电安装座408，所述光电安装座408上设置有光电开关409；

电泳架放置在提升支架410上，放置好后，启动电缸405，电缸405驱动平衡臂407上升或下降，平衡臂407带动导向杆403和提升连杆404上下运动，进而带动提升架载板406上升或下降，提升连杆404两侧的导向杆403可起到稳定支撑提升架载板406的作用，同时提升基板401上的光电开关409用于检测运动是否到位，将检测信号传送至控制器，控制器控制电缸405的停止，实现机械传动装置带动电泳架进出超声槽3；

所述主体框架1的后端面设置有后封板，所述主体框架1的两侧面设置有侧封板，所述主体框架1的前端面上位于超声槽3上方和下方处设置有前封板，所述主体框架1前端面的超声槽3位置通过活动门5来开启和关闭；

所述活动门5包括纵截面为长方形的活动门主体501，所述活动门主体501后端面的两侧边缘处设置有导引槽，所述导引槽中部设置有钢丝绳卡块，所述导引槽内设置有若干个滚子，所述主体框架1上设置有可供所述滚子上下滑动的滑道，所述钢丝绳卡块与钢丝绳502一端相连，所述钢丝绳502另一端穿过至少两个设置于主体框架顶端的定滑轮506后与主体框架后方的重锤503上端相连，所述重锤503下端与气缸504的活塞杆相连，所述气缸504设置在气缸支撑架505上；

进一步的，所述重锤503上端设置有吊环507，所述钢丝绳502连接在吊环507上，所述气缸504活塞杆与重锤503之间设置有重锤缓冲垫508；

所述主体框架1一侧设置有电控柜6，所述主体框架1另一侧设置有消防装置7，所述消防装置7包括温度传感器、丙酮浓度测量元件以及灭火器，所述超声槽3、机械传动装置4、活动门5和消防装置7均与电控柜6相连；

正常情况下，根据设置的重锤503的配重，可以使得重锤503和活动门主体501达到一个动态平衡，在没有外力的情况下，活动门相当于静态平衡的悬挂在电泳机主体框架1的前端，当消防装置7检测到火焰或者检测到丙酮浓度超标时，将信号给到火灾控制盒，火灾控制盒控制气缸504启动，顶起重锤503，钢丝绳卡块和滚子沿电泳机前端设置的滑道向下滑动，从而带动活动门主体501向下滑动，使得活动门主体501迅速关闭，起到保护操作员和隔绝空气的作用；

进一步的，所述主体框架1上设置有风路通道和水路通道，所述主体框架1的外部底端设置有若干个刹车脚轮8。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。