技术特征：
1.一种电镀液过滤装置，其特征在于，包括：镀液槽，用于盛放电镀液；所述镀液槽具有出液口与进液口，所述出液口具有n个，n≥2，所述n个出液口位于所述镀液槽的不同高度；过滤桶，用于过滤电镀液；n个进液支路，每个所述进液支路分别将一个所述出液口连接至所述过滤桶；出液管路，将所述过滤桶连接至所述进液口；以及循环泵，设置于所述n个进液支路或所述出液管路上，用于使所述电镀液在所述镀液槽与所述过滤桶之间形成循环。2.根据权利要求1所述的电镀液过滤装置，其特征在于，还包括进液总管路，将所述n个进液支路连接至所述过滤桶，所述循环泵设置于所述进液总管路上。3.根据权利要求1或2所述的电镀液过滤装置，其特征在于，还包括n个开关阀，一个所述开关阀设置在一个所述进液支路上，用于控制所述进液支路的打开与关闭。4.根据权利要求1或2所述的电镀液过滤装置，其特征在于，还包括n个流量阀，一个所述流量阀设置在一个所述进液支路上，用于控制所述进液支路的电镀液的流量。5.根据权利要求4所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述流量阀为电磁流量阀；所述电镀液过滤装置还包括控制模块，用于向所述n个电磁流量阀发出流量控制信号。6.根据权利要求5所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述控制模块为可编程控制模块。7.根据权利要求5所述的电镀液过滤装置，其特征在于，还包括n个液位传感器，所述n个液位传感器置于所述镀液槽内，且每个所述液位传感器位于一个所述出液口；所述n个液位传感器连接于所述控制模块。8.根据权利要求2所述的电镀液过滤装置，其特征在于，所述n个进液支路与所述进液总管路之间通过n进一出电磁阀连接，所述n进一出电磁阀用于控制各个所述进液支路的电镀液的流量；所述电镀液过滤装置还包括控制模块，用于向所述n进一出电磁阀发出流量控制信号。9.根据权利要求8所述的电镀液过滤装置，其特征在于，还包括n个液位传感器，所述n个液位传感器置于所述镀液槽内，且一个所述液位传感器位于一个所述出液口；所述n个液位传感器连接于所述控制模块。10.一种电镀系统，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的电镀液过滤装置。
技术总结
本实用新型提供了一种电镀液过滤装置及电镀系统，电镀液过滤装置包括：镀液槽、过滤桶、N个进液支路、出液管路以及循环泵；镀液槽具有出液口与进液口，出液口具有N个，N≥2，N个出液口位于镀液槽的不同高度；每个进液支路分别将一个出液口连接至过滤桶；出液管路将过滤桶连接至进液口；循环泵设置于N个进液支路或出液管路上，用于使电镀液在镀液槽与过滤桶之间形成循环。根据本实用新型的实施例，各个液位的电镀液都能进行过滤，杂质被过滤出来几率显著增大，镀液纯度可以得到提升，电镀产品的良率可以提高。良率可以提高。良率可以提高。
技术研发人员：郭忠军
受保护的技术使用者：矽磐微电子（重庆）有限公司
技术研发日：2021.06.15
技术公布日：2021/12/24