电镀液过滤装置及电镀系统的制作方法

1.本实用新型涉及电镀技术领域，尤其涉及一种电镀液过滤装置及电镀系统。


背景技术：

2.传统电镀行业线宽线间距大且单板经济价值不是很高，故而相应的镀液杂质管控方式较为粗糙。当电镀应用于半导体封装行业时，单板集成芯片数量多达上万颗故而对良率要求更为苛刻。随着要求的提高，对镀液的杂质管控要求提升到了一个新台阶。
3.有鉴于此，实有必要提供一种新的电镀液过滤装置及电镀系统，以提升电镀液的纯度。


技术实现要素：

4.本实用新型的发明目的是提供一种电镀液过滤装置及电镀系统，以提升电镀液的纯度，提高电镀产品的良率。
5.为实现上述目的，本实用新型的第一方面提供一种电镀液过滤装置，包括：
6.镀液槽，用于盛放电镀液；所述镀液槽具有出液口与进液口，所述出液口具有n个，n≥2，所述n个出液口位于所述镀液槽的不同高度；
7.过滤桶，用于过滤电镀液；
8.n个进液支路，每个所述进液支路分别将一个所述出液口连接至所述过滤桶；
9.出液管路，将所述过滤桶连接至所述进液口；以及
10.循环泵，设置于所述n个进液支路或所述出液管路上，用于使所述电镀液在所述镀液槽与所述过滤桶之间形成循环。
11.可选地，所述电镀液过滤装置还包括进液总管路，将所述n个进液支路连接至所述过滤桶，所述循环泵设置于所述进液总管路上。
12.可选地，所述电镀液过滤装置还包括n个开关阀，一个所述开关阀设置在一个所述进液支路上，用于控制所述进液支路的打开与关闭。
13.可选地，所述电镀液过滤装置还包括n个流量阀，一个所述流量阀设置在一个所述进液支路上，用于控制所述进液支路的电镀液的流量。
14.可选地，所述流量阀为电磁流量阀；所述电镀液过滤装置还包括控制模块，用于向所述n个电磁流量阀发出流量控制信号。
15.可选地，所述控制模块为可编程控制模块。
16.可选地，所述可编程控制模块通过所述n个电磁流量阀，在一个周期内，按设定顺序交替打开所述n个进液支路。
17.可选地，所述电镀液过滤装置还包括n个液位传感器，所述n个液位传感器置于所述镀液槽内，且每个所述液位传感器位于一个所述出液口；所述n个液位传感器连接于所述控制模块。
18.可选地，所述n个进液支路与所述进液总管路之间通过n进一出电磁阀连接，所述n
进一出电磁阀用于控制各个所述进液支路的电镀液的流量；所述电镀液过滤装置还包括控制模块，用于向所述n进一出电磁阀发出流量控制信号。
19.可选地，所述电镀液过滤装置还包括n个液位传感器，所述n个液位传感器置于所述镀液槽内，且一个所述液位传感器位于一个所述出液口；所述n个液位传感器连接于所述控制模块。
20.可选地，所述n个出液口中，相邻所述出液口的间距相等或不等。
21.本实用新型的第二方面提供一种电镀系统，包括上述任一项所述的电镀液过滤装置。
22.经发明人分析，相关技术中电镀液纯度低的原因在于：电镀液内具有轻质杂质，轻质杂质因为密度较小，始终悬浮于电镀液上部，而出液口位于镀液槽的底部，这导致轻质杂质无法被过滤出来。因而，镀液纯度得不到提升，杂质粘附在产品上会降低良率。
23.若将出液口改至镀液槽的顶部，这又会导致底部的电镀液无法进行过滤，重质杂质无法被过滤出来。
24.基于上述分析，本实用新型在镀液槽设置n个出液口，各个出液口位于镀液槽的不同高度。
25.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：各个液位的电镀液都能进行过滤，杂质被过滤出来几率显著增大，镀液纯度可以得到提升。
附图说明
26.图1是本实用新型第一实施例的电镀液过滤装置的结构示意图；
27.图2是本实用新型第二实施例的电镀液过滤装置的结构示意图；
28.图3是本实用新型第三实施例的电镀液过滤装置的结构示意图；
29.图4是可编程控制模块控制n个电磁阀的一种时序图；
30.图5是本实用新型第四实施例的电镀液过滤装置的结构示意图；
31.图6是本实用新型第五实施例的电镀液过滤装置的结构示意图。
32.为方便理解本实用新型，以下列出本实用新型中出现的所有附图标记：
33.电镀液过滤装置1、2、3、4、5
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电镀液10
34.镀液槽11
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出液口11a
35.进液口11b
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过滤桶12
36.进液支路13
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出液管路14
37.循环泵15
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进液总管路131
38.开关阀16
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第一时间段s1
39.第二时间段s2
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第n时间段sn
40.控制模块17
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液位传感器18
41.n进一出电磁阀19
具体实施方式
42.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。
43.图1是本实用新型第一实施例的电镀液过滤装置的结构示意图。
44.参照图1所示，电镀液过滤装置1包括：
45.镀液槽11，用于盛放电镀液10；镀液槽11具有出液口11a与进液口11b，出液口11a具有n个，n≥2，n个出液口11a位于镀液槽11的不同高度；
46.过滤桶12，用于过滤电镀液10；
47.n个进液支路13，每个进液支路13分别将一个出液口11a连接至过滤桶12；
48.出液管路14，将过滤桶12连接至进液口11b；以及
49.循环泵15，设置于出液管路14上，用于使电镀液10在镀液槽11与过滤桶12之间形成循环。
50.n个出液口11a中，相邻出液口11a的间距可以相等，也可以不等。
51.电镀液10内具有各种密度的杂质，轻质杂质因为密度较小，始终悬浮于电镀液上部，重质杂质因为密度较大，沉于电镀液下部。
52.循环泵15开启后，镀液槽11内液位高的电镀液先经高度较高的出液口11a进入进液支路13；之后进入过滤桶12，轻质杂质被过滤，过滤后的电镀液进入出液管路14，经进液口11b进入镀液槽11；镀液槽11内液位低的电镀液先经高度较低的出液口11a进入进液支路13；之后进入过滤桶12，重质杂质被过滤，过滤后的电镀液进入出液管路14，经进液口11b进入镀液槽11；如此循环，可提纯电镀液。
53.电镀液杂质减少，可提高电镀产品的良率。
54.其它实施例中，循环泵15可以具有n个，一个循环泵15设置在一个进液支路13上。
55.图2是本实用新型第二实施例的电镀液过滤装置的结构示意图。
56.参照图2与图1所示，本实施例的电镀液过滤装置2与实施例一的电镀液过滤装置1大致相同，区别仅在于：还包括进液总管路131，将n个进液支路13连接至过滤桶12，循环泵15设置于进液总管路131上。
57.图3是本实用新型第三实施例的电镀液过滤装置的结构示意图。
58.参照图3、图2与图1所示，本实施例的电镀液过滤装置3与实施例一、二的电镀液过滤装置1、2大致相同，区别仅在于：还包括n个开关阀16，一个开关阀16设置在一个进液支路13上，用于控制进液支路13的打开与关闭。
59.本实施例中，开关阀16为电磁阀。电镀液过滤装置3还包括控制模块17，用于向n个电磁阀发出开关信号。控制模块17可以为可编程控制模块(plc)。
60.图4是可编程控制模块控制n个电磁阀的一种时序图。
61.设定高电平h打开电磁阀，低电平l关闭电磁阀。记高度最高的出液口11a所连接的进液支路13为第一进液支路，第一进液支路上设置的电磁阀为第一电磁阀。高度依次降低的出液口11a所连接的进液支路13为第二进液支路、
……
，第n进液支路。第二进液支路上设置的电磁阀为第二电磁阀、
……
，第n进液支路上设置的电磁阀为第n电磁阀。
62.参照图4所示，对于一个周期的第一时间段s1内，可编程控制模块给第一电磁阀高电平，打开第一进液支路；给其余电磁阀低电平，关闭其余进液支路。对于一个周期的第二时间段s2内，可编程控制模块给第二电磁阀高电平，打开第二进液支路；给其余电磁阀低电平，关闭其余进液支路。
……
对于一个周期的第n时间段sn内，可编程控制模块给第n电磁阀高电平，打开第n进液支路；给其余电磁阀低电平，关闭其余进液支路。换言之，一个周期内，
第一进液支路、第二进液支路、
……
，第n进液支路依次打开。
63.第一时间段s1、第二时间段s2、
……
，第n时间段sn的具体数值可以由可编程控制模块设定。
64.可编程控制模块在一个周期内，可按其它设定顺序依次交替打开n个进液支路13。此外，可编程控制模块在一个周期内，可按其它设定顺序在一个时间段内同时打开两个及其以上的进液支路13，例如在第一时间段s1同时打开第一进液支路与第二进液支路。
65.其它实施例中，开关阀16也可以为机械阀。
66.其它实施例中，开关阀16也可以替换为流量阀。每个流量阀用于控制所在进液支路13的电镀液的流量。流量阀可以为机械流量阀，优选为电磁流量阀。当流量阀为电磁流量阀时，电镀液过滤装置3的控制模块17用于向n个电磁流量阀发出流量控制信号。当控制模块17为可编程控制模块时，还可设置n个电磁流量阀的时序。
67.图5是本实用新型第四实施例的电镀液过滤装置的结构示意图。
68.参照图5与图3所示，本实施例的电镀液过滤装置4与实施例三的电镀液过滤装置3大致相同，区别仅在于：还包括n个液位传感器18，n个液位传感器18置于镀液槽11内，且一个液位传感器18位于一个出液口11a；n个液位传感器18连接于控制模块17。
69.控制模块17向各个进液支路13的电磁阀或电磁流量阀发出控制时序前，可以根据各个液位传感器18得到的电镀液的高度信息，选择电镀液高度以下的进液口11a对应的进液支路13。
70.图6是本实用新型第五实施例的电镀液过滤装置的结构示意图。
71.参照图6与图5所示，本实施例的电镀液过滤装置5与实施例四的电镀液过滤装置4大致相同，区别仅在于：n个进液支路13与进液总管路131之间通过n进一出电磁阀19连接，n进一出电磁阀19用于控制各个进液支路13的电镀液的流量。
72.省略n个开关阀16或n个流量阀，可简化电镀液过滤装置5的部件结构。
73.n进一出电磁阀19可使用控制模块17按预定时序打开或关闭每个进口，或控制每个进口的流量。
74.本实用新型一实施例还提供一种电镀系统，包括上述任一电镀液过滤装置1、2、3、4、5。
75.电镀系统还可以包括：阴极、阳极、电源以及电镀液体系。
76.虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。