一种电镀载具的制作方法

1.本实用新型涉及工装夹具技术领域，特别是涉及一种电镀载具。


背景技术：

2.随着太阳能电池产业的不断发展，电镀技术作为新型太阳能电池片电极制备方法，逐渐取代了传统的丝网印刷电极工艺。电镀电极具有较高的高宽比，以及较好的电导率，能够使电池的内部电阻降低，减少遮光损失，提高太阳能电池片的光电转换效率，大幅降低太阳能电池片的生产成本。
3.太阳能电池片进行电镀时，电池片被电镀载具上的夹持件夹持着进行电镀作业，然而，由于夹持件的制造装配误差以及长时间的使用损耗，电池片两侧的夹持件容易出现错位不齐的现象，导致对电池片施加的夹持力不均，进而容易造成太阳能电池片的隐裂破碎。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供一种电镀载具，以至少解决现有电镀载具的夹持件在长时间使用后，容易出现错位不齐、无法稳定夹持太阳能电池片的问题。
5.为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.本实用新型提供了一种电镀载具，包括固定载板、运动件、第一夹持件和第二夹持件；
7.所述第一夹持件与所述运动件可拆卸连接，所述第二夹持件与所述固定载板可拆卸连接；
8.所述运动件与所述固定载板活动连接，通过相对所述固定载板转动或平移，带动所述第一夹持件移动，以使所述第一夹持件与所述第二夹持件夹持太阳能电池片；
9.所述运动件设置有第一安装孔，所述第一夹持件设置有第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔通过连接件将所述运动件与所述第一夹持件可拆卸连接，其中，所述第二安装孔的面积大于所述第一安装孔的面积。
10.可选地，所述固定载板设置有第三安装孔，所述第二夹持件设置有第四安装孔，所述第三安装孔和所述第四安装孔通过连接件将所述固定载板与所述第二夹持件可拆卸连接，其中，所述第四安装孔的面积大于所述第三安装孔的面积。
11.可选地，所述第一安装孔为正圆形孔，所述第二安装孔为正圆形孔或条形孔。
12.可选地，所述运动件设置有沉槽，所述第一安装孔开设于所述沉槽内；所述沉槽内填充有绝缘防腐胶，所述连接件嵌于所述沉槽内，且被所述绝缘防腐胶覆盖。
13.可选地，所述运动件为轴杆，所述轴杆与所述固定载板转动连接；
14.所述第一夹持件包括载体、悬臂和探针，所述悬臂的一端与所述载体固定连接，另一端与所述探针固定连接；所述探针分别与所述载体和所述悬臂垂直；
15.所述载体设置有所述第二安装孔，所述第一安装孔和所述第二安装孔通过连接件
将所述轴杆与所述载体可拆卸连接。
16.可选地，所述悬臂连接于所述轴杆靠近所述固定载板的一侧。
17.可选地，所述电镀载具还包括垫块，所述垫块的一面与所述悬臂焊接为一体，另一面与所述轴杆固定连接；
18.所述垫块设置有第五安装孔，所述第五安装孔与所述第二安装孔形状尺寸相同，所述第一安装孔、所述第二安装孔和所述第五安装孔通过连接件将所述轴杆和所述垫块可拆卸连接。
19.可选地，所述垫块的边缘开设有燕尾槽，所述燕尾槽内填充有绝缘防腐胶。
20.可选地，所述电镀载具还包括限位提升机构，所述限位提升机构与所述悬臂连接，用于调整所述悬臂与所述探针保持垂直状态。
21.可选地，所述电镀载具包括多个所述第一夹持件和所述第二夹持件；
22.所述固定载板包括多个装夹区域，所述装夹区域用于装夹太阳能电池片；
23.所述轴杆由多节分轴杆依次连接而成，所述分轴杆、所述第一夹持件和所述第二夹持件与每个所述装夹区域一一对应；
24.所述第一夹持件和所述第二夹持件分别为一体结构，所述第一夹持件与所述分轴杆可拆卸连接，所述第二夹持件与所述固定载板可拆卸连接。
25.相对于现有技术，本实用新型所述的校正装置具有以下优势：
26.本实用新型的电镀载具包括固定载板、运动件、第一夹持件和第二夹持件；运动件与固定载板活动连接，通过相对固定载板转动或平移，带动第一夹持件移动，以使第一夹持件与第二夹持件夹持太阳能电池片；运动件设置有第一安装孔，第一夹持件设置有第二安装孔，第一安装孔和第二安装孔通过连接件将运动件与第一夹持件可拆卸连接，其中，第二安装孔的面积大于第一安装孔的面积。本实用新型的电镀载具可以调节第一夹持件在运动件上的安装位置，有效改善电镀载具经长时间使用后，夹持件出现错位不齐的现象，平衡夹持件对太阳能电池片的夹持力，从而保证电镀载具能够稳定夹持太阳能电池片进行电镀，防止太阳能电池片的隐裂破碎。
附图说明
27.构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
28.图1是本实用新型实施例中一种电镀载具示意图；
29.图2是本实用新型实施例中一种安装孔结构的示意图；
30.图3是本实用新型实施例中另一种安装孔结构的示意图；
31.图4是本实用新型实施例中一种沉槽结构的示意图；
32.图5是本实用新型实施例中一种电镀载具的侧视图；
33.图6是本实用新型实施例中第一种电镀载具夹持太阳能电池片的示意图；
34.图7是本实用新型实施例中第二种电镀载具夹持太阳能电池片的示意图；
35.图8是本实用新型实施例中第三种电镀载具夹持太阳能电池片的示意图。
36.附图标记说明：
37.1-固定载板，2-运动件，21-第一安装孔，22-沉槽，3-第一夹持件，31-第二安装孔，32-载体，33-悬臂，34-探针，4-第二夹持件，5-连接件，6-垫块，61-燕尾槽，7-太阳能电池片，8-限位提升机构。
具体实施方式
38.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
39.应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本实用新型的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。
40.本实用新型的电镀载具用于夹持太阳能电池片进行电镀，参照图1，所述电镀载具包括固定载板1、运动件2、第一夹持件3和第二夹持件4；所述运动件2与所述固定载板1活动连接，通过相对所述固定载板1转动或平移，带动所述第一夹持件3移动，以使所述第一夹持件3与所述第二夹持件4夹持太阳能电池片；所述运动件2设置有第一安装孔21，所述第一夹持件3设置有第二安装孔31，所述第一安装孔21和所述第二安装孔31通过连接件5将所述运动件2与所述第一夹持件3可拆卸连接，其中，所述第二安装孔31的面积大于所述第一安装孔21的面积。
41.具体而言，如图1所示，运动件2与固定载板1活动连接，可以相对固定载板1转动或平移，从而带动第一夹持件3移动，使第一夹持件3相对第二夹持件4运动以夹持太阳能电池片。电镀载具通过转动开合的方式装夹太阳能电池片时，运动件2可以为轴杆，轴杆上连接有第一夹持件3，通过轴杆的转动带动第一夹持件3相对第二夹持件4做开合运动，从而实现对太阳能电池片夹持。电镀载具通过平移开合的方式装夹太阳能电池片时，运动件2可以为另一个活动载板，活动载板上连接有第一夹持件3，通过活动载板的平移带动第一夹持件3相对第二夹持件4靠近或远离，从而实现对太阳能电池片夹持。
42.运动件2设置有第一安装孔21，第一夹持件3设置有第二安装孔31，利用连接件5将运动件2和第一夹持件3可拆卸的连接在一起。优选的，本实施例中的连接件5可以为紧固螺钉，将紧固螺钉穿过第一安装孔21和第二安装孔31，从而将运动件2和第一夹持件3可拆卸的连接在一起。设置第二安装孔31的面积大于第一安装孔21的面积，可以实现第一夹持件3在运动件2上安装位置的调节，有效改善电镀载具经长时间使用后，第一夹持件3出现错位不齐的现象，平衡第一夹持件3对太阳能电池片的夹持力，从而保证电镀载具能够稳定夹持太阳能电池片进行电镀，防止太阳能电池片的隐裂破碎。需要注意的是，第二安装孔31的面积不宜过大，避免造成紧固螺钉的松动。若由于加工误差等不可控因素造成第二安装孔31的面积过大，则可以在紧固螺钉插入第二安装孔31的位置处增设一个垫片，以提升紧固螺钉连接的可靠性。
43.可选地，所述固定载板1设置有第三安装孔，所述第二夹持件4设置有第四安装孔，所述第三安装孔和所述第四安装孔通过连接件5将所述固定载板1与所述第二夹持件4可拆
卸连接，其中，所述第四安装孔的面积大于所述第三安装孔的面积。
44.具体而言，固定载板1设置有第三安装孔，第二夹持件4设置有第四安装孔，利用连接件5将固定载板1和第二夹持件4可拆卸的连接在一起。类似的，本实施例中的连接件5也可以为紧固螺钉，将紧固螺钉穿过第三安装孔和第四安装孔，从而将固定载板1和第二夹持件4可拆卸的连接在一起。设置第四安装孔的面积大于第三安装孔的面积，可以实现第二夹持件4在固定载板1上安装位置的调节，有效改善电镀载具经长时间使用后，第二夹持件4出现错位不齐的现象，平衡第二夹持件4对太阳能电池片的夹持力，从而保证电镀载具能够稳定夹持太阳能电池片进行电镀，防止太阳能电池片的隐裂破碎。需要注意的是，第四安装孔的面积不宜过大，避免造成紧固螺钉的松动。若由于加工误差等不可控因素造成第四安装孔的面积过大，则可以在紧固螺钉插入第四安装孔的位置处增设一个垫片，以提升紧固螺钉的连接可靠性。
45.可选地，参照图2和图3，所述第一安装孔21为正圆形孔，所述第二安装孔31为正圆形孔或条形孔。
46.具体而言，如图2所示，一种实施例中，第一安装孔21和第二安装孔31均为正圆形孔，可以允许第一夹持件3在运动件2上进行各方向的调节，调节方向灵活、自由，更适用于对第一夹持件3进行小范围的调节。另一种实施例中，第一安装孔21为正圆形孔，第二安装孔31为条形孔，条形孔的方向可以沿轴杆的方向，也可以垂直于轴杆的方向，具体设置方向可以根据电镀载具长时间使用后第一夹持件3的错位情况而定。如图3所示，设置条形孔的方向沿轴杆的方向，可以沿轴杆方向调节第一夹持件3的位置，使第一夹持件4沿轴杆均匀排列，从而提升第一夹持件3夹持太阳能电池片进行电镀作业时的稳定性，该调节方式适用于对第一夹持件3进行某一方向上较大范围的调节。
47.类似于第一安装孔21和第二安装孔31的结构设计，第三安装孔和第四安装孔也可以均为正圆形孔，允许第二夹持件4在固定载板1上进行各方向的调节。又或者，第三安装孔为正圆形孔，第四安装孔为条形孔，条形孔的方向可以沿第二夹持件4与固定载板1连接部位处固定载板1框架的方向，也可以垂直于第二夹持件4与固定载板1连接部位处固定载板1框架的方向，具体设置方向可以根据电镀载具长时间使用后第二夹持件4的错位情况而定。
48.可选地，参照图4，所述运动件2设置有沉槽22，所述第一安装孔21开设于所述沉槽22内；所述沉槽22内填充有绝缘防腐胶，所述连接件5嵌于所述沉槽22内，且被所述绝缘防腐胶覆盖。
49.具体而言，以连接件5为紧固螺钉为例，对本实施例进行具体的解释说明。如图4所示，在运动件2上设置有沉槽22，在沉槽22内开设第一安装孔21，紧固螺钉穿过第二安装孔31和第一安装孔21将第一夹持件3和运动件2连接在一起后，紧固螺钉的螺帽嵌于运动件2的沉槽22内，且螺帽的表面低于运动件2的表面。在沉槽22内填充绝缘防腐胶，将紧固螺钉的螺帽表面覆盖，既可以防止在电镀作业过程中电流通过紧固螺钉而使运动件2携带电流，引发安全事故，又可以防止紧固螺钉被电镀液腐蚀，从而加强运动件2和第一夹持件3的连接关系，同时延长紧固螺钉的使用寿命。
50.类似地，在固定载板1上也可以设置有沉槽，在沉槽内开设第三安装孔，紧固螺钉穿过第四安装孔和第三安装孔将第二夹持件4和固定载板1连接在一起后，紧固螺钉的螺帽嵌于固定载板1的沉槽内，螺帽的表面低于固定载板1的表面。在沉槽内填充绝缘防腐胶，将
紧固螺钉的螺帽表面覆盖，既可以防止在电镀作业过程中电流通过紧固螺钉而使固定载板1携带电流，引发安全事故，又可以防止紧固螺钉被电镀液腐蚀，从而加强固定载板1和第二夹持件4的连接关系，同时延长紧固螺钉的使用寿命。
51.可选地，参照图1和图5，所述运动件2为轴杆，所述轴杆与所述固定载板1转动连接；所述第一夹持件3包括载体32、悬臂33和探针34，所述悬臂的一端与所述载体32固定连接，另一端与所述探针34固定连接；所述探针34分别与所述载体32和所述悬臂33垂直；所述载体32设置有所述第二安装孔31，所述第一安装孔21和所述第二安装孔31通过连接件5将所述轴杆与所述载体32可拆卸连接。
52.具体而言，如图1和图5所示，轴杆与固定载板1转动连接，通过轴杆的转动带动第一夹持件3相对第二夹持件4做开合运动，从而实现对太阳能电池片的夹紧与松开。第一夹持件3包括载体32、悬臂33和探针34，悬臂33的一端与载体32固定连接，另一端与探针34固定连接，使载体32、悬臂33和探针34成为一体结构。载体32上设置有第二安装孔31，连接件5借助第一安装孔21和第二安装孔31，将轴杆和载体32可拆卸地连接在一起，使载体32在轴杆上的连接位置可以进行调节，从而实现第一夹持件3夹持位置的调节。装夹太阳能电池片进行电镀时，探针34接触太阳能电池片，电流可以通过探针34对太阳能电池片进行电镀。
53.一种实施例中，悬臂33和探针34为一体式连接，例如焊接在一起，二者不可拆卸，不同规格的第一夹持件3即对应着不同规格的悬臂33和探针34，该方式可以省去悬臂33和探针34的装配工艺，能够有效降低生产成本，若第一夹持件3出现错位不齐的情况，可以将悬臂33和探针34同时进行调整。另一种实施例中，悬臂33和探针34为分体式连接，例如通过螺钉连接在一起，悬臂33和探针34可以通过螺钉配合在一起，二者可以拆卸，该方式中，若第一夹持件3出现错位不齐的情况，可以单独拆卸探针34进行调整，调整精度更高，探针34的更换更为简便。对于悬臂33和探针34具体的连接方式，本实施例不做限制。
54.类似地，第二夹持件4的结构可以和第一夹持件3的结构相同，第二夹持件4可以包括载体、悬臂和探针，悬臂的一端与载体固定连接，另一端与探针固定连接。载体上设置有第四安装孔，连接件5借助第三安装孔和第四安装孔，将固定载板1和载体可拆卸地连接在一起，使载体在固定载板上的连接位置可以进行调节，从而实现第二夹持件4夹持位置的调节。
55.可选地，参照图7，所述悬臂33连接于所述轴杆靠近所述固定载板1的一侧。
56.具体而言，如图7所示，为解决前述实施例中存在的问题，也可以将悬臂33连接于轴杆靠近固定载板1的一侧。类似地，悬臂33与探针34连接的一端受到探针34传递而来的沿探针34方向且远离太阳能电池片7的力，悬臂33与轴杆连接的一端，初始时，轴杆带动悬臂33转动至与太阳能电池片7平行的位置，探针34便可接触太阳能电池片7，在长时间的使用后，由于探针34的受力滑移，悬臂33在转动至与太阳能电池片7平行的位置后，轴杆需要继续顺时针方向转动，才能保证探针34接触太阳能电池片7，此时悬臂33受到轴杆施加的沿悬臂33且远离探针34方向的拉伸力，可以减小悬臂33产生弯曲的程度，甚至避免悬臂33产生弯曲，从而减轻探针34的滑移程度，使探针34垂直接触太阳能电池片7进行夹紧，有效提升悬臂33和探针34的使用寿命。
57.进一步地，由于本实施例中的悬臂33连接于轴杆靠近固定载板1的一侧，在清洗悬臂33以及探针34时，悬臂33被轴杆遮挡难以清洗干净，因而可以设置轴座对轴杆进行支撑。
轴座的高度可以根据第一夹持件3中探针34的高度设置，使在轴座支撑下的轴杆和固定载板1之间形成间隙，该间隙的高度略大于第一夹持件3和第二夹持件4的高度之和，即能使第一夹持件3和第二夹持件4有效夹持太阳能电池片，又能使第一夹持件3和第二夹持件4在分开的情况下，可以对第一夹持件3进行充分的清洗，避免残留的电镀液对第一夹持件3造成腐蚀。
58.可选地，参照图5，所述电镀载具还包括垫块6，所述垫块6的一面与所述载体32焊接为一体，另一面与所述轴杆固定连接；所述垫块6设置有第五安装孔，所述第五安装孔与所述第二安装孔31形状尺寸相同，所述第一安装孔21、所述第二安装孔31和所述第五安装孔通过连接件5将所述轴杆和所述垫块6可拆卸连接。
59.具体而言，若轴杆和载体32载体32直接连接，结合前述实施例，可知在轴杆和载体32连接的部位，填充有绝缘防腐胶，悬臂33在不断地电镀作业过程中容易发生变形，变形后产生的变形力通过载体32施加给轴杆以及连接部位的绝缘防腐胶，可能导致连接部位的绝缘防腐胶碎裂、脱落，从而使轴杆和载体32的连接部位遭到电镀液的腐蚀，甚至失去绝缘作用，发生漏电现象，引发安全事故。鉴于此，如图5所示，为电镀载具设置垫块6，将垫块6的一面与载体32焊接成为一体结构，在垫块6上设置有第五安装孔，第五安装孔和载体32上的第二安装孔31的形状尺寸相同，连接件5借助第一安装孔21、第二安装孔31和第五安装孔，将轴杆和垫块6可拆卸地连接在一起，从而使得载体32和轴杆之间通过垫块6实现连接。将载体32通过垫块6和轴杆连接，一方面可以对载体32产生的变形力起到一定的吸收缓冲作用，避免变形力造成绝缘防腐胶的碎裂，从而保护轴杆和载体32的连接部位不遭受电镀液的腐蚀，提升连接部位的可靠性。另一方面可以避免载体32和轴杆之间积聚电镀液，造成连接部位的腐蚀。
60.可选地，参照图5，所述垫块6的边缘开设有燕尾槽61，所述燕尾槽61内填充有绝缘防腐胶。
61.具体而言，如图5所示，垫块6的边缘开设有燕尾槽61，燕尾槽61中填充有绝缘防腐胶，可以提升垫块6的耐腐蚀性能，加强垫块6与轴杆的连接关系，使垫块6与轴杆的连接更为可靠，从而避免与垫块6焊接的悬臂33带动探针34夹持太阳能电池片时产生晃动，保证夹持力的稳定。
62.可选地，参照图7，所述电镀载具还包括限位提升机构8，所述限位提升机构8与所述悬臂33连接，用于调整所述悬臂33与所述探针34保持垂直状态。
63.具体而言，如图6所示，在第一夹持件3和第二夹持件4夹持太阳能电池片7进行电镀时，对于第一夹持件3而言，探针34的一端和太阳能电池片7接触，施加给太阳能电池片7一个夹紧力，同时受到太阳能电池片7产生的沿探针34方向的反作用力。由于探针34的另一端和悬臂33固定连接，因此探针34受到的力会传递至悬臂33，对悬臂33施加一个沿探针34方向且远离太阳能电池片7的力。悬臂33的另一端连接于轴杆远离固定载板1的一侧，初始时，轴杆带动悬臂33转动至与太阳能电池片7平行的位置，探针34便可接触太阳能电池片7，然而，在长时间的使用后，由于探针34的受力滑移，悬臂33在转动至与太阳能电池片7平行的位置后，轴杆需要继续顺时针方向转动，才能保证探针34接触太阳能电池片7，此时悬臂33受到轴杆施加的沿悬臂33且朝向探针34方向的挤压力，使悬臂33向靠近太阳能电池片7的方向产生弯曲，悬臂33和探针34不再垂直，进而容易造成探针34夹持不稳或悬臂33损坏
的情况。
64.如图7所示，为解决该问题，为电镀载具设置限位提升机构8，将其与悬臂33连接。一种实施例中，在探针34转动过程中，且在探针34接触太阳能电池片7之前，限位提升机构8对悬臂33进行提拉，直至探针34接触太阳能电池片7，撤走限位提升机构8。该方式可以提前释放掉悬臂33的弯曲应力，使悬臂33和探针34在转动过程中始终保持垂直。另一种实施例中，在探针34未开始转动时，先通过限位提升机构8反向牵拉悬臂33，使悬臂33反向弯曲变形，之后在悬臂33和探针34转动过程中，悬臂33的受到的正向弯曲应力可以和先前反向弯曲应力抵消，从而使悬臂33恢复水平，和探针34保持垂直。本方式中反向弯曲变形是指沿远离固定载板1的方向弯曲变形，正向弯曲变形是指沿靠近固定载板1的方向弯曲变形。上述两种实施例都可以减轻探针34的滑移程度，使探针34垂直接触太阳能电池片7进行夹紧，有效提升悬臂33和探针34的使用寿命。
65.另外，限位提升机构8的另一端可以与轴杆连接，也可以与固定载板1连接，也可以自由连接在其它机构上，只需要具备对悬臂33的调整功能即可，具体连接方式本实施例不作限制。
66.可选地，所述电镀载具包括多个所述第一夹持件3和所述第二夹持件4；所述固定载板1包括多个装夹区域，所述装夹区域用于装夹太阳能电池片；所述轴杆由多节分轴杆依次连接而成，所述分轴杆、所述第一夹持件3和所述第二夹持件4与每个所述装夹区域一一对应；所述第一夹持件3和所述第二夹持件4分别为一体结构，所述第一夹持件3与所述分轴杆可拆卸连接，所述第二夹持件4与所述固定载板1可拆卸连接。
67.具体而言，固定载板1多个装夹区域中的每一个装夹区域可以装夹一个太阳能电池片，每个装夹区域相互独立，互不干涉，装夹区域的数量可以根据需要自由设置，具体设置数量本实施例不做限制。轴杆由多节分轴杆依次连接而成，每节分轴杆可独立转动，互不影响，每节分转轴与每个装夹区域对应的固定载板1转动连接，从而使每个装夹区域能够完成独立工作，互不影响。
68.多个第一夹持件3和第二夹持件4分别与每个装夹区域一一对应，且都为一体结构，第一夹持件3与每节分轴杆可拆卸连接，第二夹持件4与固定载板1上每个装夹区域对应的位置可拆卸连接。其中，每个第一夹持件3的总长度，即载体32的长度和与其连接的分轴杆的长度相同，每个第一夹持件3上悬臂33和探针34的数量根据载体32的总长度确定，在将第一夹持件3安装在每节分轴杆上时，仅通过分轴杆和载体32的装配即可完成第一夹持件3的安装，有效节省安装时间。类似地，每个第二夹持件4的总长度和与其对应的每个装夹区域的长度相同，每个第二夹持件4上悬臂和探针的数量根据载体的总长度确定，在将第二夹持件4安装在每个装夹区域的两侧时，仅通过固定载板1和载体的装配即可完成安装第二夹持件的安装，有效节省安装时间。通过分轴杆带动第一夹持件3相对第二夹持件4转动，可以完成太阳能电池片的装夹。
69.本实施例中分轴杆的设计以及第一夹持件3和第二夹持件4一体结构的设计可以使固定载板1中的各装夹区域能够独立工作，互不干涉，若对一个太阳能电池片进行电镀，则只需要两节分轴杆带动两组第一夹持件3转动，和一个装夹区域上的对应的两组第二夹持件4配合，不需要其余分轴杆和夹持件工作，避免资源浪费，有效减少第一夹持件3和第二夹持件4之间的磨损，提高电镀载具整体的使用寿命。此外，本实施例中的电镀载具若出现
损坏，则可以对局部模块进行整体更换与维修，操作简便，降低维修难度。
70.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
71.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。