脉冲电镀装置、电镀设备及电镀电流控制方法与流程

本发明涉及电镀设备，尤其涉及一种脉冲电镀装置、电镀设备及电镀电流控制方法。

背景技术：

1、基于电子产品集成化和智能化程度的提高，相应的元器件加工工艺要求也随之提高。对于电镀加工行业而言，电镀设备常采用脉冲电镀技术对集成电路或芯片半导体进行电镀操作。然而，电镀设备在脉冲电镀电流正负极互换时，负向导通的电流流经电极阳极表面产生的析氢现象会使电极阳极表面侵蚀，从而导致电镀设备的损耗速度加快。如何在提升电镀质量的同时，延长设备使用寿命，成为电镀加工行业主要解决问题。相关技术中，为减少该影响，将电极阳极前设置不锈金属电极，同时在不锈金属电极至整流器之间加装二极管以分离负向电流，利用的不锈金属电极的不溶解惰性，延缓电极阳极的损耗。

2、但该方式会使正向导通的电流，经过不锈金属电极时电流分布不均匀，影响电镀均匀性。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种脉冲电镀装置，能够改善脉冲电镀时，电流分布不均而导致的电镀不均匀问题。

2、本发明还提出一种具有上述脉冲电镀装置的电镀设备。

3、本发明还提出一种上述电镀设备的电镀电流控制方法。

4、根据本发明的第一方面实施例的脉冲电镀装置，包括阳极组件、阴极组件、分流组件以及电镀槽，其中，所述阳极组件包括阳极件和第一导通件，所述第一导通件用于导通电流，所述阳极件电连接于所述第一导通件；所述阴极组件包括载物板和第二导通件，所述第二导通件用于导通电流，所述载物板电连接于所述第二导通件；至少一个所述阳极件相对设置于所述载物板的一侧，且导通状态下，所述载物板能够与所述阳极件形成电流回路；所述分流组件包括分流件和第三导通件，所述第三导通件用于导通电流，所述分流件相对所述阳极件设置，且电连接于所述第三导通件；所述分流件设置于阳极件与载物板之间，且导通状态下，所述分流件能够与所述载物板形成电流回路；所述第一导通件、所述第二导通件以及所述第三导通件互不导通；所述电镀槽具有一侧开口的容置腔，所述容置腔用于装载电镀液，以及，容置所述阳极件、所述分流件和所述载物板。

5、本发明实施例的脉冲电镀装置，至少具有如下有益效果：容置腔内装载电镀液，将阳极件、分流件和载物板放置于容置腔内，浸泡于电镀液中，以便电镀操作。脉冲电镀操作时，将待电镀件装载于载物板上，阳极件相对设置于所述载物板的一侧，分流件位于阳极件与载物板之间相对阳极件设置，当脉冲电镀的电流为正向电流时，阳极件与载物板形成电流回路对待电镀件进行电镀，阳极件内电流分布均匀，进而对待电镀件的电镀均匀性高，电镀效果好；当脉冲电镀的电流为反向电流时，分流件能够与载物板形成电流回路，使得，反向电流不流经阳极件，避免阳极件表面产生析氢现象，有效解决阳极件表面侵蚀而导致电镀设备的损耗速度加快的问题。需要说明的是，至少一个阳极件相对设置于载物板的一侧，可以适用于待电镀件的单面电镀或者双面电镀。

6、根据本发明的一些实施例，所述阳极件包括阳极板和安装件，所述阳极板安装于所述安装件朝向所述阴极组件的一侧。

7、根据本发明的一些实施例，所述阳极件包括阳极板和安装件，所述阳极板安装于所述安装件朝向所述阴极组件的一侧。

8、根据本发明的一些实施例，所述安装件朝向所述第一导通件一侧具有连接部，所述连接部用于与第一导通件电连接。

9、根据本发明的一些实施例，所述阳极件由钛金属制成；和/或，分流件由钛金属制成。

10、根据本发明的一些实施例，至少一个所述阳极件电连接于所述第一导通件，和/或，至少一个所述分流件电连接于所述第三导通件，和/或至少一个所述载物板连接于所述第二导通件。

11、根据本发明的一些实施例，多个所述分流组件连接于所述第三导通件，同一所述第三导通件上相邻所述分流件间形成避让区，所述避让区相对所述阳极件设置，和所述避让区相对所述载物板设置。

12、根据本发明的一些实施例，所述分流件具有连通件和避让件，所述连通件电连接于所述第三导通件，所述避让件连接于所述连通件，所述避让件朝向所述避让区水平延伸。

13、根据本发明的一些实施例，所述阳极件和所述分流件存在第一间隔区，所述所述载物板和所述分流件存在第二间隔区。

14、根据本发明的一些实施例，所述所述第一导通件、所述第二导通件以及所述第三导通件设置于所述容置腔外。

15、根据本发明的第二方面实施例的电镀设备，包括整流器、导线以及本发明第一方面实施例的脉冲电镀装置，其中：所述整流器用于输出周期性变化的正向电流和反向电流，包括第一开关、第二开关以及第三开关，所述第一开关用于控制所述阳极组件的电流导通，所述第二开关用于控制所述分流组件的电流导通，所述第三开关用于控制所述阴极组件的电流导通；所述导线用于导通电流，所述导线包括第一导线、第二导线以及阴极导线，所述第一导线连接于所述第一开关与所述第一导通件间，所述第二导线连接于所述第二开关与所述第三导通件间，所述阴极导线连接于所述第二导通件与所述第三开关间；

16、所述第一开关与所述第三开关开启，所述载物板能够与所述阳极件形成电流回路，或者所述第二开关与所述第三开关开启，所述分流件能够与所述载物板形成电流回路。

17、本发明实施例的电镀设备，至少具有如下有益效果：整流器可以输出周期性变化的正向电流和反向电流，适于脉冲电镀。脉冲电镀操作时，将待电镀件装载于载物板上，当整流器输出正向电流时，第一开关与第三开关开启，第二开关闭合，载物板能够与阳极件形成电流回路，使得阳极件内电流分布均匀，从而对待电镀件进行电镀电镀均匀性高，电镀质量好；当整流器输出反向电流时，第二开关与第三开关开启，第一开关闭合，分流件能够与载物板形成电流回路，使得，反向电流不流经阳极件，避免阳极件表面产生析氢现象，发生表面侵蚀，影响阳极件使用寿命。该电镀设备能够在确保电镀效果情况下，提高脉冲电镀装置的使用寿命。

18、根据本发明的第三方面实施例的电镀电流控制方法，其特征在于，用于控制本发明第二方面实施例的电镀设备，所述电镀电流控制方法包括：

19、正向导通：所述整流器输出正向电流，所述第一开关与所述第三开关开启，所述正向脉冲电流分别通过所述第一导线与所述阴极导线形成电流回路，进行电镀；

20、反向导通：所述整流器切换输出反向电流，所述第一开关关闭，所述第二开关与所述第三开关开启，所述反向脉冲电流分别通过所述第二导线与阴极导线形成电流回路；

21、重复所述正向导通和所述反向导通步骤，实现电镀设备的脉冲电镀操作。

22、本发明实施例的电镀电流控制方法，至少具有如下有益效果：能够改善脉冲电镀正负极互换时，反向电流流经阳极件表面产生的析氢现象导致表面侵蚀，从而提高电镀设备的损耗速度，降低使用寿命的问题，同时，也能确保输出正向电流时，阳极件内电流分布均匀，对待电镀件进行电镀后，电镀均匀性高，电镀质量佳。

23、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。