专利名称：压力产生装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及产生脉冲状的负压空气或者正压空气的压力产生装置，例如涉及产生用于在输送半导体芯片、电容器和电阻器等小型轻量的零件的输送部中进行零件的姿势乃至定位的正压或者负压空气的压力产生装置。
背景技术：
在把半导体芯片、电容器和电阻器等小型的重量轻的零件搭载在安装基板或实验板上的情况下，从零件供给部由芯片支架输送到安装基板或实验板上。在搭载比较小型的零件的情况下，零件成为收容在带子送料器或散装货送料器内的状态并配置在零件供给部上。带子送料器是在带子上每隔规定的间隔放置零件，边输送带子边抽出零件。而散装货送料器是从零件收容部将零件直线状排列在导轨上进行输送，从导轨的顶端抽出零件。
带子送料器在取出零件之后，残留空的带子，必须将其作为废弃物进行处理，与此相反，散装货送料器具有不产生废弃物的优点。但是，为了使用散装送料器并取出零件，必须把零件定位在散装货送料器的导轨的取出位置上。为了把零件做成规定的姿势并定位在规定的位置上需要由真空把零件定位在导轨的规定位置上。
真空，如1989年2月25日株式会社欧姆社发行的《油空压便览》第450～451页记载的那样，可以由真空泵或喷射泵产生，但是当把真空泵装入散装送货器等装置上时，送料器就成为大型装置了。另外，在用喷射泵产生真空时，由于通常需要把压缩空气从喷嘴供给到扩散器部，所以必须在零件输送装置上设置压缩机等气压产生源，输送装置就变大了。
例如，为了调整由散装货送料器输送到规定的输出口的零件的姿势同时进行定位，在真空吸附零件的情况下，对于通常的由真空吸附零件，在从由散装货送料器形成的零件供给部到安装其板由输送头升起零件时，不能轻轻地升起零件。因此为了把零件吸附在散装货送料器上，当脉冲状供给负压空气的时候，零件在瞬间被反复吸附和解除吸附，已经了解清楚，可以可靠地进行零件的定位，同时，在解除吸附时由输送头能可靠地升起零件。另外，已了解清楚，为了输送零件，即使供给脉冲状的压缩空气，也同样可以可靠地进行零件的定位。
但是，为了脉冲状地供给由真空泵或喷射泵产生的负压空气或由压缩机产生的正压空气，需要在真空路或正压路上设置用于开闭该流路的电磁阀。
本发明的目的在于，提供产生正压空气或负压空气的小型的压力产生装置。
本发明的另一个目的在于，提供产生脉冲状的正压空气或者负压空气的小型的压力产生装置。
本发明的再一个目的在于，提供一种压力产生装置，在沿输送构件输送小型的重量轻的零件时，由正压或者负压的空气把零件定位在输送构件的规定位置上，能可靠地从输送构件上取出最前头的零件。
发明内容
本发明的压力产生装置，具有在轴向上往复移动自由地收容固定在活塞杆上的活塞的气缸、与上述活塞杆连接且在轴向上往复驱动上述活塞的驱动机构、连接上述气缸内形成的膨胀收缩室和供给正压或者负压的空气的作动口的压力供给路、设置在上述压力供给路上的，在伴随上述活塞的往复移动的上述膨胀收缩室的膨胀收缩时经上述压力供给路连通上述作动口和上述膨胀收缩室的开放用止回阀、设置在连接上述压力供给路的辅助流路上的，在上述开放用止回阀开放上述压力供给路时关闭上述辅助流路，在关闭上述压力供给路时开放上述辅助流路的辅助止回阀，由上述活塞使上述膨胀收缩室膨胀并向上述作动口供给正压或负压空气。
本发明的压力产生装置，具有设置在与上述活塞的一侧的膨胀收缩室连接的第1压力供给路上的第1开放用止回阀、设置在与上述第1压力供给路连接的第1辅助流路上的第1辅助止回阀、设置在与上述活塞的另一侧的膨胀收缩室连接的第2压力供给路上的第2开放用止回阀、设置在与上述第2压力供给路连接的第2辅助流路上的第2辅助止回阀，由上述活塞的往复移动，交互地把正压或负压空气供给分别与上述压力供给路连接的2个上述作动口。
本发明的压力产生装置，在形成于输送零件的零件输送部上的上述作动口上连接上述压力供给路。
本发明的压力产生装置，把由上述第1开放用止回阀和上述第1辅助止回阀构成的第1止回阀组装体和由上述第2开放用止回阀和上述第2辅助止回阀构成的第2止回阀组装体在上述活塞的往复移动方向上错开设置在上述气缸上。
在本发明中，由在直线方向上往复移动装入气缸内的活塞的小型的装置可以产生正压空气或者负压空气。由于由活塞的往复移动产生正压或者负压空气，所以，在活塞的往动和复动中的一种移动时，可以产生正压或者负压空气，在另一种移动时可以停止正压或者负压空气的产生，可以不使用电磁阀等而由简单小型的装置脉冲状地产生正压或者负压空气并反复进行正压或者负压空气的供给和停止供给。另外，由于膨胀收缩室和止回阀的距离近，所以可以缩小空气流动空间，为此提高了脉冲状产生的正压或者负压空气的高速敏感度。通过把脉冲状的压缩空气或者负压空气供给在输送零件的零件输送部上形成的作动口，可以在把零件在零件输送部上定位规定时间后把零件从零件输送部上取出。
图1是表示本发明的一个实施例的压力产生装置的概略图。
图2是表示本发明的另一个实施例的压力产生装置的概略图。
图3是表示本发明的另一个实施例的压力产生装置的概略图。
图4(A)是表示图1所示的压力产生装置的俯视图。
图4(B)是图4(A)的剖面图。
图5是放大表示图4所示的止回阀组合体的剖面图。
图6是表示止回阀组合体的变型例的剖面图。
图7是表示止回阀组合体的另一个变型例的剖面图。
图8(A)是表示压力产生装置的变型例的俯视图。
图8(B)是图8(A)的剖面图。
图9是表示压力产生装置的另一个变型例的正视图。
图10是表示压力产生装置的再另一个变型例的俯视图。
图11是图10的正视图。
图12是图11的左侧视图。
图13是图11的右侧视图。
图14是图10的剖面图。
具体实施例方式
图1所示的压力产生装置适用于，从由散装货送料器形成的零件供给部向未图示的安装基板输送供给半导体芯片等零件的零件输送装置，通过向零件输送装置供给负压空气把零件定位在规定的位置上，以便于把先头零件取出到外部。该压力产生装置用于产生负压。
在图1中表示了散装货送料器的零件输出口，零件W沿导轨1整齐排列并被输送。在导轨1上设置如箭头所示的在直线方向上自由往复移动的开闭式的挡板2，由该挡板2开闭零件输出口3。在由挡板2打开零件输出口3的状态下，设置在未图示的输送头上的吸附工具4下降后，零件W被吸附工具4吸附并上升，向水平方向输送到安装基板等规定的组装位置上。输送到规定的位置之后，通过使吸附工具4下降，零件W被搭载在安装基板等被组装的构件上。
为了把沿导轨1输送的零件W定位在零件输出口3的规定位置上同时设定成规定的姿势，在导轨1的底面上形成供给负压空气即真空的2个作动口5、6。向它们供给负压空气的压力产生装置具有一端设置了头罩11另一端设置了杆罩12的气缸10，在该气缸10的中间收容在轴向上自由往复移动的活塞13。
固定在活塞13上的活塞杆14，贯通杆罩12并突出到外部，活塞杆14经连杆机构16和连接螺钉构件17与由作为驱动机构的未图示的电动马达回转驱动的回转构件15连结。由此，电动马达的回转经连杆机构16变换成活塞杆14的轴向往复运动，活塞13在直线方向上进行往复运动。但是，活塞13的往复运动不局限于使用电动马达，也可以使用气缸等其他的驱动机构。
在气缸10内，在活塞13的两侧分别形成膨胀收缩室21、22，膨胀收缩室21当活塞13向图1中的左侧移动时进行收缩，当向右侧移动时进行膨胀。相反，膨胀收缩室22当活塞13向图1中的左侧移动时膨胀，向右侧移动时收缩。一侧的膨胀收缩室21与导轨1的底面之间由作为压力供给路径的负压供给路23连接，该负压供给路23与在导轨1的底面上形成的作动口5连通。另一侧的膨胀收缩室22与导轨1的底面之间由作为压力供给路径的负压供给路24连接，该负压供给路24与在导轨1的底面上形成的作动口6连通。
在负压供给路23上连接作为辅助流路的排气流路25，该排气流路25经负压供给路23与膨胀收缩室21连通。在另一个负压供给路24上连接作为辅助流路的排气流路26，该排气流路26经负压供给路24与膨胀收缩室22连通。
在各负压供给路23、24上分别设置允许空气从作动口5、6向膨胀收缩室21、22流动而阻止反方向流动的作为开放用止回阀的负压用止回阀31、32。即当负压用止回阀31伴随活塞13的往复运动而膨胀收缩室21膨胀时，开放负压供给路23，经该负压供给路23使作动口5和膨胀收缩室21成为连通状态，当膨胀收缩室21收缩时，由负压用止回阀31关闭负压供给路23。另外，当负压用止回阀32伴随活塞13的往复运动而膨胀收缩室22膨胀时，开放负压供给路24，经该负压供给路24使作动口6和膨胀收缩室22成为连通状态，当膨胀收缩室22收缩时，由负压用止回阀32关闭负压供给路24。
在各排气流路25、26上分别设置允许空气从膨胀收缩室21、22向外部流动而阻止反方向流动的作为辅助止回阀的排气用止回阀33、34。即，排气用止回阀33在负压用止回阀31开放负压供给路23时关闭排气流路25，在负压用止回阀31关闭负压供给路23时，开放排气流路25。另外，排气用止回阀34在负压用止回阀32开放负压供给路24时关闭排气流路26，在负压用止回阀32关闭负压供给路24时开放排气流路26。
因此，当活塞13向图1中的右向移动且膨胀收缩室21膨胀时，负压用止回阀31打开，负压供给路23成为负压状态，向作动口5供给负压空气。另一方面，当活塞13向图1中的左向移动时，负压用止回阀31被关闭，排气用止回阀33被打开，排气流路25与外部连通，膨胀收缩室21内的空气被排出到外部。
同样地，当活塞13向图1中的左向移动且膨胀收缩室22膨胀时，负压用止回阀32被打开，负压供给路24成为负压状态，向作动口6供给负压空气。当向右向移动时，负压用止回阀32被关闭，排气用止回阀34被打开，排气流路26与外部连通，膨胀收缩室22内的空气被排出到外部。即，该压力产生装置被用做正压空气压力产生装置。
图2是表示本发明的另一个实施例的压力产生装置的概略图。该压力产生装置适用于与图1所示的同样的零件输送装置，通过向零件输送装置供给正压空气把零件定位在规定的位置上，能把先头的零件取出到外部。
在图2中，与图1所示的构件相同的构件中使用相同的符号，在这种情况下，作动口5、6在导轨1的侧面上开口，通过从那里向零件W吹送正压空气，零件W被定位在导轨1的规定的位置上。
在作动口5和膨胀收缩室21之间连接作为压力供给路的正压供给路23a，在作动口6和膨胀收缩室22之间连接作为压力供给路的正压供给路24a。在各个正压供给路23a、24a上分别设置在各个膨胀收缩室21、22收缩时开放各个正压供给路23a，24a且把正压空气供给各个作动口5、6的正压用止回阀31a、32a。
另一方面，在连接各个正压供给路23a、24a的作为辅助流路的外气导向流路25a、26a上，设置正压用止回阀31a、32a开放正压供给路23a、24a时关闭外气导向流路25a、26a而关闭正压供给路23a、24a时开放外气导向流路25a、26a的作为辅助止回阀的外气导向止回阀33a、34a。
因此，当活塞13向图2中的左向移动膨胀收缩室21收缩时，正压用止回阀31a被打开且正压供给路23a成为正压状态，正压空气被供给到作动口5。另一方面，当向右向移动时，正压用止回阀31a被关闭，外气导向用止回阀33a被打开且外气从外气导向流路25a被导向膨胀收缩室21。
同样地，当活塞13向图2中的右向移动膨胀收缩室22收缩时，正压用止回阀32a被打开且正压供给路24a成为正压状态，正压空气供给到作动口6。另一方面，当向左向移动时，正压用止回阀32a被关闭，外气导向用止回阀34a被打开且外气从外气导向流路26a被导向膨胀收缩室22。
图3是表示本发明的另一个实施例的压力产生装置的概略图。该压力产生装置适用于与图1所示的同样的零件输送装置，通过向零件输送装置供给负压空气，把零件定位在规定的位置上，可以把先头零件取出到外部。在图3中，与图1所示的构件相同的构件使用同样的符号。
该零件输送装置与图1所示的情况一样，零件在零件通路构成构件即导轨1内被导向并被输送。导轨1安装在零件供给装置的机架41上。在导轨1的先头部上设置开闭式的挡板2。为了使该挡板2与气缸10的活塞杆14同步驱动，在零件供给装置的机架41上安装在图3的上下方向上自由往复运动的操作杆42，该操作杆42由未图示的气缸等驱动机构在上下方向上驱动。
在由支承轴43摆动自由地支承在零件供给装置的机架41上的挡板驱动杆44的一端上，销结合操作杆42，具有卡合固定在挡板2上的卡合销45的槽46，同时由支承轴47摆动自由地安装在零件供给装置的机架41上的从动杆48，经连动杆49销结合在挡板驱动杆44的另一端上。因此，当操作杆42被向图3中的下方驱动时，经挡板驱动杆44、连动杆49和从动杆48，挡板2向图3中的左向滑动并打开零件排出口。在挡板2上由压缩线圈弹簧50加上关闭方向的弹簧力。
在零件供给装置的机架41上，支承轴51安装在图未示的托架上，在该支承轴51上摆动自由地安装弯曲成直角的气缸驱动杆52。该气缸驱动杆52的一端与操作杆42销结合，另一端与活塞杆14销结合。因此，当操作杆42被向图3中的下方驱动时，经气缸驱动杆52，活塞杆14被向右方驱动。在气缸驱动杆52上由压缩线圈弹簧53加上用于把活塞杆14向左方驱动的弹簧力，当解除对操作杆42向下方的驱动时，由弹簧力向左向驱动活塞杆14。
这样，在图3所示的零件输送装置中，挡板2和气缸10的驱动由一个驱动机构同步进行。安装在气缸10上的各个负压用止回阀31、32，与图1所示的情况相同，由负压供给路23、24连接到作动口5、6上。
在图1～图3所示的压力产生装置中，使活塞杆以0.1秒以下的高速往复运动，可以产生脉冲状的压缩空气或者负压空气。作为零件，利用由气缸10产生的吸气和排气可以把1.0×0.5mm或者0.6×0.3mm方形的电子零件那样的非常小型的重量轻的零件定位在零件输送装置的规定的位置上，可以可靠地取出零件。
图4(A)是表示图1所示的压力产生装置的具体构造的俯视图，图4(B)是该图(A)的剖面图。气缸10由在两端部固定了头罩11和杆罩12的气缸管10a形成，在头罩11和杆罩12上分别安装止回阀组装体55、56。
当放大表示一个止回阀组装体55时，就是图5那个样子，另一个阀体56也是同样的构造。该止回阀组装体55具有固定在杆罩12上的安装配件57，在该安装配件57上安装2个中空构件61，62。在中空构件61上形成贯通内部并与形成在安装配件57上的连通路58连通的流路63，在其顶端上用螺纹固定接头构件64，接头构件64经形成负压供给路23的未图示的管与作动口连接。符号65是垫圈。
在中空构件61的后端部上设置形成负压用止回阀31的橡胶等制的弹性体构成的阀体66，在该阀体66上加上由弹簧构件67关闭流路63的方向的弹簧力。中空构件62形成连通外部和连通路58的流路68，在中空构件62上设置形成排气用止回阀33的橡胶制的阀体69，在该阀体69上加上由弹簧构件71关闭流路68的方向的弹簧力。
因此，空气从流路63向连通路58流动时，作为负压用止回阀31的阀体66被打开，逆向的流动被阀体66阻止。另一方面，在空气从连通路58向流路68流动时，作为排气用止回阀33的阀体69打开，反方向的流动被阀体69阻止。
在中空构件61中，装入由多孔质材料构成的、形成为圆筒形状的过滤器72，该过滤器72的接头构件侧的端部由盖构件73闭塞。因此，空气在流路63内流动时，含在其内部的灰尘等异物被过滤器72捕捉。同样地在中空构件62的端部上装入由多孔质材料构成的、形成为圆柱形状的过滤器74，由该过滤器74去除排到外部的空气中的异物，同时该过滤器74具有降低排气音的消音器的功能。
在上述构成的压力产生装置中，当使活塞杆14在直线方向上往复运动时，在活塞杆14向图1和图4中的右侧进行后退移动时，作动口5成为负压状态，当活塞杆14向左侧进行前进移动时，不向作动口5供给负压。同样，在向右侧进行后退移动时，负压空气不供给作动口6，在向左侧进行前进移动时，作动口6成为负压状态。对各个作动口5、6供给脉冲状的负压空气，通过连续地往复移动活塞杆14，对各个作动口5、6脉冲状地反复进行负压空气的供给和停止供给。
如图5所示，在中空构件62的端部上形成向阀体66突出的突出部75。由此，当膨胀收缩室进行膨胀从而空气从流路63向膨胀收缩室流动时，该空气沿阀体66的外周面流动。该空气因突出部75不作用在阀体69上而流入膨胀收缩室内。为此，由突出部75即使不增大阀间距离，也可以防止空气对阀体69的作用且可以容易地实现止回阀组装体的小型化。该空气的流动可靠地产生规定真空度的吸气流，防止空气逆流，可以使规定量的负压空气可靠地作用在零件上。
相反，当膨胀收缩室收缩时，从那里流出的空气，碰到突出部75后相对于阀体66向关闭它的方向作用，作用在阀体69上，使其反抗弹簧力而打开。由此，空气的流动可靠地密封了阀体66，可以可靠地实现空气的吸气和排气的切换。
由此，如图1所示，当散装货送料器的导轨1的零件输出口分别与负压供给路23、24连接时，在导轨1的底面上脉冲状地反复进行负压空气的供给和停止供给，输送到零件输出口3的零件W瞬间被吸附在导轨1的底面上，以规定的姿势定位在规定的位置上。
而且，由于反复进行负压空气的供给和停止供给，所以在由吸附工具4真空吸附零件W时，在负压空气的供给被停止的状态下，当使零件W上升时，也可以顺利地由吸附工具4上升输送零件W。再有，也可以把2个作动口5、6的一个设置在导轨1的侧壁上。
图6是表示止回阀组装体55的变型例的剖面图，该止回阀组装体55除了阀体66、69的构造而外，其余与图5的构造相同。阀体66、69，与图5所示的由橡胶等弹性体成形的一体形的阀相反，是由阀本体76和O形圈部77形成的。阀本体76具有圆筒部76a和端板部76b，在端板部76b上设置支承O形圈部77的突部76c，同时形成通气孔78。
图7是表示止回阀组装体55的另一个变型例的剖面图，该止回阀组装体55中的阀体66、69由装在中空构件62中的芯子79上安装的由橡胶等弹性体构成的密封件形成，各个阀体66，69具有内周部81、外周部82及连接它们的径向部83，断面为U字形状。各个阀体66，69被安装在形成于芯子79上的环状槽84、85内。在芯子79上形成贯通径向的通气孔86，从流路63流向膨胀收缩室的空气在阀体66的外周部82的外侧流动，从膨胀收缩室向流路68流动的空气在阀体69的外周部82的外侧流动。
图6和图7表示了止回阀组装体55的变型例。止回阀组装体56也是同样的构造。
图8(A)是表示气缸10的变型例的俯视图，图8(B)是该图(A)的剖面图，分别表示与图4对应的部分。图8所示的气缸10，分成收容一个阀体66的中空构件61和收容另一个阀体69的中空构件62，相互相对于气缸10的中心轴在180度的相位上对向并被安装在气缸10上。阀体66、69的构造与图4所示的相同。
图9是表示气缸10的再另一个变型例的正视图，在这种情况下，图8所示的止回阀被配置成与其相邻接。
图10～图14是表示压力产生装置的再另一个变型例的图，在安装于气 10的一端上的头罩11上，装入负压用止回阀32、排气用止回阀34和过滤器72，在安装于气缸10的另一端上的杆罩12上，装入负压用止回阀31、排气用止回阀33和过滤器72。
负压用止回阀32具有开闭连通膨胀收缩室22和接头构件64的连通路58a的阀体66，该阀体66在活塞杆14向图14中的左向前进移动时，允许空气向膨胀收缩室22内流动，在活塞杆14后退移动时，阻止空气从膨胀收缩室22向接头构件64流动。排气用止回阀34如图11所示，具有开闭连通排气孔81和膨胀收缩室22的连通路58b的阀体69，该阀体69在活塞杆14向图14中的右向后退移动时，允许空气从膨胀收缩室22向排气孔81流动，在活塞杆14向左向前进移动时，阻止空气从排气孔81向膨胀收缩室22流动。
负压用止回阀31具有开闭连通膨胀收缩室21和接头构件64的连通路58a的阀体66，该阀体66在活塞杆14向图14中的右向后退移动时，允许空气向膨胀收缩室21流动，在活塞杆14前进移动时，阻止空气从膨胀收缩室21向接头构件64流动。排气用止回阀33如图11所示，具有开闭连通排气孔82和膨胀收缩室21的连通路58b的阀体69，该阀体69在活塞杆14向图14中的左向前进移动时，允许空气从膨胀收缩室21向排气孔82流动，在活塞杆14向右向后退移动时，阻止空气从排气孔82向膨胀收缩室21流动。
本发明不限于上述实施例，在不脱离其要旨的范围内可以进行各种变更。例如，图示的压力产生装置，做成使活塞13的两侧的膨胀收缩室与作动口连接，也可以做成只有一个膨胀收缩室与作动口连接。另外，也可以做成两个压力供给路相互连接，用活塞13的前进移动和后退移动两者把正压或者负压的空气供给同一作动口，在这种情况下，无脉动而平滑化的规定压力的正压或负压的空气可常时供给用动口。再有，在图示的情况下，适用于把零件W搭载在安装基板上的输送装置，但是也适用于将其搭载在实验板上的情况。另外，也可以由该压力产生装置对图1所示的吸附工具4供给负压。再有，本发明的压力产生装置不限于上述的情况，无论需要供给负压或者正压，哪一种情况都能适用。
本发明的压力产生装置用于产生脉冲状的正压或者负压空气。
权利要求
1.一种压力产生装置，具有在轴向上往复移动自由地收容固定在活塞杆上的活塞的气缸，与上述活塞杆连接且在轴向上往复驱动上述活塞的驱动机构，连接上述气缸内形成的膨胀收缩室和供给正压或者负压的空气的作动口的压力供给路，设置在上述压力供给路上的，在伴随上述活塞的往复移动的上述膨胀收缩室的膨胀收缩时经上述压力供给路连通上述作动口和上述膨胀收缩室的开放用止回阀，设置在连接于上述压力供给路的辅助流路上的，在上述开放用止回阀开放上述压力供给路时关闭上述辅助流路，在关闭上述压力供给路时开放上述辅助流路的辅助止回阀；其特征在于，由上述活塞使上述膨胀收缩室膨胀并向上述作动口供给正压或负压空气。
2.如权利要求1所述的压力产生装置，其特征在于，具有设置在与上述活塞的一侧的膨胀收缩室连接的第1压力供给路上的第1开放用止回阀、设置在与上述第1压力供给路连接的第1辅助流路上的第1辅助止回阀、设置在与上述活塞的另一侧的膨胀收缩室连接的第2压力供给路上的第2开放用止回阀、设置在与上述第2压力供给路连接的第2辅助流路上的第2辅助止回阀；由上述活塞的往复移动，交互地把正压或负压空气供给分别与上述压力供给路连接的2个上述作动口。
3.如权利要求1所述的压力产生装置，其特征在于，在形成于输送零件的零件输送部上的上述作动口上连接上述压力供给路。
4.如权利要求2所述的压力产生装置，其特征在于，把由上述第1开放用止回阀和上述第1辅助止回阀构成的第1止回阀组装体和由上述第2开放用止回阀和上述第2辅助止回阀构成的第2止回阀组装体在上述活塞的往复移动方向上错开地设置在上述气缸上。
全文摘要
一种压力发生装置，其中，在气缸(10)中，在轴向上往复移动自由地收容活塞(13)，固定在活塞(13)上的活塞杆(14)贯通杆罩(12)并突出到外部。在连接于膨胀收缩室(21、22)和作动口(5、6)之间的负压供给路(23、24)上，设置允许空气向膨胀收缩室(21、22)流动而阻止反方向流动的负压用止回阀(31、32)。在把膨胀收缩室(21、22)连通到外部的排气流路(25、26)上，设置允许空气从膨胀收缩室(21、22)向外部流动而阻止反方向流动的排气用止回阀(33、34)。由活塞(13)的往复移动使各个负压供给路(23、24)成为真空状态。
文档编号F04B5/00GK1491320SQ02804710
公开日2004年4月21日 申请日期2002年9月27日 优先权日2001年9月28日
发明者宫下幸宏, 篠崎诚, 齐藤浩二, 神村淳男, 二, 男 申请人:株式会社小金井, 太阳诱电株式会社