专利名称：用于基于过滤器信息标签中的过滤器信息来控制泵的操作的装置和方法
技术领域：
本公开描述了一般涉及过滤的系统和方法。更具体地说，该公开涉及利用过滤器信息来控制泵的操作。
背景技术：
对于许多应用都需要精确控制通过泵送装置分发流体的量和/或速率来说。在半导体加工方面，例如，重要的是控制向半导体晶片涂敷诸如光致抗蚀剂化学品的光化学品的量和速率。在加工期间涂敷至半导体晶片的涂层通常需要横跨晶片表面的、以埃(angstrom)测量的厚度均匀性。必须控制向晶片涂敷加工化学品的速率，以便确保均匀地涂敷加工流体。
现今，在半导体エ业中使用的许多光化学品非常昂贵，经常费用高达I公升1000美元。因此，优选的是确保化学品加工设备正确操作。
发明内容
在此描述的实施例提供了用于利用有关连接至泵的过滤器的信息来控制泵的操作的系统和方法。在此描述的一个实施例可以包括泵，该泵具有一个或多个电动机以将流体汲取到泵的入口中并从泵的出口分发流体。泵还可以包括用于可去除过滤器的连接部，以使该可去除过滤器可以放置在泵入口与泵出ロ之间的流体流动路径中。该泵还可以包括电子标签读取器，该电子标签读取器被定位并配置成在将可去除过滤器连接至泵时从该可去除过滤器上的电子标签读取过滤器信息。该泵还可以包括泵控制器，该泵控制器被配置成从电子标签读取器接收过滤器信息，并且向该过滤器信息应用ー个或多个规则以确定泵的进ー步操作。另ー实施例可以包括泵，该泵具有ー个或多个电动机以用于将流体汲取到泵的入口中并从泵的出口分发流体。该泵还可以包括可去除过滤器，该可去除过滤器处于泵入口与泵出ロ之间的流体流动路径中。该过滤器可以具有存储用于该可去除过滤器的过滤器信息的电子标签。该泵可以包括电子标签读取器，该电子标签读取器被定位并配置成从电子标签读取过滤器信息。泵控制器可以耦接至电子标签读取器并且被配置成从电子标签读取器接收过滤器信息，并且向该过滤器信息应用ー个或多个规则以确定泵的进一歩操作。另ー实施例可以包括确定泵的操作的方法。该方法可以包括以下步骤将具有电子标签的过滤器连接到泵，该电子标签存储有过滤器信息，利用电子标签读取器从该电子标签读取过滤器信息，将该过滤器信息从电子标签读取器传送至耦接至该电子标签读取器的泵控制器，以及向该过滤器信息应用ー个或多个规则，以确定泵的进一歩操作。根据ー个实施例，过滤器信息可以存储在RFID标签中并且通过RFID标签读取器来读取。
通过參照结合附图的下列描述，可以获取对这些实施例及其优点的更完整理解，附图中，相同标号指示相同特征，并且其中图I是半导体制造系统的一部分的一个实施例的图解表不图；图2是根据一个实施例的多级(multiple stage)泵(“多级(multi-stage)泵”)的图解表不图；图3和4A-4G是针对分发周期的各个实施例的阀和电动机定时的图解表示图；图5是例示起动(priming)例程的一个实施例的流程图；图6A和6B是泵的一个实施例的图解表不图；
图7是过滤器和多支管(manifold)的一个实施例的图解表示图；图8是过滤器的一个实施例的图解表示图；图9是阀组件的一个实施例的图解表示图；图10是泵和连接部的一个实施例的图解表示图；图11是用于控制泵的操作的系统的ー个实施例的图解表示图；图12是例示用于利用过滤器信息标签来影响泵的操作的方法的一个实施例的流程图。
具体实施例方式參照在附图中例示并且在以下描述中详细说明的非限制实施例，对本公开及其各种特征和有利细节进行更全面的说明。省略了对公知起始物料、加工技术、元件以及设备的描述，以使得不会在细节上不必要地模糊本公开。然而，技术人员应当明白，该详细描述和具体示例在公开优选实施例吋，仅通过例示的方式而非限制的方式给出。本发明技术人员在阅读本公开之后，将明白处于基本发明构思范围内的各种代替、修改、添加或重新布置。在此描述的各种实施例涉及利用过滤器信息来确保泵的正确操作的泵送系统。根据ー个实施例，过滤器信息存储在可以通过合适的标签读取器读取的可电子读取标签中。该过滤器信息可以被分析以确定泵的正确操作。图I是用于将流体从流体罐15分发到晶片17上的半导体制造系统10的一部分的一个实施例的图解表示图。系统10还可以包括泵控制器20和泵25。泵控制器20可以是在泵25上、或者经由用于传送控制信号、数据或其它信息的ー个或多个通信链路连接至泵25。泵控制器20控制泵25以将流体分发到晶片17上。系统10还包括诸如截止/反吸阀27的外部阀，其可以防止分发喷嘴处的滴落。泵25包括可去除过滤器35，该可去除过滤器35具有包含过滤器信息45的可电子读取过滤器信息标签40。过滤器信息45可以包括有关过滤器35的任何信息，和可以存储在可电子读取标签中的其它信息。标签读取器50用于从过滤器信息标签40读取过滤器信息45并将该信息提供给泵控制器20、系统管理计算机或其它计算机。在一个实施例中，过滤器信息标签40可以是有源或无源RFID标签，并且标签读取器50可以是RFID标签读取器。在其它实施例中，过滤器信息标签40可以是条形码或其它可光学读取代码，并且标签读取器50可以是条形码扫描器或者是能够读取标签40的其它扫描器。
过滤器信息45的示例包括但不限于零件号、设计风格、隔膜类型、保留级别(retention rating)、过滤器的世代(generation of device)、过滤器隔膜的构造、批号、序列号、设备流量、隔膜厚度、隔膜起泡点、颗粒质量、过滤器制造商质量信息或其它信息。设计风格指为其设计过滤器的泵的类型、过滤器的容量/尺寸、过滤器中的隔膜材料的量、或有关过滤器的设计的其它信息。隔膜类型指隔膜的材料和/或厚度。保留级别指可以通过隔膜以特定效率去除的颗粒的尺寸。过滤器的世代指该过滤器是过滤器设计的第一代、第二代、第三代还是其它世代。过滤器隔膜的构造指过滤器是否打褶、打褶的类型或有关隔膜设计的其它信息。序列号提供单个过滤器的序列号。批号可以指定过滤器或隔膜的制造批次。设备流量指过滤器在仍产生良好的分发的同时可以处理的流率。设备流量可以在单个过滤器的制造期间确定。隔膜起泡点提供对过滤器可以处理并仍产生良好的分发的流率/压カ的另一度量。隔膜起泡点也可以在单个过滤器的制造期间确定。上面的示例通过说明的方式来提供，而不是对可以包含在过滤器信息45中的信息的限制。过滤器信息45可以包括传递各种信息的零件号。例如，示例零件号格式“Aabcdefg”中的每个字母都可以传递一条不同的信息。下表I提供了由零件号传递的信息的示例 表I :
权利要求
1.一种泵，该泵包括 一个或多个电动机，用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体； 用于可去除过滤器的连接部，用于使得该可去除过滤器可以设置在泵入口与泵出口之间的流体流动路径中； 电子标签读取器，被定位并配置成在将可去除过滤器连接至泵时从该可去除过滤器上的电子标签读取过滤器信息； 泵控制器，被配置成 从电子标签读取器接收过滤器信息； 向该过滤器信息应用一个或多个规则以确定泵的进一步操作。
2.根据权利要求I所述的泵，其中，该泵控制器被配置成向过滤器信息应用所述一个或多个规则以确定是否起动连接至泵的可去除过滤器。
3.根据权利要求I所述的泵，其中，该泵控制器被配置成应用所述一个或多个规则以确定连接至泵的可去除过滤器是否是合适的过滤器。
4.根据权利要求I所述的泵，其中，该电子标签读取器包括RFID读取器。
5.根据权利要求I所述的泵，其中，该过滤器信息包括零件号。
6.根据权利要求5所述的泵，其中，应用所述一个或多个规则还包括比较针对连接至泵的可去除过滤器的所接收的零件号与期望零件号，以确定是否起动连接至泵的该可去除过滤器。
7.根据权利要求I所述的泵，其中，应用所述一个或多个规则包括将所述一个或多个规则应用于连接至泵的可去除过滤器专有的信息，以确定是否起动连接至泵的该可去除过滤器。
8.一种泵，包括 一个或多个电动机，用于将流体汲取到泵的入口中并从泵的出口分发流体； 可去除过滤器，处于泵入口与泵出口之间的流体流动路径中，该可去除过滤器具有存储用于该可去除过滤器的过滤器信息的电子标签； 电子标签读取器，被定位并配置成从电子标签读取过滤器信息； 泵控制器，耦接至电子标签读取器，该泵控制器被配置成 从电子标签读取器接收过滤器信息； 向该过滤器信息应用一个或多个规则以确定泵的进一步操作。
9.根据权利要求8所述的泵，其中，该泵控制器被配置成向过滤器信息应用所述一个或多个规则以确定是否起动可去除过滤器。
10.根据权利要求8所述的泵，其中，该泵控制器被配置成应用所述一个或多个规则以确定可去除过滤器是否是合适的过滤器。
11.根据权利要求8所述的泵，其中，该电子标签读取器包括RFID读取器，并且该电子标签包括RFID标签。
12.根据权利要求8所述的泵，其中，该过滤器信息包括零件号。
13.根据权利要求12所述的泵，其中，应用所述一个或多个规则还包括比较针对可去除过滤器的所接收的零件号与期望零件号以确定是否起动该可去除过滤器。
14.根据权利要求8所述的泵，其中，该泵控制器被配置成向可去除过滤器专有的信息应用所述一个或多个规则以确定泵的进一步操作。
15.—种控制泵的操作的方法，该方法包括 将具有电子标签的过滤器连接到泵，该电子标签存储有过滤器信息； 利用电子标签读取器从该电子标签读取过滤器信息； 将该过滤器信息从电子标签读取器传送至耦接至该电子标签读取器的泵控制器； 向该过滤器信息应用一个或多个规则以确定泵的进一步操作。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述一个或多个规则由泵控制器来应用。
17.根据权利要求15所述的方法，其中，所述一个或多个规则由与泵控制器通信的系统来应用。
18.根据权利要求15所述的方法，其中，该标签是RFID标签，并且该电子标签读取器是RFID读取器。
19.根据权利要求15所述的方法，其中，向过滤器信息应用一个或多个规则的步骤还包括比较该过滤器信息中的零件号与期望零件号以确定该过滤器信息中的零件号是否匹配期望零件号。
全文摘要
本公开描述了总体上涉及过滤的系统和方法。更具体地说，本公开涉及利用过滤器信息来控制泵的操作。可去除过滤器可以包括存储过滤器信息的可电子读取标签。该过滤器信息可以通过标签读取器读取，并且向该过滤器信息应用规则以确定是否或怎样操作泵。
文档编号F04B53/22GK102770667SQ201180010852
公开日2012年11月7日 申请日期2011年2月18日 优先权日2010年2月26日
发明者P·J·玛古恩, R·A·拉米瑞, T·L·巴查尔德 申请人:恩特格里公司