一种涡旋干泵的制作方法

本发明属于干泵技术领域，具体地说是一种涡旋干泵。

背景技术：

随着半导体、led等行业迅速发展，涡旋干泵作为一种无油真空泵，其应用也越来越广泛。现有技术中，没有一种方法是稳定涡旋干泵定子与转子配合程度的，密封条磨损后定子与转子的配合变松，影响涡旋干泵的真空度。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明的目的在于发明一种涡旋干泵。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种涡旋干泵，包括定子、转子、固定盘、弹性调整机构及主轴，所述转子与主轴沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述转子与定子摩擦配合，所述固定盘套设于主轴上、并且位于转子的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘与转子之间，用于防止转子与定子之间的配合变松。

所述弹性调整机构包括多个弹簧，各弹簧的两端分别与固定盘与转子抵接。

所述转子的背面沿周向设有多个凸起，多个弹簧分别套设于多个凸起上、并且端部与固定盘抵接。

进一步地，所述固定盘与转子相对应的端面上沿周向设有环槽，该环槽与所述转子背面上的多个凸起相对应，套设于各凸起上的弹簧与所述环槽的底部抵接。

进一步地，所述转子背面上的各凸起上均套设有垫圈，所述固定盘端面上的环槽内设有垫片。

所述弹簧为对顶波簧。

本发明的优点与积极效果为：

本发明能够控制型线与底面的接触力在一段时间内相对稳定不变，延长泵的使用寿命。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明中固定盘与转子之间的弹性调整机构的结构示意图；

图3为图2中的i处放大图；

图4为本发明中转子的俯视图；

图5为本发明中固定盘的结构示意图。

其中：1为定子，2为转子，21为凸起，3为固定盘，31为环槽，4为垫片，5为垫圈，6为弹簧，7为端盖，8为主轴，9为电机。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1-3所示，本发明提供的一种涡旋干泵，包括定子1、转子2、固定盘3、弹性调整机构及主轴8，其中转子2与主轴8沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述主轴8通过轴承与端盖7相连，端盖7与定子1相对固定。所述定子1与转子2为两个涡旋盘，配合方式为摩擦接触，靠转子2与定子1的相对运动输送气体，达到抽气目的。所述固定盘3套设于主轴8上、并且位于转子2的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘3与转子2之间，用于调整转子2与定子1之间的配合程度，防止转子2与定子1之间的配合变松。

所述弹性调整机构包括多个弹簧6，所述转子2的背面沿周向设有多个凸起21，如图4所示，多个弹簧6分别套设于转子2背面的多个凸起21上、并且端部与固定盘3抵接。

进一步地，所述固定盘3与转子2相对应的端面上沿周向设有环槽31，如图5所示。该环槽31与所述转子2背面上的多个凸起21相对应，套设于各凸起21上的弹簧6与所述环槽31的底部抵接。

进一步地，所述转子2背面上的各凸起21上均套设有垫圈5，所述固定盘3端面上的环槽31内设有垫片4，所述弹簧6的一端通过垫圈5、垫片4及固定盘3限制位置。

本实施例中，所述弹簧6采用对顶波簧。所述转子2的背面沿周向设有六个凸起21，所述对顶波簧为六个，六个对顶波簧分别套设于六个凸起21上、并且与固定盘3上环槽31内的垫片4抵接。对顶波簧通过力的传递将力依次传递给一端的垫片4和垫圈5及另一端的转子2，控制定子1与转子2之间的配合程度，防止转子2与定子1之间的配合变松。

所述转子2与定子1相对运动时，产生摩擦磨损，影响型线与底面的接触，从而影响泵的抽气效率，本发明可以用对称的六个对顶波簧产生的力控制型线与底面的接触在一段时间内相对稳定不变，有效提高涡旋干泵的抽气效率，延长泵的使用寿命。

本发明公开的一种涡旋干泵，其特点在于涡旋干泵中的定子1与转子2配合程度的设计方式，转子2背面设计了对称的六个对顶波簧，其产成的压力控制转子2与定子1的接触程度，有效提高涡旋干泵的抽气效率，延长泵的使用寿命。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本发明的保护范围内。

技术特征：

技术总结
本发明属于干泵技术领域，具体地说是一种涡旋干泵。包括定子、转子、固定盘、弹性调整机构及主轴，所述转子与主轴沿周向固定，沿轴向具有自由度，所述转子与定子摩擦配合，所述固定盘套设于主轴上、并且位于转子的背面，所述弹性调整机构设置于固定盘与转子之间，用于防止转子与定子之间的配合变松。本发明通过对顶波簧产生的力控制型线与底面的接触在一段时间内相对稳定不变，有效提高涡旋干泵的抽气效率，延长泵的使用寿命。

技术研发人员：王光玉;刘在行;韩晶雪;雷震霖
受保护的技术使用者：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
技术研发日：2016.07.26
技术公布日：2018.02.02