技术特征：
技术总结
一种真空泵系统(4、5、6)，其包含多个彼此并联连接并且各自在入口侧连接到腔室(40、50、60)的真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)，其具有在真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的出口侧连接的出口管线(41)，以及将至少一个真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的入口侧连接到出口管线(41)的中间管线(42)，其特征在于在抽出期间所有真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)是并联连接的，并且在空闲期间真空泵(P41、P42、P43、P44、P45、P51、P52、P61、P62)的至少一个与其他的真空泵串联连接作为前级泵。
技术研发人员：托马斯·德赖费特;罗兰·穆勒;马克斯·佩利坎;德克·席勒;丹尼尔·施奈登巴赫;德克·施特拉特曼
受保护的技术使用者：莱宝有限公司
技术研发日：2016.06.20
技术公布日：2018.03.27