微型流体控制装置的制作方法

文档序号:14939176发布日期:2018-07-13 20:03阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种微型流体控制装置包含一压电致动器及一壳体,其中压电致动器包含:悬浮板、外框、支架及防溢结构;其中支架连接于悬浮板与外框之间,且悬浮板、外框及支架的第一表面共平面,而防溢结构构成于外框与支架的第二表面之间,以令该外框与该支架保持一高度差。借由本案的防溢结构可抑制胶层涂布于外框时溢出于外框。

技术研发人员:陈寿宏;陈世昌;廖家淯;韩永隆;黄启峰;张嘉豪
受保护的技术使用者:研能科技股份有限公司
技术研发日:2017.01.05
技术公布日:2018.07.13
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