技术特征：
技术总结
一种微型气压动力装置，包括：微型流体控制装置，包括依序堆叠设置：进气板；一共振片、压电致动器，集气板其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成第一腔室，压电致动器受驱动时，气体由该进气板进入，流经该共振片，以进入该第一腔室内再传输，微型阀门装置，包括一阀门片及一出口板依序堆叠组设于该集气板上，且该出口板面积小于该集气板面积，以密封胶体涂于密封该封胶空间及完全密封该阀门片周缘，而该阀门片于第一表面及该第二表面上设有粘贴区域，气体自该微型流体控制装置传输至该微型阀门装置内，俾进行集压或卸压作业。
技术研发人员：陈世昌;廖家淯;程政玮;韩永隆;黄启峰;蔡长谚
受保护的技术使用者：研能科技股份有限公司
技术研发日：2017.01.05
技术公布日：2018.07.13