一种干式真空泵的清洁装置的制作方法

本发明涉及一种干式真空泵，具体涉及一种干式真空泵的清洁装置。

背景技术

干式真空泵是一种能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵；由于泵腔内没有其他工作介质，减少工艺污染，并且具有一定的耐腐蚀性，因此，干式真空泵在半导体以及化工等行业中是经常用到的一种高端真空泵；而这种真空泵在我国目前主要以进口为主，价格昂贵，维修的成本高。

由于干式真空泵抽气的气体中会有粉尘以及其他颗粒，同时，干式真空泵工作时，会有大量的气体吹扫，并且干式真空泵内具有一定的温度，因此，如果真空泵停止工作，泵内的温度就会逐渐下降，导致泵内残留的粉尘以及其他颗粒凝结在真空泵螺杆上，停止时间过长就会妨碍螺杆转动，最终造成螺杆卡死；而为了不让螺杆卡死，常用的做法是保持真空泵一直运行，保证干式真空泵内的温度不下降，从而使得螺杆能够正常转动，但是这样会直接导致制氮、加热以及冷却等辅助设备也要不停地运行，造成其他设备的性能下降，寿命缩短；同时，管道、阀门及辅助设备保养时干式真空泵必须停机，而经过一段时间后，干式真空泵的螺杆同样会存在被卡死的可能。另一种常用的做法就是干式真空泵停止后手动摇动真空泵的螺杆，使得螺杆保持转动的状态，但此方法只能短时间内保证螺杆的转动，无法使得干式真空泵的螺杆一直连续转动，同样会出现螺杆卡死的现象，不仅影响到设备的寿命，也浪费人力、物力，提高企业生产成本，影响企业经济效益。由此可见，现有的方法都无法很好解决干式真空泵的螺杆卡死的问题。

技术实现要素：

本发明目的在于克服现有技术的不足，提供一种干式真空泵的清洁装置，该装置能够在干式真空泵停止抽气时将泵内的螺杆清洗干净，确保螺杆不被卡死，从而降低能耗和成本。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种干式真空泵的清洁装置，其特征在于，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及用于提供清洁气体的清洁气体供给装置；其中，所述主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；所述干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及连接在主排气管道上的副排气管道，所述主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，所述副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。

上述干式真空泵的清洁装置的工作原理是：

当干式真空泵停止作业后，先关闭第一开关阀和第三开关阀，然后打开第二开关阀以及第四开关阀，并通过干式真空泵的电机(或附加驱动机构或手动)驱动干式真空泵的螺杆转动，从而将清洁气体供给装置中的清洁气体抽进泵内；清洁气体进入泵内后，将泵内残余的杂质气体以及已经凝结的粉尘和颗粒等物质带走，最后经过干式真空泵的排气口后从副排气管道排出；经过一段时间的清洁气体对泵内进行清洁后，使得泵内残余的杂质全部带出泵外，泵内不会再有颗粒凝结，从而确保干式真空泵的螺杆就不会被卡死。通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。

优选地，所述清洁气体供给装置包括与副管道连接的气瓶以及设置在第二开关阀与气瓶之间的加热装置，所述加热装置设置在副管道的外壁上，所述气瓶内装有压缩的清洁气体，气瓶的出气口设有出气开关阀。在对泵内清洁时，清洁气体从气瓶出来后先经过加热装置的加热，再进入泵内，使得清洁气体进入泵内时能够保持泵内的温度，从而能够更加容易将已经凝结的颗粒带走，同时也避免未加热的清洁气体进入泵内后使得泵内温度快速下降，导致剩余的气体凝结成灰尘或颗粒，从而导致杂质增多。

优选地，所述第二开关阀与气瓶之间设有第一温度计。这样，工作人员就能够通过温度计了解到副管道内的清洁气体的温度，确保清洁气体能够以最佳的温度进入泵内，有利于提高清洁质量。

本发明的一个优选方案，沿着气体在副排气管道上的移动方向，所述第四开关阀的下游设有回收瓶，该回收瓶与副排气管道的连通；所述回收瓶的进气口设有进气开关阀，该进气开关阀由单向阀构成。这样，就能够将清洁后的污染气体回收到回收瓶中，便于进行后续的处理，以防污染空气。

优选地，所述第四开关阀与回收瓶之间设有冷却除杂装置，该冷却除杂装置包括降温组件以及除杂箱；其中，沿着气体在副排气管道的移动方向，所述降温组件设置在除杂箱的前面，且设置在副排气管道的外壁上；所述除杂箱的两端均与副排气管道连通。在对泵内进行清洁时，排出的污染气体仍存在余温，但经过降温组件的降温后，污染气体在副排气管道内的温度瞬间降低，随后通过除杂箱时冷却析出的灰尘以及颗粒等杂质沾附在除杂箱内，最后剩余的污染气体再排到回收瓶中；通过冷却除杂装置对污染气体进行冷却除杂，使得回收到回收瓶中的气体的杂质浓度降低，便于后续回收处理，同时，灰尘和颗粒都停留在除杂箱中，便于工作人员的清理。

优选地，所述除杂箱的横截面积比副排气管道的横截面积大，这样使得污染气体经过降温组件的冷却后马上进入到空间较大的除杂箱内，使得污染气体能够充分与除杂箱的内壁接触，便于杂质的析出。

优选地，所述除杂箱内设有多个隔板，隔板上设有疏通孔。冷却后的污染气体经过多个隔板后才能进入到回收瓶中，使得污染气体能够将杂质充分析出。

优选地，沿着气体在副排气管道的移动方向，所述除杂箱后设置第二温度计。工作人员能够通过温度计来判断除杂箱内的污染气体的温度，从而对降温组件进行调整，进而使得污染气体能够在最佳的温度下在除杂箱中析出更多杂质，便于对气体的回收。

优选地，所述回收瓶与第二温度计之间设有回收排气口，沿着气体的移动方向，所述回收排气口前设有第五开关阀。当排出无害气体时，可打开第五开关阀并关闭回收瓶的进气开关阀，使得排出的气体能够直接通过回收排气口排出。

本发明的一个优选方案，其中，干式真空泵的螺杆上连接有转动驱动机构。这样，在干式真空泵停止正常作业后，通过所述转动驱动机构来驱动螺杆的转动，实现清洁气体的泵入，从而无需使用干式真空泵自带的电机，进而能够避免了与干式真空泵相连的其他零部件一起工作，减少能耗且延长干式真空泵的使用寿命。

本发明与现有技术相比具有以下有益效果：

1、通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。

2、当干式真空泵停止正常作业后，可直接通过干式真空泵的电机抽取清洁气体，就能够实现对泵内进行清洁，操作方便，结构简单，且降低清洁成本。

附图说明

图1为本发明的干式真空泵的清洁装置的其中一种实施方式的结构示意简图。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本发明作进一步描述，但本发明的实施方式不仅限于此。

参见图1，本实施例的干式真空泵的清洁装置，包括与干式真空泵的进气口2连接的主管道3、与主管道3连接的分管道以及用于提供清洁气体的清洁气体供给装置；其中，所述主管道3上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀4；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀6；所述干式真空泵的排气口10处设有主排气管道11以及连接在主排气管道11上的副排气管道，所述主排气管道11上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀12，所述副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀13。

参见图1，所述清洁气体供给装置包括与副管道5连接的气瓶9以及设置在第二开关阀6与气瓶9之间的加热装置8，所述加热装置8设置在副管道5的外壁上，所述气瓶9内装有压缩的清洁气体，气瓶9的出气口设有出气开关阀。在对泵内清洁时，清洁气体从气瓶9出来后先经过加热装置8的加热，再进入泵内，使得清洁气体进入泵内时能够保持泵内的温度，从而能够更加容易将已经凝结的颗粒带走，同时也避免未加热的清洁气体进入泵内后使得泵内温度快速下降，导致剩余的气体凝结成灰尘或颗粒，从而导致杂质增多。

参见图1，所述第二开关阀6与气瓶9之间设有第一温度计7。这样，工作人员就能够通过温度计了解到副管道5内的清洁气体的温度，确保清洁气体能够以最佳的温度进入泵内，有利于提高清洁质量。

参见图1，沿着气体在副排气管道上的移动方向，所述第四开关阀13的下游设有回收瓶19，该回收瓶19与副排气管道的连通；所述回收瓶19的进气口设有进气开关阀，该进气开关阀由单向阀构成。这样，就能够将清洁后的污染气体回收到回收瓶19中，便于进行后续的处理，以防污染空气。所述回收瓶19上设有压力计，这样能够检测到回收瓶是否装满气体，从而便于工作人员更换回收瓶19

参见图1，所述第四开关阀13与回收瓶19之间设有冷却除杂装置，该冷却除杂装置包括降温组件18以及除杂箱14；其中，沿着气体在副排气管道的移动方向，所述降温组件18设置在除杂箱14的前面，且设置在副排气管道的外壁上；所述除杂箱14的两端均与副排气管道连通。在对泵内进行清洁时，排出的污染气体仍存在余温，但经过降温组件18的降温后，污染气体在副排气管道内的温度瞬间降低，随后通过除杂箱14时冷却析出的灰尘以及颗粒等杂质沾附在除杂箱14内，最后剩余的污染气体再排到回收瓶19中；通过冷却除杂装置对污染气体进行冷却除杂，使得回收到回收瓶19中的气体的杂质浓度降低，便于后续回收处理，同时，灰尘和颗粒都停留在除杂箱14中，便于工作人员的清理。

参见图1，所述除杂箱14的横截面积比副排气管道的横截面积大，这样使得污染气体经过降温组件18的冷却后马上进入到空间较大的除杂箱14内，使得污染气体能够充分与除杂箱14的内壁接触，便于杂质的析出。

参见图1，所述除杂箱14内设有多个隔板，隔板上设有疏通孔。冷却后的污染气体经过多个隔板后才能进入到回收瓶19中，使得污染气体能够将杂质充分析出。

参见图1，沿着气体在副排气管道的移动方向，所述除杂箱14后设置第二温度计15。工作人员能够通过温度计来判断除杂箱14内的污染气体的温度，从而对降温组件18进行调整，进而使得污染气体能够在最佳的温度下在除杂箱14中析出更多杂质，便于对气体的回收。

参见图1，所述回收瓶19与第二温度计15之间设有回收排气口17，沿着气体的移动方向，所述回收排气口17前设有第五开关阀16。当排出无害气体时，可打开第五开关阀16并关闭回收瓶19的进气开关阀，使得排出的气体能够直接通过回收排气口17排出。

参见图1，干式真空泵的螺杆上连接有转动驱动机构。这样，在干式真空泵停止正常作业后，通过所述转动驱动机构来驱动螺杆的转动，实现清洁气体的泵入，从而无需使用干式真空泵自带的电机1，进而能够避免了与干式真空泵相连的其他零部件一起工作，减少能耗且延长干式真空泵的使用寿命。

参见图1，本实施例的干式真空泵的清洁装置的工作原理是：

当干式真空泵停止作业后，先关闭第一开关阀4和第三开关阀12，然后打开第二开关阀6以及第四开关阀13，并通过干式真空泵的电机1(或附加驱动机构或手动)驱动干式真空泵的螺杆转动，从而将清洁气体供给装置中的清洁气体抽进泵内；清洁气体进入泵内后，将泵内残余的杂质气体以及已经凝结的粉尘和颗粒等物质带走，最后经过干式真空泵的排气口10后从副排气管道排出；经过一段时间的清洁气体对泵内进行清洁后，使得泵内残余的杂质全部带出泵外，泵内不会再有颗粒凝结，从而确保干式真空泵的螺杆就不会被卡死。通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。

上述为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。