流量控制器及具备该流量控制器的驱动装置的制作方法

本发明涉及一种气缸的流量控制器及具备该流量控制器的驱动装置。

背景技术：

以往，使用一种减振器，该减震器通过在气缸的端部安装由橡胶、聚氨酯等软质树脂构成的缓冲部件或油压缓冲器等从而缓和在行程末端的冲击。然而，机械性地缓和气缸的冲击的减振器具有取决于动作次数的寿命，因此需要定期维护，在每次维护时，不得不进行装置、设备的分解。

于是，提出了一种不对装置、设备进行分解而通过可仅追加空气配管的装置来实现减振机构的速度控制器(日本专利第5578502号公报)。该速度控制器在行程末端附近以减缓气缸的动作速度的方式进行控制，由此抑制冲击。

该速度控制器将三方分支的梭阀配置在高压空气供给源与气缸之间的流路上，将来自气缸的排气向与高压空气的导入用的流路不同的排气用流路引导。然后，经由设置在排气用流路上的切换阀、第一节流阀以及第二节流阀进行排放空气的排气。切换阀在行程末端附近动作，以使排气孔器通过减缓行程速度的第一节流阀的方式切换排放空气的流路，从而在排气工序中缓和气缸的冲击。

在上述的速度控制器中，在高压空气的流路与排放空气的流路的切换部分使用梭阀。梭阀在阀芯的下游侧将流路分为两路，因此流路的截面积被限制，无法充分地确保高压空气、排放空气的流量。因此，存在因速度控制器导致气缸的高速动作被妨碍的问题。

技术实现要素：

在此，本发明的一个实施方式的目的在于，提供一种具有缓和气缸的冲击的冲击缓和功能并且流量优异的流量控制器及具备该流量控制器的驱动装置。

本发明的一个观点在于，一种流量控制器，具备：主流路，该主流路使供给至气缸的高压空气和从所述气缸排放的排放空气通过；副流路，该副流路与所述主流路并列设置；排气流量调节部，该排气流量调节部设于所述副流路，对在所述副流路流动的所述排放空气的流量进行调节；切换阀，该切换阀连接在所述气缸、所述主流路以及所述副流路之间，并在使所述气缸与所述主流路连通的第一位置和使所述气缸与所述副流路连通的第二位置进行切换；以及先导空气调节部，该先导空气调节部对从所述第一位置到所述第二位置的切换之前的时间进行调节；所述切换阀由滑阀形成，该滑阀通过来自所述主流路的先导压而切换至所述第一位置，并且通过所述先导压的降低而复位至所述第二位置，所述先导空气调节部具备限制所述切换阀的先导空气的流出速度的节流阀。

另外，本发明的另一个观点在于，一种动力装置，具备：高压空气供给源，该高压空气供给源向气缸供给高压空气；排气口，该排气口对从所述气缸排放的排放空气进行排气；主流路，该主流路与所述气缸连接，并使所述高压空气和所述排放空气流通；副流路，该副流路与所述主流路并列设置，且与排气口连通；动作切换阀，该动作切换阀连接在所述高压空气供给源、所述排气口以及所述主流路之间，并进行切换使所述高压空气供给源或所述排气口与所述主流路连通；以及流量控制器，该流量控制器具有气流量调节部、切换阀以及先导空气调节部，所述排气流量调节部对在所述副流路流动的所述排放空气的流量进行调节，所述切换阀连接在所述气缸、所述主流路以及所述副流路之间，并在使所述气缸与所述主流路连通的第一位置和使所述气缸与所述副流路连通的第二位置之间进行切换，所述先导空气调节部对从所述第一位置到所述第二位置的切换之前的时间进行调节，所述切换阀由滑阀形成，该滑阀通过来自所述主流路的先导压而切换至所述第一位置，并且通过所述先导压的降低而复位至所述第二位置，所述先导空气调节部具有限制所述切换阀的先导空气的流出速度的节流阀。

根据上述观点的流量控制器及驱动装置，用于供给高压空气的主流路也用作排放空气的流路，不需要梭阀。而且，气缸的动作速度的调节由容易确保流路截面的滑阀来进行。由此，能够实现具有缓和气缸的冲击的冲击缓和功能并且流量优异的流量控制器及具备该流量控制器的驱动装置。

附图说明

图1是第一实施方式的流量控制器及驱动装置的流体回路图。

图2a是图1的流量控制器的壳体的立体图，图2b是表示从气缸端口侧观察图2a的壳体时的立体图。

图3a是图2a的壳体的切换阀在第一位置的剖视图，图3b是图2a的壳体的切换阀在第二位置的剖视图。

图4是将动作速度调节部、排气流量调节部及气缸配管连接用的接头安装于图2a的壳体状态的立体图。

图5是表示在气缸的工作工序中的图1的流量控制器和驱动装置的连接状态的流体回路图。

图6是表示在气缸的拉入工序中的图1的流量控制器和驱动装置的连接状态的流体回路图。

图7是表示在气缸的拉入工序中的在行程末端附近的图1的流量控制器和驱动装置的连接状态的流体回路图。

图8是第二实施方式的流量控制器和驱动装置的流体回路图。

图9a和图9b是图8的切换阀的壳体的剖视图。

图10是第三实施方式的流量控制器和驱动装置的流体回路图。

图11a是第三实施方式的切换阀的壳体的第一端口侧的立体图，图11b是图11a的壳体的气缸端口侧的立体图。

图12a是图11a的壳体的俯视图，图12b是图11a的壳体的针附近的剖视图。另外，图12b的剖面与图12a的xiib-xiib位置对应。

图13a是在图11a的切换阀的第一位置的剖视图，图13b是在图11a的切换阀的第二位置的剖视图。

图14是第三实施方式的流量控制器的立体图。

具体实施方式

以下，列举出本发明的合适的实施方式，参照附图进行详细说明。

(第一实施方式)

如图1所示，本实施方式的驱动装置10用于气缸12的驱动，具备头侧的流量控制器14、末端侧的流量控制器14a、动作切换阀16、高压空气供给源18以及排气口20。

气缸12是使用在自动设备产线等的复动型气缸，具备分隔缸室的活塞22以及与活塞22连结的活塞杆23。在活塞22的头侧的头侧压力室24设有头侧端口26。另外，在活塞22的末端侧的末端侧压力室28设有末端侧端口30。头侧端口26与第一流路32连接，并且末端侧端口30与第二流路32a连接，头侧端口26和末端侧端口30分别经由第一流路32和第二流路32a进行高压空气的向气缸12导入和从气缸12排气。在第一流路32设置有头侧的流量控制器14。另外，在第二流路32a设置有末端侧的流量控制器14a。

流量控制器14包括：与第一流路32连接的主流路34；以及与主流路34并列设置的副流路36。在主流路34与副流路36间安装有与头侧端口26连接的头侧的切换阀38。头侧的切换阀38是所谓的三通阀，并具有与头侧端口26连接的气缸端口38a。头侧的切换阀38还具备阀端口38b、排气端口38c以及先导端口38d。阀端口38b经由主流路34与头侧的动作速度调节部40连接，排气端口38c经由副流路36与头侧的排气流量调节部42连接。在先导端口38d设置有先导空气调节部44。

如图2a所示，切换阀38与先导空气调节部44一起内置于箱型的壳体46。在壳体46的一方的侧面46a设置有阀端口38b、排气端口38c以及先导端口38d。另外，如图2b所示，在与一方的侧面46a相对的另一方的侧面46b设置有气缸端口38a。另外，在与壳体46的一方的侧面46a和另一方的侧面46b垂直的侧面46c，形成有用于收容切换阀38的贯通孔48。在该贯通孔48的两端部安装有封闭贯通孔48的端盖50。另外，先导空气调节部44的调节螺丝在壳体46的上表面46d露出。

切换阀38构成为滑阀，如图3a所示，切换阀38具备滑柱52，该滑柱52设置于壳体46的贯通孔48。滑柱52收容于贯通孔48的滑柱引导部48a，并沿着滑柱引导部48a滑动。在滑柱引导部48a形成有：与阀端口38b连通的第一连通槽56a；与排气端口38c连通的第二连通槽56b；以及形成在第一连通槽56a与第二连通槽56b之间，并与气缸端口38a连通的第三连通槽56c。

在滑柱52形成有：第一密封壁58a，在第一位置时该第一密封壁58a阻止第二连通槽56b与第三连通槽56c的连通；第二密封壁58b，在第二位置时该第二密封壁58b阻止第一连通槽56a与第三连通槽56c的连通；以及凹部58c，该凹部58c通过在径向上缩径而形成。凹部58c形成在第一密封壁58a与第二密封壁58b之间，构成为在第一位置时使第一连通槽56a与第三连通槽56c连通。

另外，如图3b所示，凹部58c构成为在第二位置时使第二连通槽56b与第三连通槽56c连通。即，如图3a所示，在第一位置时，阀端口38b与气缸端口38a连通，如图3b所示，在第二位置时，排气端口38c与气缸端口38a连通。另外，优选的是，当切换阀38位于第一位置时，通过滑柱52的凹部58c以及滑柱引导部48a的第三连通槽56c形成的流路的截面积形成为等于或大于速度控制器(例如、动作速度调节部40)的流路截面积，从而构成为不妨碍高压空气和排放空气的流通。

在滑柱52的轴向的一方的端部(图的右侧)设有复位弹簧59(施力部件)。复位弹簧59例如是螺旋弹簧，对滑柱52向图的左侧施力。

在滑柱52的另一方的端部侧(图的左侧)设有驱动活塞60，该驱动活塞60通过从先导端口38d导入的先导空气的压力对滑柱52向图的右侧施力而使滑柱52向第一位置位移。驱动活塞60形成为直径大于滑柱52的直径，且收容于活塞收容部48b。驱动活塞60将活塞收容部48b气密地分隔为滑柱52侧的空室和端盖50侧的空室。从先导端口38d延伸的流路62在活塞收容部48b的端盖50附近开口。在流路62的中途设有先导空气调节部44。

如图1所示，先导空气调节部44具备节流阀44a和与该节流阀44a并列设置的止回阀44b。高压空气作为先导压经由从第一流路32分支的流路被供给至头侧的切换阀38的先导端口38d。而且，通过先导压驱动驱动活塞60，将滑柱52的位置从图3b所示的第二位置切换到图3a所示的第一位置。另外，在从高压空气供给源18被供给至先导空气调节部44的空气压不充分的情况下，构成切换阀38的滑柱52利用复位弹簧59的回弹力从第一位置(图3a)切换到第二位置(图3b)。

如图4所示，切换阀38的气缸端口38a与接头64连结，该接头64连接与气缸12连通的配管(第一流路32)。阀端口38b与头侧的动作速度调节部40连接，排气端口38c与头侧的排气流量调节部42连接，从而构成头侧的流量控制器14。先导端口38d与接头66连接。

如图1所示，头侧的动作速度调节部40具备：安装于主流路34的节流阀40a，该节流阀40a可变地调节高压空气的流量；以及止回阀40b，该止回阀40b与该节流阀40a并列设置。节流阀40a和止回阀40b的下游侧与动作切换阀16的后述的第一端口16a连接。即，动作速度调节部40构成使排放空气从气缸12朝向排气口20的方向快速地通过但限制与其逆向的高压空气的通过入口节流的速度控制器。

排气流量调节部42具备：节流阀42a，该节流阀42a能够在活塞22的拉入动作时可变地调节从气缸12的头侧端口26排放的空气的流量；以及止回阀42b，该止回阀42b与该节流阀42a并列设置。节流阀42a和止回阀42b的下游侧与排气口20连接。

相对于如上所述地构成的头侧的流量控制器14，安装在气缸12的末端侧端口30与动作切换阀16之间的末端侧的流量控制器14a构成为与头侧的流量控制器14实质相同，因此，对与头侧的流量控制器14的构成要素相同的构成要素标注相同的参考符号，并省略其详细说明。但是，在末端侧的流量控制器14a中，对于头侧的流量控制器14的第一流路32、主流路34、切换阀38、动作速度调节部40、排气流量调节部42以及先导空气调节部44，在参考符号的末尾加上符号a以区别显示。

接着，对分别经由第一流路32和第二流路32a与头侧的流量控制器14和末端侧的流量控制器14a连接的动作切换阀16进行说明。动作切换阀16是电气性地切换高压空气的流路的五通阀，并具备第一端口16a～第五端口16e。第一端口16a与第一流路32(主流路34)连接，第二端口16b与第二流路32a(主流路34a)连接。第三端口16c和第五端口16e与排气口20连接，第四端口16d与高压空气供给源18连接。

接着，对第一实施方式的驱动装置10的作用效果进行说明。

如图1所示，在动作切换阀16位于第一位置的情况下，进行将气缸12的活塞杆23送出的工作工序。头侧端口26经由第一流路32与高压空气供给源18连接，高压空气经由流量控制器14被供给至头侧端口26。头侧的切换阀38从第一流路32分支，在经由先导空气调节部44供给的先导空气的作用下向第一位置位移。由此，头侧的主流路34(第一流路32)与头侧端口26连通，向头侧压力室24供给高压空气。向头侧压力室24供给的高压空气的流量被头侧的动作速度调节部40的节流阀40a限制。因此，活塞杆23被以由动作速度调节部40调节了的规定的动作速度送出。

另一方面，末端侧的第二流路32a经由动作切换阀16与排气口20连通。在工作工序的初期，充分地余留着末端侧的切换阀38a的先导空气。因此，如图3a所示，滑柱52由于驱动活塞60的施力而位于第一位置。而且，如图1所示，末端侧端口30与主流路34a连通。排放空气从末端侧压力室28经由动作速度调节部40a的止回阀40b被快速地排出。

切换阀38a的先导空气经由先导空气调节部44a的节流阀44a向排气口20缓缓地流出。先导空气的流出速度通过节流阀44a的开度来调节。当从工作工序开始经过规定时间，气缸12的活塞22靠近行程末端时，末端侧的切换阀38a的先导压降低，如图3b所示，在复位弹簧59的作用下，滑柱52向第二位置移动。而且，如图5所示，末端侧的切换阀38a的气缸端口38a与排气端口38c相连。末端侧压力室28经由末端侧端口30及切换阀38a与末端侧的副流路36a连通。而且，末端侧端口30的排气空一边受到末端侧的排气流量调节部42a的节流阀42a的流量调节，一边从排气口20排气。

末端侧的排气流量调节部42a的节流阀42a的流量被设定为比头侧的动作速度调节部40的节流阀40a的流量小，因此气缸12的动作速度减速。其结果是，末端侧的排气流量调节部42a如气垫那样地起作用，缓和在气缸12的行程末端的冲击。

之后，如图6所示，动作切换阀16切换到第二位置，进行气缸12的拉入工序。在拉入工序中，末端侧的流量控制器14a的第二流路32a与高压空气供给源18连通，头侧的流量控制器14的第一流路32与排气口20连通。在拉入工序中，与工作工序相反，经由头侧的流量控制器14进行排放空气的排气。

此时，在行程末端附近，头侧的流量控制器14与参照图5说明的末端侧的流量控制器14a的动作同样地进行动作。即，如图7所示，在拉入工序的终端附近，流量控制器14使头侧压力室24与副流路36连通，并用节流阀42a来限制头侧压力室24的排放空气的流量。由此，头侧的流量控制器14在气缸12的拉入工序中起到缓和冲击的作用。

以上说明的本实施方式的流量控制器14、14a以及驱动装置10具有以下的效果。

在流量控制器14、14a中，切换阀38、38a具有：壳体46，该壳体46具有经由主流路34、34a与动作切换阀16连接的阀端口38b、经由副流路36、36a与排气口20连接的排气端口38c、与气缸12连接的气缸端口38a以及供切换阀38、38a的先导空气导入的先导端口38d；滑柱引导部48a，该滑柱引导部48a具有与阀端口38b连通的第一连通槽56a、与排气端口38c连通的第二连通槽56b以及形成在第一连通槽56a与第二连通槽56b之间且与气缸端口38a连通的第三连通槽56c；滑柱52，该滑柱52可沿轴向滑动地配设于滑柱引导部48a，并且形成有：在第一位置时阻止第二连通槽56b与第三连通槽56c的连通的第一密封壁58a、在第二位置时阻止第一连通槽56a与第三连通槽56c的连通的第二密封壁58b、以及形成在第一密封壁58a与第二密封壁58b之间并且使第一连通槽56a或第二连通槽56b与第三连通槽56c连通的凹部58c；驱动活塞60，该驱动活塞60与先导端口38d连通，在规定的先导压的作用下对滑柱52沿轴向施力，由此使滑柱52向第一位置位移；以及复位弹簧59(施力部件)，该复位弹簧59对滑柱52向与驱动活塞60相反的方向施力，使滑柱52复位到第二位置。

根据上述那样构成的流量控制器14、14a，能够通过在行程的终端附近切换切换阀38、38a，从而在气缸12的行程末端缓和冲击。另外，由于容易确保切换阀38、38a的流量，因此容易应对气缸12的高速动作。

在流量控制器14、14a的第一位置时，也可以使通过滑柱52的凹部58c与滑柱引导部48a的第一连通槽56a形成的流路的截面积等于或大于速度控制器的流路截面积。由此，流量控制器14、14a的流量变大，因此容易应对气缸12的高速动作。

在流量控制器14、14a中，也可以在壳体46的内部的先导端口38d与驱动活塞60之间的流路62的途中设置有先导空气调节部44、44a。通过将先导空气调节部44、44a内置于壳体46，能够减少外装零件，能够使装置结构简单化。

在流量控制器14、14a中，也可以是，在将阀端口38b与动作切换阀16相连的主流路34、34a上还具有动作速度调节部40、40a，该动作速度调节部40、40a通过调节在主流路34、34a流动的空气的高压流量来调节气缸12的动作速度。由此，能够调节气缸12的通常的行程时的动作速度，因而是合适的。

在流量控制器14、14a中，动作速度调节部40、40a也可以具备节流阀40a和止回阀40b，该止回阀40b与节流阀40a并列设置，并且以使来自气缸12的排放空气通过的朝向连接。由此，能够使气缸12的排放空气快速地从排气口20排气。

(第二实施方式)

如图8所示，本实施方式的驱动装置10a具备以排放空气的流量来控制气缸12的通常的行程时的动作速度的出口节流的流量控制器70、70a。另外，在驱动装置10a以及流量控制器70、70a中，对与第一实施方式的驱动装置10以及流量控制器14、14a相同的结构标注相同的符号，并省略详细说明。

在驱动装置10a中，头侧的流量控制器70与气缸12的头侧端口26连接，末端侧的流量控制器70a与气缸12的末端侧端口30连接。

头侧的流量控制器70的基本结构与图1所示的流量控制器14相同，但动作速度调节部72与动作速度调节部40反向连接。即，动作速度调节部72的上游侧与动作切换阀16连接，下游侧与切换阀38的阀端口38b连接。

另外，本实施方式的流量控制器70通过以出口节流的动作，而成为压力经由气缸端口38a作用于切换阀38的滑柱52的状态。因此，如图9a及图9b所示，为了使滑柱52能够可靠地动作，设置有复位辅助流路74，该复位辅助流路74将气缸端口38a的背压引导至配置有复位弹簧59的复位弹簧收容室59a(施力部件收容室)。

另外，末端侧的流量控制器70a是与头侧的流量控制器70相同的结构，对于共通的结构标注相同的符号并省略其详细说明。另外，对末端侧的流量控制器70a的一部分的结构在符号的末尾标注符号a而表示。

以下，对本实施方式的驱动装置10a和流量控制器70、70a的动作以及作用进行说明。

如图8所示，在将活塞22和活塞杆23推出的工作工序中，在气缸12中，高压空气经由头侧的流量控制器70导入头侧压力室24。此时，来自高压空气供给源18的高压空气的流量不会被头侧的动作速度调节部72的节流阀72a限制，而通过止回阀72b流入。另一方面，末端侧压力室28的排放空气经由末端侧的动作速度调节部72a从排气口20排气。此时，排放空气的流量(流速)被末端侧的动作速度调节部72a的节流阀72a限制。其结果是，活塞22在工作工序时的动作速度被控制在规定的值。这样，在工作工序中，活塞22的动作速度被末端侧的动作速度调节部72a的节流阀72a限制。

另外，如图9a所示，在工作工序中，在末端侧的流量控制器70a中，背压作用于连通气缸端口38a与阀端口38b的路径。当该背压作用时，仅靠复位弹簧59的施力可能无法可靠地进行使滑柱52复位的动作。因此，在本实施方式中，经由壳体46a内的复位辅助流路74，将气缸端口38a的背压导入复位弹簧收容室59a。由此，能够将背压利用于滑柱52向第二位置(图9b)的复位。

在末端侧的流量控制器70a中，在对驱动活塞60施力的先导压降低时，如图9b所示，滑柱52在复位弹簧59和复位弹簧收容室59a的背压的作用下向第二位置移动，末端侧端口30与末端侧的排气流量调节部42a(参照图8)连通。其结果是，排放空气的流量被末端侧的排气流量调节部42a的节流阀42a(参照图8)节流，气缸12的行程速度被限制。这样，即使在以出口节流对气缸12的动作速度进行控制的情况下，也能够在行程末端附近使气缸12的速度降低而缓和冲击。

另外，在气缸12的拉入工序中，与头侧端口26连接的头侧的流量控制器70的动作和末端侧的流量控制器70a的动作只是与工作工序时的动作交换。在拉入工序中，在行程末端附近的气缸12的动作速度被头侧的流量控制器70限制。

本实施方式的驱动装置10a以及流量控制器70、70a具有以下的效果。

在本实施方式的流量控制器70、70a中，动作速度调节部72、72a具备：与主流路34、34a连接的节流阀72a；与节流阀72a并列设置，并且以阻止从气缸12排放的排放空气且使朝向气缸12的高压空气通过的方向连接的止回阀72b。由此，能够以出口节流来控制气缸12的动作速度。

另外，在上述的流量控制器70、70a中，在收容切换阀38、38a的壳体46a中，设有复位辅助流路74，该复位辅助流路74使收容复位弹簧59的复位弹簧收容室59a与气缸端口38a连通。由此，能够通过出口节流使作用于滑柱52的背压也作用于复位弹簧收容室59a侧。其结果是，能够可靠地进行复位弹簧59对滑柱52的复位动作，可靠地对行程末端处的气缸12的动作速度进行抑制。

(第三实施方式)

如图10所示，本实施方式的驱动装置10b具备：与气缸12的头侧端口26连接的头侧的流量控制器82；以及与末端侧端口30连接的末端侧的流量控制器82a。为了减少与收容切换阀38、38a的壳体46b(参照图12b)连接的配管，本实施方式的流量控制器82、82a设置排气口88来代替排气端口38c。另外，对于与参照图1～图7进行说明的流量控制器14、14a相同的结构标注相同的符号并省略详细说明。

头侧的流量控制器82具备：代替排气端口38c而设置的头侧的排气流路86；以及与排气流路86连通的头侧的排气口88。在排气流路86的中途设置有排气流量调节部84。排气流量调节部84例如由针阀形成，通过增减流路截面积从而限制经由排气流路86排放的排放空气的流量。

如图11a及图11b所示，切换阀38收容在壳体46b内。如图11a所示，壳体46b形成为长方体状的箱形，先导空气调节部44和排气流量调节部84的调节螺丝在壳体46b的上表面46d露出。先导空气调节部44和排气流量调节部84能够从上表面侧通过螺丝刀、扳手等工具来调节它们的流量。

如图12b所示，排气流量调节部84由针阀形成，该针阀形成于沿厚度方向(与上表面46d垂直的方向)贯通壳体46b的孔部84b。通过在针部84a的侧部形成的螺纹机构针部84a前进或后退，从而使流路截面积变化。排气流量调节部84的上游侧经由形成于壳体46b内部的排气流路86与切换阀38(滑阀)连通。在孔部84b的下端部设有排气口88，并构成为使通过了针部84a的排放空气从排气口88排出。即，排气流量调节部84的下游侧与排气口88连通。也可以在排气口88设置由多孔材质等构成的消音部件88a。

如图12a所示，气缸端口38a和阀端口38b形成在壳体46b的相对的侧面。另外，在壳体46b未形成排气端口38c。

如图13a所示，使排气流量调节部84与切换阀38连通的排气流路86的一端与滑柱引导部48a的第二连通槽56b连通，在第二连通槽56b形成有排气流路86的开口部86a。

另外，为了使在以出口节流来使用的情况下的动作可靠地进行，在壳体46b形成有与第二实施方式的壳体46a同样的复位辅助流路74。

如图14所示，本实施方式的流量控制器82由接头64、动作速度调节部72以及接头66与壳体46b连接而构成。即，用于与连通于气缸12的配管连接的接头64与气缸端口38a连接。另外，动作速度调节部72与阀端口38b连接。更进一步地，接头66与先导端口38d连接。

另一方面，如图10所示，末端侧的流量控制器82a是与头侧的流量控制器82相同的结构。在流量控制器82a中，对与头侧的流量控制器82相同的结构标注相同的符号并省略其详细说明。但是，对末端侧的流量控制器82a的一部分的结构，在各符号的末尾加上符号a以区别表示。

流量控制器82、82a如上所述地构成，以下对其作用进行说明。

如图13a所示，本实施方式的壳体46b在到行程的中途为止，在对驱动活塞60的先导压的作用下，滑柱52位于第一位置，并保持气缸端口38a与阀端口38b连通的状态。

驱动活塞60的先导压由于通过末端侧的先导空气调节部44a而降低，因此，气缸12在接近行程末端的时刻，在复位弹簧59(施力部件)的作用下，滑柱52移动至第二位置。如图13b所示，当滑柱52移动至第二位置时，气缸端口38a与末端侧的排气流路86a(参照图10)连通。而且，来自气缸12的排放空气一边被末端侧的排气流量调节部84a的针部84a限制流量，一边缓缓地从排气口88排气。其结果是，气缸12的动作速度被抑制。

本实施方式的流量控制器82、82a以及驱动装置10b具有以下的效果。

收容流量控制器82、82a的切换阀38、38a的壳体46b具有与第二连通槽56b连通的排气流量调节部84、84a以及排气口88、88a。由此，不需要与外部的排气口20连通的配管，能够使装置结构简单化。

以上，列举适当的实施方式对本发明进行了说明，但本发明不限定于所述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，当然能够进行各种改变。