具有形状记忆合金的运输设备的制作方法

本发明涉及一种用于运输设备的密封结构，所述密封设备包括具有形状记忆合金的执行器。

背景技术：

形状记忆合金(英语为shapememoryalloy)能够以不同的晶体结构存在，其中材料的形状与晶体结构相关，合金以所述晶体结构存在。

特殊的形状记忆合金是磁性形状记忆合金(英语为magneticshapememoryalloy，msma)，其形状可以通过施加磁场改变。在此，磁性形状记忆合金中的双晶界可通过磁场移动，由此出现材料的磁感生的重取向。通过垂直的磁场，材料能够伸长，并且通过平行的磁场，材料能够收缩。

由具有双晶界的材料构成的执行器的磁场感生的形状变化的基本原理在us6,515,382b1中公开。

将磁性形状记忆合金用作为泵中的执行器从us2016/0211065a1中已知。其中描述由msma构成的执行器，所述执行器设置在具有入口和出口的壳体中。在执行器下方设置有多个线圈，通过所述线圈可以产生磁场。通过产生磁场可以改变msma的形状，使得形成腔，所述腔与入口连通地连接。流体流动到腔中，并且由于磁场的移动，由流体填充的腔移动。如果填充的腔与出口连通地连接，那么腔中的流体从出口流出。

这种运输设备的最大可输送的体积流除了腔在入口和出口之间的移动的速度之外还与腔的最大体积相关，其中腔的体积不能够任意地增大。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种具有密封结构的运输设备，通过所述运输设备能够输送或运输增大的流体体积流。另一目的在于，提供一种具有密封结构的运输设备，通过所述密封结构能够实现改进压力形成。另一目的在于，提供一种具有密封结构的运输设备，通过所述密封结构减少在运输流体期间的泄漏。又一目的在于，提供一种运输设备，所述运输设备能够更工艺安全地且同时低成本地生产。通过运输设备应可输送或运输多种流体，也包括敏感流体。应可改进地监控运输设备的运行或者可改进地调节运行。

所述目的通过根据权利要求1所述的运输设备或通过根据权利要求34所述的方法来实现。

用于运输流体的运输设备包括壳体、执行器、驱动器和密封元件。壳体包括流体入口和流体出口。执行器包括磁性形状记忆合金(msma)，所述执行器至少部段地设置在壳体中。驱动器能够使执行器变形成，使得在执行器中形成用于流体的两个腔，所述腔能够通过驱动器移动，以便将腔中的流体从流体入口运输至流体出口。密封元件具有至少一个凹部。密封元件在壳体中设置成，使得当在腔中的流体从流体入口运输至流体出口时，腔至少暂时地流体连通。腔的流体连通经由至少一个凹部进行。

特别地，运输设备能够是流体机械设备。流体机械设备能够运输或输送不可压缩的和可压缩的介质。不可压缩的介质理解成如下介质，所述介质几乎不可压缩或者基本上是不可压缩的。不可压缩的介质的可压缩性至少比气体小多倍。

运输设备能够是用于运输液体的泵设备。特别地，运输设备是微泵设备。微泵设备能够具有每分钟最大10ml、尤其每分钟最大1ml的最大输送功率。

磁性形状记忆合金能够是镍-锰-镓合金。

执行器(泵执行器)优选由磁性形状记忆合金构成。

执行器能够是泵执行器。

执行器可以完全地设置在壳体中，使得该执行器完全地由壳体包围，或者当壳体的一侧或多侧敞开时，执行器能够不超出壳体的这一侧或多侧。

执行器能够具有两个端面、两个侧面和两个腔面。在两个腔面中的每个腔面中能够构成至少一个腔。

腔能够是(封闭的)空腔或凹部(缩窄部或下陷部)，其具有一个或多个开口。

执行器能够基本上方形地构成。

腔面与侧面或端面相比具有明显更大的面积，优选地，腔面的面积比侧面或端面的面积大数倍。通过在执行器中形成腔，执行器的膨胀特别地朝向端面的方向进行(体积稳定性)。

通过驱动器可产生均匀取向的磁性行波场。对此，驱动器尤其包括电磁线圈和/或永磁体。特别地，通过驱动器，多个磁性行波场能够同时在同一腔面上产生和移动。

典型地，在执行器中在执行器的相对置的侧上形成两个腔。在密封元件中的凹部的区域中，形成的腔是流体连通的。如果彼此流体连通地连接的腔又与流体入口流体连通地连接，那么流体能够通过流体入口流入到两个腔中。通过驱动器的磁场的移动，腔能够朝向流体出口的方向移动。如果腔达到流体出口，使得腔中的一个腔与流体出口流体连通地连接并且腔彼此流体连通地连接，那么运输的流体能够从两个腔中经由流体出口从运输设备中流出。由此能够在流体入口和流体出口之间运输离散的流体体积(蠕动泵)。

此外，具有不同体积的腔能够通过改变驱动器的磁场强度形成，其中腔的最大可达到的体积是受限的。能够通过运输设备运输的最大流体体积流除了腔的体积之外还与腔的运输速度相关。通过利用两个腔，其中各一个腔在执行器的腔面中形成，在腔的运输速度恒定时，体积流能够加倍(双倍)。

通常在执行器的腔面中形成为下陷部或缩窄部，其从执行器的一个侧面延伸至另一侧面并且能够在执行器的端面之间移动。一个腔或多个腔的移动通过驱动器的磁场的移动引起。

执行器能够变形成，使得腔在执行器的相对置的侧上形成。

密封元件能够包括至少两个凹部。尤其地，两个凹部可以在密封元件中构成为，使得当将流体从流体入口运输至流体出口时，在凹部之间流体连通是不可能的。

尤其地，两个凹部中的一个凹部能够在流体入口的区域中构成，而两个凹部中的另一凹部能够在流体出口的区域中构成。

特别地，在流体入口或扩散器和凹部之一之间的间距能够小于100mm，尤其小于50mm，特别小于20mm，和/或在流体出口或扩散器和凹部之一之间的间距能够小于100mm，尤其小于50mm，特别小于20mm。

密封元件能够包括四个凹部，特别地，凹部中的两个能够构成为，使得在将流体从流体入口运输至流体出口期间，两个凹部至少暂时地流体连通地连接(一个腔或两个腔)。凹部中的另外两个凹部同样能够构成为，在将流体从流体入口运输至流体出口期间至少暂时流体连通地连接。这同样为一个腔或两个腔。

密封元件能够至少部段地接触执行器的不同侧的至少两个面。特别地，密封元件能够至少部段地接触执行器的侧面。

壳体能够具有上侧，其中上侧基本上平行于执行器的如下侧，在所述侧中应形成腔中的一个腔的大部分(至少50％)。流体入口和/或流体出口能够从壳体的上侧起延伸。流体入口和/或流体出口也能够从壳体的侧向相对于壳体的上侧的一侧起延伸。

壳体能够包括第一壳体部段、第二壳体部段和第三壳体部段。三个壳体部段不材料配合地彼此连接，即是三个不同的元件，这三个元件不一件式地彼此连接。第二壳体部段能够位于第一壳体部段和第三壳体部段之间。第二壳体部段能够在一个平面中围绕或环绕密封元件和/或执行器。

特别地，三个壳体部段中的每个壳体部段能够至少部段地接触密封元件。

运输设备能够包括第一密封轨和第二密封轨。第一密封轨能够接触执行器的一侧，并且第二密封轨能够接触执行器的另一侧。

优选地，第一密封轨和第二密封轨接触执行器的相对置的侧。

运输设备能够包括第一密封轨和第二密封轨。壳体能够包括第一壳体部段、第二壳体部段和第三壳体部段。在此，三个壳体部段(如上所述)不材料配合地彼此连接。第一密封轨能够设置在第一壳体部段和第二壳体部段之间。第二密封轨能够设置在第二壳体部段和第三壳体部段之间。尤其地，第二壳体部段设置在第一壳体部段和第三壳体部段之间。

密封元件能够接触执行器的不同侧的至少四个面。特别地，执行器材料配合地与密封元件连接。尤其地，执行器的侧部为执行器的两个侧面和两个端面。密封元件能够在一个平面中围绕或环绕执行器。

腔中的一个腔能够通过执行器、密封元件和壳体限界。

特别地，腔中的一个腔仅通过执行器、密封元件和壳体限界。

密封元件也能够接触执行器的不同侧的至少五个面。执行器能够与密封元件形状配合地连接。优选地，在两个彼此垂直的方向上存在执行器和密封元件之间的形状配合。

密封元件能够在一个平面中围绕或环绕执行器，其中能够至少部段地接触执行器的不同侧的至少五个面。

密封元件能够在壳体中至少部段以压缩状态设置。因此，在密封元件的尺寸和壳体中的配合结构的尺寸之间存在沿至少一个方向的差，密封元件应引入到所述配合结构中。密封元件能够相对于壳体的配合结构沿一个方向具有超尺寸，密封元件应引入到所述配合结构中。

执行器能够相对于密封元件中的配合结构具有超尺寸，执行器应引入到所述配合结构中。这也引起密封元件的压缩。

执行器的腔中的一个腔能够通过执行器和密封元件限界。特别地，腔中的一个腔仅通过执行器和密封元件限界。

运输设备能够包括夹紧元件，所述夹紧元件具有梯形的基本形状并且贴靠在执行器的一侧上。夹紧元件能够是基本上不可压缩的。

夹紧元件能够接触壳体和/或密封元件。

在壳体中能够设有配合结构，所述配合结构构成为，至少部段地容纳梯形的夹紧元件。运输设备也能够包括各自具有梯形的基本形状的两个夹紧元件。夹紧元件中的一个夹紧元件能够贴靠在执行器的一侧上并且另一夹紧元件能够贴靠在执行器的另一侧上。

尤其地，夹紧元件中的一个能够贴靠在执行器的一侧上，并且夹紧元件中的另一个能够贴靠在执行器的相对置的侧上。

一个或多个夹紧元件能够在执行器的分别被接触的侧的整个长度上延伸。

运输设备能够包括至少一个夹紧元件，所述夹紧元件接触执行器的侧面，尤其端面，并且通过所述夹紧元件确保执行器的机械复位。优选地，运输设备包括两个夹紧元件，所述夹紧元件接触执行器的相对置的侧面，尤其端面，并且能够实现执行器的机械复位。

如果在执行器中形成腔(通过驱动器)，那么执行器朝向一个或多个方向膨胀，其中这典型地朝向执行器的端面的方向发生。如果例如驱动器的磁场终止，那么不进行腔的无起因的复位，而是所述复位能够通过夹紧元件的机械的力作用进行。

至少一个夹紧元件，优选两个夹紧元件，能够具有梯形的基本形状。

设备，尤其壳体或密封元件或一个/多个夹紧元件，也能够包括至少一个、优选至少两个磁体，通过所述磁体执行器的磁性复位是可行的。特别地，一个或多个磁体能够是一个或多个永磁体或电磁体。

执行器的磁性复位类似于如在上文中描述的执行器的机械复位那样起作用。

设备，尤其壳体或密封元件或一个/多个夹紧元件，也能够包括磁力学弹性体。

执行器的面能够至少部段地设有分离层。

分离层能够包括薄膜，特别是塑料薄膜，或者包括帕利灵。

帕利灵能够为完全由氢取代的帕利灵(帕利灵n)。帕利灵也能够为卤素取代的帕利灵。尤其地，帕利灵为部分地由氯取代的帕利灵(帕利灵c或帕利灵d)。同样地，帕利灵能够是部分地由氟取代的帕利灵(帕利灵ht)。

优选地，执行器的所有面设有分离层。

分离层能够比执行器中的腔的最大深度(sk)更薄(sb)。

分离层也能够通过粘附安置在分离层和执行器之间，例如通过在分离层和执行器之间的负压或者通过在分离层和执行器之间的介质膜(例如硅油)安置。

例如，薄膜能够施加到执行器上并且经由阀在薄膜和执行器之间产生负压。

介质膜也能够引入薄膜和执行器之间，以便确保在执行器和薄膜之间的粘附力。

执行器的帕利灵覆层例如能够通过再升华进行。

壳体能够包括至少一个扩散器。特别地，壳体包括两个扩散器。

因为通常在执行器的整个宽度上产生腔，所以在流体入口处的扩散器和/或在流体出口处的扩散器允许从流体入口到腔中和/或从腔至流体出口的改进的流体引导。

一个扩散器能够与流体入口连接并且另一扩散器能够与流体出口连接。在此，在扩散器的更靠近执行器的端部处的扩散器横截面能够大于扩散器的更远离执行器的端部的横截面。这能够适用于全部扩散器。

密封元件能够包括弹性体。尤其地，弹性体能够是热塑性的弹性体。密封元件也能够替选地或附加地包括泡沫材料。泡沫材料特别是闭孔泡沫材料。

壳体能够包括金属或塑料，优选地壳体由金属或由塑料构成。优选地，壳体由弹性体制成(热塑性弹性体)或者包括弹性体(热塑性弹性体)。替选地或附加地，壳体能够包括梯度材料或者由梯度材料构成。

运输设备的壳体能够至少部段地具有ptfe覆层(聚四氟乙烯覆层)。优选地，壳体的面至少由ptfe覆层，所述面是腔的限界面。

在运输设备的执行器中，能够在执行器中同时形成至少两个、尤其多个腔。这例如通过驱动器的匹配的设计方案实现。

运输设备能够包括至少一个传感器。优选地，传感器固定在壳体上。

运输设备能够包括温度传感器，所述温度传感器测量执行器的温度。控制单元能够改变运输设备的运行，更确切地说基于由温度传感器所检测的值来改变运输设备的运行。尤其地，当执行器的由温度传感器检测的温度值超出和/或低于温度的规定阈值时，控制单元能够改变运输设备的运行。

运输设备能够包括光学传感器，通过所述光学传感器可检测是否在执行器中存在腔。光学传感器能够构成为，使得检测在执行器的区域中执行器中的腔的频率。基于由光学传感器检测的值，设备的控制单元能够改变运输设备的运行。尤其地，能够借助光学传感器检测通过流体的运输设备的体积流，并且基于检测的值来调节运输设备。

运输设备能够包括压力传感器，所述压力传感器检测流体入口处或流体出口处的压力。运输设备也能够包括两个压力传感器，其中各一个压力传感器检测流体入口处和流体出口处的压力。基于通过至少一个压力传感器检测的值，能够改变运输设备的运行(例如通过控制单元)。

运输设备也能够包括压差传感器，所述压差传感器检测或测量在流体入口和流体出口之间的压差。在此，压差传感器能够包括在流体输入端上游的两个压力传感器或在流体输出端下游的两个压力传感器。

例如通过控制单元可以基于由压差传感器检测的值来改变运输设备的运行。

设备能够包括至少一个压电传感器，其中通过至少一个压电传感器能够检测或测量执行器的执行。基于通过至少一个压电传感器检测的或测量的值，能够改变运输设备的运行，例如通过控制单元。运输设备也能够包括两个压电传感器，所述压电传感器优选地设置在执行器的相对置的侧上。

运输设备能够包括一个、优选两个应变片。通过至少一个应变片能够检测或测量执行器的执行。尤其地，通过一个或多个应变片检测的或测量的值能够用于改变运输设备的运行。

一种用于运输流体的方法包含运输设备。运输设备包括壳体、执行器和驱动器。壳体包括流体入口和流体出口。执行器包括磁性形状记忆合金。在所述方法之内，执行器通过驱动器操纵，使得在执行器的不同侧中形成两个腔，流体通过流体入口流入到(两个)腔中，具有流体的腔朝向流体出口的方向移动，至少直至流体出口与(两个)腔流体连通地连接。流体从流体出口流出。

通过将流体在两个腔中运输，能够提高在流体入口和流体出口之间的体积流(在其他条件相同的情况下)。

设备能够包括密封元件并且密封元件能够具有至少两个凹部，优选四个凹部。第一凹部将腔在第一时刻流体连通地连接，并且第二凹部将腔在第二时刻流体连通地连接。

至少两个、尤其多个腔能够在执行器的同一侧上同时形成和移动。

在这里公开的运输设备中的每个运输设备能够在所述方法之内使用。

附图说明

本发明的实施方式根据实例示出并且不以任何由附图限制的方式转用于或归于权利要求。附图中的相同的附图标记说明相同的元件。图1a示出运输设备100的示意的部分剖面图；

图1b示出运输设备100的示意前视图；

图1c示出运输设备100的示意侧视图；

图1d示出运输设备100的示意俯视图；

图2a示出运输设备200的示意的部分剖面图；

图2b示出运输设备200的示意前视图；

图2c示出运输设备200的示意侧视图；

图2d示出运输设备200的示意俯视图；

图3a示出运输设备300的示意的部分剖面图；

图3b示出运输设备300的示意前视图；

图3c示出运输设备300的示意侧视图；

图3d示出运输设备300的示意俯视图；

图4示出运输设备400的分解图；

图5示出运输设备500的分解图；

图6a示出运输设备600的示意的部分剖面图；

图6b示出运输设备600的示意前视图；

图6c示出运输设备600的示意侧视图；

图6d示出运输设备600的示意俯视图；

图7示出具有复位元件785的运输设备700的示意俯视图；

图8示出具有复位元件886、886’的运输设备800的示意俯视图；

图9示出具有复位元件987、987’的运输设备900的示意俯视图；

图10a示出运输设备1000的示意的部分剖面图；

图10b示出运输设备1000的示意前视图；

图10c示出运输设备1000的示意侧视图；

图10d示出运输设备1000的示意俯视图；

图11a示出运输设备1100的示意的部分剖面图；

图11b示出运输设备1100的示意前视图；

图11c示出运输设备1100的示意侧视图；

图11d示出运输设备1100的示意俯视图；

图12a示出具有传感器1290、1291、1292、1293、1294、1295的运输设备1200的示意前视图；

图12b示出具有传感器1290、1292、1295的运输设备1200的示意侧视图；

图13a示出具有分离层1380的执行器13330；

图13b示出具有分离层1380和两个腔1335a、1335b的执行器13330。

具体实施方式

在图1a至1d中示出运输设备100的一个实施方式。

特别地，运输设备100为泵，更特别地为微泵。在图1a中示出运输设备100的具有几个断面的立体示意图。运输设备100包括壳体110、执行器130、驱动器150和密封元件170。

执行器130包括磁性形状记忆合金，使得通过适当的磁场能够引起执行器130的形状改变。执行器130能够由磁性形状记忆合金构成。

典型地，执行器130的基本形状基本上是方形的，具有两个侧面、两个端面和两个如下面，在所述面中应形成缩窄部或下陷部作为腔。在其中应形成腔的面也称作为腔面。腔面的面积大于端面和侧面的面积，优选地，腔面的面积至少是端面和侧面的面积的三倍大。

观察腔面之一，在执行器130中形成腔135。腔135典型地在执行器130的侧面之间伸展(尤其完全地)。在端面之间，腔135仅部段地在执行器130的腔面中构成。在与观察的腔面相对置的腔面上(朝向驱动器150)同样能够构成有腔。

执行器130设置在壳体110中。特别地，执行器130在壳体110中设置成，使得执行器130的全部面(腔面131，端面132，侧面133)由壳体110包围。

壳体110包括第一壳体部段120和第二壳体部段125。第一和第二壳体部段120、125例如通过螺接连接至壳体110。具有第一壳体部段120和第二壳体部段125的壳体110同样能够一件式地构成。

壳体110，特别是第二壳体部段125，具有下陷部115，执行器130能够匹配地引入到所述下陷部中。

在壳体110中，特别在第一壳体部段120中，设有槽117，密封元件170引入到所述槽中。槽117的走向参照图1b至1d更详细地描述。

密封元件170具有弹性特性。在腔面131的未形成腔的区域中，密封元件170贴靠在执行器130的腔面131上，其中密封元件170与第一壳体部段120的底面齐平，密封元件170因此完全位于槽117中并且不从槽117中伸出。在执行器130的腔面131的形成有腔135的区域中，密封元件170同样贴靠在执行器130的腔面131上，其中在所述区域中，密封元件170不与壳体110的第一壳体部段120齐平，密封元件170因此不完全设置在槽117中，而是部分地从槽117中伸出。

如果腔135从一个端面朝向另一端面移动，则密封元件170的从槽117伸出并且在腔135的区域中贴靠在执行器130的腔面131上的部段的位置改变。

通过密封元件170在运输设备100之内的设置和设计方案，腔135与其(在区域之内的)位置无关地始终在边缘侧(朝向侧面的方向)密封。腔135在运输期间通过执行器130、密封元件170和壳体110限界(具体地通过第一壳体部段120)。如果在执行器130的允许与设置在壳体110中的流体入口111流体连通的区域中形成腔135，那么流体能够经由流体入口111流入到腔135中并且能够运输到另一位置。

图1b示出运输设备100的示意的前视图。运输设备100包括：壳体110，所述壳体包括第一壳体部段120和第二壳体部段125；执行器130；驱动器150；和密封元件170。在壳体中设置有流体入口111和流体出口113。

流体入口111与第一扩散器112连接并且流体出口113与第二扩散器114连接。壳体110，尤其第一壳体部段120，包括槽117，在所述槽中设置有密封元件。在执行器130中形成腔135。驱动器150包括多个磁体151，所述磁体沿着执行器的纵向延伸设置。磁体151能够是电磁体和/或永磁体。磁体151优选地沿着执行器130的整个长度设置。

通过由磁体151产生的磁场沿着执行器130变化，执行器130中的腔135的移动是可能的。特别地，腔135能够在流体入口111和流体出口113之间移动，使得当腔135流体连通地与流体入口111连接时，流体能够经由流体入口111流入到腔135中，由流体填充的腔135朝向流体出口113的方向移动，并且当腔135与流体出口113流体连通地连接时，腔135中的流体能够从流体出口113流出。

在腔135从流体入口111朝向流体出口113移动期间，所述腔通过执行器130(尤其是腔面131)、壳体110(尤其是第一壳体部段120)和在边缘侧和/或在端侧通过密封元件170限界。

在壳体110中，特别在第二壳体部段125中，设置有两个夹紧元件126、127。第一夹紧元件126在此在壳体110中设置成，使得其至少部段地接触执行器130的端面132’，并且第二夹紧元件127在壳体110中设置成，使得其至少部段地接触执行器130的另一端面132。

如果在执行器中通过驱动器150形成腔作为缩窄部或下陷部，那么执行器130在其他部位处膨胀，因为缩窄或腔形成以体积稳定的方式进行。腔的复位并非无起因地进行，而是能够以机械的或磁性的方式进行。夹紧元件126、127能够具有弹性特性，使得当在执行器130中形成腔135并且执行器130已经朝向端面132、132’的方向膨胀时，在端侧132、132’将增大的力施加到执行器130上。通过切断磁场，在端侧132、132’将力由夹紧元件126、127施加到执行器130上，使得腔135复位。复位也能够通过另外取向的磁场，例如通过夹紧元件126、127中的磁体进行，其中另外取向涉及驱动器150的为了形成腔125已经产生的磁场的取向。

图1c示意地并且剖开地示出运输设备100的侧视图。

流体出口113流体连通地与第二扩散器114连接。执行器130中的腔135流体连通地与扩散器114连接从而也流体连通地与流体出口113连接。腔135中的流体可以经由扩散器114和流体出口113从运输设备100中流出。

扩散器的横截面在扩散器的朝向执行器130的端部处比在扩散器114的背离执行器130的端部的横截面更大。

流体入口111的第一扩散器112能够与流体出口113的第二扩散器114相同地构成。

槽117中的密封元件170从槽117中伸出，以便接触执行器130，尤其是腔面131，因为在图1c的执行器130中存在腔135。通过密封元件170在边缘侧密封腔135。

在图1d中示出运输设备100的示意的俯视图，其中表明壳体110中的槽117。在槽117中设置有密封元件170。

具有密封元件170的槽117围绕壳体110的、尤其第一壳体部段120的面部段或区域，在所述区域或面部段中，流体能够从流体入口111经由表明的扩散器112朝向流体出口113经由表明的扩散器114运输。沿在流体入口111和流体出口113之间的轴线的方向，腔135通过密封元件170在端侧密封，并且沿垂直于第一轴线的另一轴线的方向，腔135通过密封元件170在边缘侧密封。通过所述密封，减少或甚至避免在腔135中的流体的泄漏并且改进运输设备(泵)的液压功率。

槽117和密封元件170的基本形状基本上对应于执行器130的基本形状。

密封元件170能够具有矩形环状的形状，特别是具有倒圆的角。

尤其地，壳体100的能够与例如腔中的流体接触的一个面或多个面能够用ptfe覆层。

图2a至2d示出运输设备200的一个实施方式。

运输设备200能够是泵，更特别地是微泵。在图2a中示出运输设备200的具有断面的立体示意图。运输设备200包括壳体210、执行器230、驱动器250、第一密封元件270和第二密封元件275。

执行器230包括磁性形状记忆合金，使得通过适当的磁场能够引起执行器230的形状改变。执行器230能够由磁性形状记忆合金构成。

执行器230的基本形状基本上是方形的，具有两个侧面、两个端面和两个腔面，在所述腔面中应形成缩窄部或下陷部作为腔。腔面的面积大于端面和侧面的面积，优选地，腔面的面积至少是端面和侧面的面积的三倍大。

在腔面之一中，在执行器230中形成腔235。腔235典型地在执行器230的侧面之间伸展(尤其完全地)。在端面之间，腔235仅部段地在执行器230的腔面中构成。在与观察的腔面相对置的腔面上(朝向驱动器250)同样能够构成有腔。

执行器230设置在壳体210中。特别地，执行器230在壳体210中设置成，使得执行器230的全部面(腔面231，端面232，侧面233)由壳体210包围。

壳体210包括第一壳体部段220和第二壳体部段225。第一和第二壳体部段220、225例如通过螺接连接至壳体210。具有第一壳体部段220和第二壳体部段225的壳体210同样能够一件式地构成。

壳体210，特别是第二壳体部段225，具有下陷部215，执行器230能够匹配地引入到所述下陷部中。

壳体210，特别是第一壳体部段220，包括槽217。第一密封元件270引入到所述槽中。

密封元件270具有弹性特性。在腔面231的未形成腔的区域中，第一密封元件270贴靠在执行器230的腔面231上，其中密封元件270与第二密封元件275且与第一壳体部段220的底面的部段齐平。因此，第一密封元件270不朝向执行器230的方向伸出超过第二密封元件275的延伸。在执行器230的腔面231的形成有腔235的区域中，第一密封元件270同样贴靠在执行器230的腔面231上，其中在该区域中，第一密封元件270不与第二密封元件275和壳体210的第一壳体部段220齐平。第一密封元件270因此朝向执行器230的方向伸出超过第二密封元件275的延伸(沿相同方向)。

在腔235通过驱动器250从一个端面232朝向另一端面232’移动时，第一密封元件270的朝向执行器230的方向伸出超过第二密封元件275的延伸并且在腔235的区域中贴靠在执行器230的腔面231上的部段的位置改变。

通过第一密封元件270在运输设备200之内的设置和设计方案，腔235与其(在区域之内的)位置无关地始终在边缘侧(朝向侧面的方向)是密封的。

在执行器230的未形成腔235的区域处(除了第一密封元件270之外)也贴靠着第二密封元件275。

腔235在运输期间通过执行器230(执行器的腔面231)、第一密封元件270和第二密封元件275限界。如果在执行器230的允许与设置在壳体210中的流体入口211流体连通的区域中形成腔235，那么流体能够经由流体入口211流入到腔235中并且能够运输到另一位置。

第一密封元件270的弹性复位能够大于第二密封元件275的弹性复位，使得腔235基本上仅由第一密封元件230接触。

第二密封元件275能够面状地构成。其能够由第一密封元件270完全围绕。

第二密封元件275能够比第一密封元件230更薄地构成。

第二密封元件275能够具有凹部，所述凹部与必要时具有所连接的扩散器212、214的流体入口211和流体出口213的设计方案相对应。

在图2b中示出运输设备200的示意的前视图。运输设备200包括：壳体210，所述壳体包括第一壳体部段220和第二壳体部段225；执行器230；驱动器250；和密封元件270。壳体210包括流体入口211和流体出口213。

流体入口211与第一扩散器212连接并且流体出口213与第二扩散器214连接。壳体210，尤其第一壳体部段220，包括槽217，在所述槽中设置有第一密封元件270。第二密封元件275设置在壳体210的朝向执行器230的面处，特别设置在第一壳体部段220处。在执行器230中形成腔235。驱动器250包括多个磁体251，所述磁体沿着执行器230的纵向延伸设置。磁体251能够是电磁体和/或永磁体。磁体251优选沿着执行器230的整个长度设置。

腔235能够沿着执行器230通过由磁体251产生的磁场移动。特别地，腔235能够在流体入口211和流体出口213之间移动，使得当腔235与流体入口211流体连通地连接时，流体能够经由流体入口211流入到腔235中，由流体填充的腔235朝向流体出口213的方向移动，并且当腔235与流体出口213流体连通地连接时，腔235中的流体能够从流体出口213流出。

在腔235从流体入口211朝向流体出口213移动期间，所述腔通过执行器230(尤其通过腔面231)、第二密封元件275和在边缘侧和/或在端侧通过第一密封元件270限界。

在壳体210中，特别在第二壳体部段225中，设置有两个夹紧元件226、227。第一夹紧元件226在此在壳体210中设置成，使得其至少部段地接触执行器230的端面232’，并且第二夹紧元件227在壳体210中设置成，使得其至少部段地接触执行器230的另一端面232。

夹紧元件226、227能够具有弹性特性，使得当在执行器230中形成腔235并且执行器230已经朝向端面232、232’的方向膨胀时，在端侧232、232’将增大的力施加到执行器230上。通过切断磁场，在端侧232、232’将力由夹紧元件226、227施加到执行器230上，使得腔235复位。复位也能够通过另外取向的磁场、例如通过夹紧元件226、227中的磁体进行。

图2c示意地并且剖开地示出运输设备200的侧视图。

流体出口223流体连通地与第二扩散器224连接。执行器230中的腔235流体连通地与扩散器214连接从而也流体连通地与流体出口213连接。腔235中的流体可以经由扩散器214和流体出口213从运输设备200中流出。

扩散器的横截面在扩散器的朝向执行器230的端部处比在扩散器214的背离执行器230的端部的横截面更大。

流体入口210的第一扩散器能够与流体出口的第二扩散器214相同地构成。

第二密封元件275具有凹部，所述凹部基本上对应于扩散器212、214的朝向执行器230的端部的形状。

槽217中的第一密封元件270朝向执行器230的方向伸出超过第二密封元件275并且从槽217中伸出，以便接触执行器230，尤其腔面231，因为在图2c的执行器230中存在腔235。通过第一密封元件270，腔235在边缘侧是密封的。

图2d示出运输设备200的示意的俯视图。槽217在壳体210中表明。在槽217中设置有第一密封元件270，第二密封元件275面状地(以用于扩散器的凹部)贴靠在壳体210处，其中第一密封元件270尤其完全地围绕第二密封元件275或者环绕所述第二密封元件。

具有第一密封元件270的槽217围绕壳体210的、尤其第一壳体部段220的面部段或区域，在所述区域或面部段中，流体能够从流体入口211经由表明的扩散器212朝向流体出口213经由表明的扩散器214运输。沿在流体入口211和流体出口213之间的轴线的方向，腔235通过第一密封元件270在端侧密封。沿垂直于第一轴线的另一轴线的方向，腔235通过第一密封元件270在边缘侧密封。通过所述密封，降低或甚至避免腔235中流体的泄漏并且改进流体设备(泵)的液压功率。

槽217和第一密封元件270的基本形状基本上对应于执行器230的基本形状。

第一密封元件270能够具有矩形环状的形状，特别具有倒圆的角。第二密封元件270优选是面状的，具有矩形的基本形状，其中角是倒圆的。

在图3a至3d中示出运输设备300的一个实施方式。运输设备300能够是泵，更特别地是微泵。

在图3a中示出运输设备300的具有断面的立体示意图。运输设备300包括壳体310、执行器330、驱动器350和密封元件370。密封元件370包括密封轨377和弹簧元件376。

执行器330包括磁性形状记忆合金，使得通过适当的磁场能够引起执行器330的形状改变。执行器330能够由磁性形状记忆合金构成。

典型地，执行器330的基本形状基本上是方形的，具有两个侧面、两个端面和两个腔面，在所述腔面中应形成缩窄部或下陷部作为腔。腔面的面积大于端面和侧面的面积，优选地，腔面的面积至少是端面和侧面的面积的三倍大。

观察腔面之一，在执行器330中形成腔335。与所观察的腔面相对置的腔面同样能够具有腔。腔135典型地在执行器330的侧面之间伸展(尤其完全地)。在端面之间，腔335仅部段地在执行器130的腔面中构成。

执行器330设置在壳体310中。特别地，执行器330在壳体310中设置成，使得执行器330的全部面(腔面331，端面332，侧面333)由壳体310包围，必要时结合密封元件370。

壳体110包括第一壳体部段320和第二壳体部段325。第一和第二壳体部段320、325例如通过螺接连接至壳体310。具有第一壳体部段320和第二壳体部段325的壳体310同样能够一件式地构成。在第一壳体部段320和第二壳体部段325之间设置有密封元件310的密封轨377。

壳体310，特别是第二壳体部段325，具有下陷部315，执行器330能够匹配地引入到所述下陷部中。

在壳体310中，特别在第一壳体部段320中，设有槽317，密封元件370的弹簧元件376引入到所述槽中。槽317的走向参照图3b至3d更详细地描述。

密封轨377能够具有弹性特性。弹簧元件376具有弹性(弹簧)特性，使得密封元件370具有弹性特性。密封元件370，尤其密封轨377，在腔面331的未形成腔的区域中贴靠在执行器330的腔面331处，其中密封元件370的密封轨377平坦面状地(不包括从面中的任何拱曲部)和弹簧元件376尤其完全地位于槽317中并且不从槽317中伸出。在执行器330的腔面331的形成有腔335的区域中，密封元件370，尤其密封轨377，同样贴靠在执行器330的腔面331上，其中在所述区域中，密封轨377通过弹簧元件376局部地拱曲(非平坦面状)，并且密封元件370的弹簧元件376不完全地设置在槽317中，而是部分地从槽317中朝向执行器330的方向伸出，以便将密封轨377部段地压到腔335中。

如果腔335从一个端面332移动至另一端面332，那么密封轨377的由弹簧元件376朝向腔335的方向按压并且在腔335的区域中贴靠在执行器330的腔面331上的部段的位置改变。

通过密封元件370在运输设备300之内的设置和设计方案，腔335与其(在区域之内的)位置无关地始终在边缘侧(朝向侧面的方向)密封。

腔335在运输期间通过执行器330和密封元件370(密封元件370的密封轨377)限界。如果在执行器330的允许与设置在壳体330中的流体入口311流体连通的区域中形成腔335，那么流体能够经由流体入口311流入到腔335中并且能够运输到另一位置。

图3b示出运输设备300的示意的前视图。运输设备300包括：壳体310，所述壳体包括第一壳体部段320和第二壳体部段325；执行器330；驱动器350；和密封元件370，所述密封元件具有密封轨377和弹簧元件376。在壳体310中设置有流体入口311和流体出口313。

流体入口311与第一扩散器312连接并且流体出口313与第二扩散器314连接。壳体310，尤其第一壳体部段320，包括槽317，在所述槽中设置有密封元件370，特别是密封元件370的弹簧元件376。在执行器330中形成腔335。驱动器350包括多个磁体351，所述磁体沿着执行器330的纵向延伸设置。磁体351能够是电磁体和/或永磁体。磁体351优选地沿着执行器330的整个长度设置。

通过由磁体351产生的磁场沿着执行器330变化，执行器330中的腔335的移动是可能的。特别地，腔335能够在流体入口311和流体出口313之间移动，使得当腔335流体连通地与流体入口311连接时，流体能够经由流体入口311流入到腔335中，由流体填充的腔335朝向流体出口313的方向移动，并且当腔335与流体出口313流体连通地连接时，腔335中的流体能够从流体出口313流出。

在腔335从流体入口311朝向流体出口313移动期间，所述腔通过执行器330(尤其是腔面331)、壳体310(尤其是第一壳体部段320)和在边缘侧和/或在端侧通过密封元件370的密封轨377结合密封元件370的弹簧元件376限界。

在壳体310中，特别在第二壳体部段325中，设置有两个夹紧元件326、327。第一夹紧元件326在此在壳体310中设置成，使得其至少部段地接触执行器330的端面332’，并且第二夹紧元件327在壳体310中设置成，使得其至少部段地接触执行器330的另一端面332。

腔的复位能够机械地或磁地进行。夹紧元件326、327能够具有弹性特性，使得当在执行器330中形成腔335并且执行器330已经朝向端面332、332’的方向膨胀时，在端侧332、332’将增大的力施加到执行器330上。通过切断磁场，在端侧332、332’将力由夹紧元件326、327施加到执行器330上，使得腔335复位。复位也能够通过另外取向的磁场，例如通过夹紧元件326、327中的磁体进行。

在图3c中示意地并且剖开地以侧视图示出的运输设备300包括流体出口313，所述流体出口与第二扩散器314流体连通地连接。执行器330中的腔335流体连通地与扩散器314连接从而也流体连通地与流体出口313连接。腔335中的流体可以经由扩散器314和流体出口313从运输设备300中流出。

扩散器的横截面在扩散器的朝向执行器330的端部处比在扩散器314的背离执行器330的端部的横截面更大。

流体入口311的第一扩散器312能够与流体出口313的第二扩散器314相同地构成。

密封元件370包括密封轨377和弹簧元件376。如果在执行器330中存在腔335(在弹簧元件376的区域中)，那么弹簧元件376的部段将密封轨377的相对应的部段朝向腔335的方向按压，使得密封轨377的所述部段贴靠在执行器330(执行器330的腔面331)处，并且腔335通过密封元件370在边缘侧密封。密封元件370的弹簧元件376从其所设置在的槽317中朝向执行器330的方向伸出。

优选地，密封轨377与壳体310的部段，特别与第一壳体部段320附着地连接。这例如经由粘接或材料配合的连接进行。

密封轨377能够跨越或封闭在其中设置有弹簧元件376的槽317的敞开的侧。特别地，密封轨377能够完全地跨越或封闭槽的敞开的侧。

在图3d中示出运输设备300的示意的俯视图，其中槽317在壳体310中表明。在槽317中设置有密封元件370的弹簧元件376。

具有密封元件370的弹簧元件376的槽317围绕壳体310的、尤其是第一壳体部段320的面部段或区域，在所述区域或面部段中，流体能够从流体入口311经由表明的扩散器312朝向流体出口313经由表明的扩散器314运输。沿在流体入口311和流体出口313之间的轴线的方向，腔335通过密封元件370尤其通过密封元件370的密封轨377在端侧密封，并且沿垂直于第一轴线的另一轴线的方向，腔335通过密封元件370尤其通过密封元件370的密封轨377在边缘侧密封。通过所述密封，减少或甚至避免在腔335中的流体的泄漏并且改进运输设备(泵)的液压功率。

槽317的基本形状基本上对应于执行器330的基本形状。

密封元件370的弹簧元件376能够具有矩形环状的形状，特别具有倒圆的角。弹簧元件376能够连续地构成，尤其在槽317的整个长度上设置在槽317中。

图4示出运输设备400的分解图。运输设备400包括壳体410、执行器430、驱动器450和密封元件470。

壳体划分成三个壳体部段420、425、428。三个壳体部段420、425、428是分开的元件(构件)，其不材料配合地彼此连接。三个壳体部段420、425、428中的至少两个壳体部段能够一件式地构成或者材料配合地彼此连接。

第一壳体部段420包括带有在其上连接的扩散器412的流体入口411(在图4中表明)和带有连接的扩散器414的流体出口413(在图4中表明)。

执行器430方形地构成并且是框架状的，端面和侧面以接触的方式由密封元件470包围。第二壳体部段425构成为，将密封元件470连同围住的执行器430围住或包围。

密封元件470具有四个凹部471、472、473、373，所述凹部能够在密封元件470的整个高度上延伸。凹部471、471、473、474连同执行器430一起形成通道，当腔处于与凹部471、472、473、474相匹配的区域中时(在图4中未示出)，所述通道将执行器430的下腔面的腔与执行器430的上腔面的腔连接。

流体入口411能够经由扩散器412与执行器430的上腔面中的腔流体连通地连接。如果下腔面的腔与执行器430的上腔面的腔流体连通地，例如经由凹部473、474连接，那么经由流体入口411，流体能够流入到两个腔中。

类似地，在例如经由凹部471、472连接由流体填充的腔时，流体能够从流体出口413中经由扩散器414从设备中流出。

第三壳体部段428优选地薄地构成(比第一壳体部段420和第二壳体部段425更薄)。

第二壳体部段425设置在第一壳体部段420和第三壳体部段420之间。

三个壳体部段420、425、428能够彼此粘接或螺接。

驱动器450类似于上述驱动器。

图5示出运输设备500的分解图。运输设备500包括壳体510、执行器530、驱动器500和密封元件570。

运输设备的所述部件与运输设备400的相同部件相同地构成，使得参见图4对所述部件的描述也适用于参见图5的运输设备500的相同部件。

附加地，运输设备500包括第一密封轨578和第二密封轨579。第一密封轨578包括两个凹部578a、578b。凹部578a、578b成形为并且在第一密封轨578中定位成，使得其匹配于扩散器512、514的朝向执行器530的端部的形状。

凹部578a允许流体经由流体入口511和扩散器512流入到执行器530的上腔面中的腔中并且经由密封元件570中的凹部573、574流入到执行器530的下腔面的腔中。

类似地，凹部578b允许执行器530的上腔面中的腔的流体流出，并且经由密封元件570中的凹部571、572允许流体从执行器530的下腔面中的腔经由扩散器514和流体出口513流出。

第一密封轨578能够设置在第一壳体部段520和第二壳体部段525之间，尤其使得第一壳体部段520不直接接触执行器530。附加地，第一密封轨578确保执行器530的上腔面中的腔的密封。第二密封轨579能够设置在第二壳体部段525和第三壳体部段528之间。由此，执行器530不能够直接接触第三壳体部段528并且确保执行器530的下腔面中的腔的密封。

图6a至6d示出运输设备600的一个实施方式。运输设备600特别地为泵，更特别地为微泵。

在图6a中立体地并且示意地示出运输设备600，其中示出断面。

运输设备600包括壳体610、执行器630、驱动器650和密封元件670。执行器630包括磁性形状记忆合金。通过由驱动器650提供的磁场，执行器能够改变其形状。执行器630能够由磁性形状记忆合金构成。

执行器630的基本形状基本上是方形的。执行器630包括两个侧面、两个端面和两个腔面，其中在腔面中应构成腔635、635’(在图6a中仅示出腔635)。

腔面的面积大于端面和侧面的面积，优选地，腔面的面积至少是执行器630的端面和侧面的面积的三倍大。

在腔面631中形成腔635，所述腔在执行器630的侧面之间伸展。腔635(并且还有腔635’)部段地在执行器630中在端面之间构成。

壳体610包括第一壳体部段620、第二壳体部段625和第三壳体部段628。壳体部段620、625、628不材料配合地连接，然而可以通过螺接或粘接彼此连接。壳体部段620、625、628中的至少两个壳体部段的一件式的设计方案是可行的。

壳体610包括流体入口611，所述流体入口尤其设置在壳体610的第一壳体部段620中。第三壳体部段628比第一壳体部段620和/或第二壳体部段625更薄地构成。执行器630设置在壳体610中。执行器630因此能够在壳体610中设置成，使得执行器630的全部面，即腔面631、端面632、侧面633，完全由壳体围绕。

密封元件670具有凹部671、672、673、674(凹部673和674在图6a中未示出)。凹部671、672、673、674连同执行器630的侧面一起形成各一个通道。如果一个腔635处于凹部671、672附近并且另一腔635’处于执行器630的与具有腔635的面相对置的面上，那么腔635、635’经由凹部671、672流体连通地连接。

运输设备600能够包括如参照图5描述的密封轨578、579。

在图6b中示出运输设备600的示意的前视图。运输设备600包括壳体610，所述壳体具有第一壳体部段620、第二壳体部段625和第三壳体部段628。运输设备600此外包括执行器630、驱动器650和密封元件670，所述驱动器具有多个磁体651。

壳体610包括流体入口611和扩散器612以及具有所连接的扩散器614的流体出口613。密封元件670在一个平面中，尤其在执行器630中的腔635、635’的移动的平面中，围绕执行器630。在此，密封元件670接触执行器630的端侧和侧面。

凹部672和674(在图6b中表明)基本上与流体入口611(扩散器612)齐平或与出口613(扩散器614)齐平。由此能够实现，当腔635、635’已经移动到能够实现腔635与扩散器614和流体出口613的流体连通的位置时，也确保腔635与腔635’的流体连通，使得流体能够从两个腔635、635’中从流体出口613流出。类似地，确保流体经由流体入口611和扩散器612流入到腔635、635’中。

在图6c中示出运输设备600的示意的侧视图，其中在所述视图中示出在腔635’、凹部671、凹部672、腔635、扩散器614和流体出口613之间的流体连通。

密封元件670在其侧面处(完全地)环绕执行器630。

在图6d中以示意的俯视图示出运输设备600。流体入口611与扩散器612连接。凹部673、674与扩散器612齐平。

流体出口613与扩散器614连接。凹部671、672与扩散器614齐平。

密封元件670(在一个平面中)完全地围绕执行器630。同样地，扩散器614、612由投影的密封元件670包围。

密封元件670能够具有矩形环状的形状。

壳体610的能够与腔635、635’之一中的流体接触的一个或多个面优选是覆层的，尤其由ptfe覆层来覆层。

特别地，第一壳体部段620的朝向执行器630的面设有这种覆层。

第三壳体部段628的朝向执行器630的面也能够设有这种覆层。

图7示出执行器730和密封元件770，其中密封元件770包围(环绕)执行器。

在密封元件770中设置有复位元件785。复位元件785构成为电磁体。

复位元件785用于使执行器730在执行器730中形成腔之后(磁性)复位，如在上文中描述的那样。

在图8中示意地示出具有执行器830和密封元件870的运输设备800。密封元件870包括两个复位元件886、886’。复位元件886、886’设置在密封元件870中并且各自包括多个弹簧，其中各一个复位元件886、886’在执行器830的相对置的侧上设置在密封元件870中。通过弹簧886、886’确保执行器830的机械复位，如在上文中描述的那样。

弹簧886、886’能够是金属弹簧或塑料弹簧。

图9在俯视图中(示意地)示出具有执行器930和密封元件970的运输设备900。在密封元件970中设置有两个复位元件987、987’。复位元件987、987’各自包括永磁体，其中各一个复位元件886、886’在执行器930的相对置的侧上设置在密封元件970中。通过永磁体987、987’能够实现执行器930的磁性复位，如在上文中描述的那样。

图10a至10d示出运输设备1000的一个实施方式。运输设备1000能够是泵，特别是微泵。

在图10a中立体地且示意地以断面形式示出运输设备1000。

运输设备1000包括壳体1010、执行器1030、驱动器1050和密封元件1070。

执行器1030包括磁性形状记忆合金。通过由驱动器1050提供的磁场，执行器能够改变其形状。执行器1030能够由磁性形状记忆合金构成。

执行器1030的基本形状基本上是方形的。执行器1030包括两个侧面、两个端面和两个腔面，其中在腔面中应构成腔1035、1035’(在图10a中仅示出腔1035)。

腔面的面积大于端面和侧面的面积。尤其地，腔面的面积至少是执行器1030的端面和侧面的面积的三倍大。

在腔面1031中形成腔1035，所述腔在执行器1030的侧面之间伸展。腔1035(并且还有腔1035’)部段地在执行器1030中在端面之间构成。

壳体1010包括第一壳体部段1020和第二壳体部段1025。壳体部段1020、1025不材料配合地连接，然而可以通过螺接或粘接彼此连接。

壳体1010包括流体入口1011，所述流体入口尤其设置在壳体1010的第一壳体部段1020中。第二壳体部段1025比第一壳体部段1020更薄地构成。执行器1030设置在壳体1010中。执行器1030能够在壳体1010中设置成，使得执行器1030的全部面，即腔面1031、端面1032、侧面1033，完全由壳体1030围绕。

密封元件1070具有凹部1071、1072、1073、1074(凹部1073和1074在图10a中未示出)。凹部1071、1072、1073、1074连同执行器1030的侧面一起形成各一个通道。如果一个腔1035处于凹部1071、1072附近并且另一腔1035’处于执行器1030的与具有腔1035的面相对置的面上，那么腔1035、1035’经由凹部1071、1072流体连通地连接。

运输设备1000能够包括如参照图5描述的密封轨579。密封轨579能够设置在第一壳体部段1020和第二壳体部段1025之间。

在图10b中示出运输设备1000的示意的前视图。运输设备1000包括壳体1010，所述壳体具有第一壳体部段1020和第二壳体部段1025。运输设备1000此外包括执行器1030、驱动器1050和密封元件1070，所述驱动器具有多个磁体1051。

壳体1010包括流体入口1011和扩散器1012以及具有所连接的扩散器1014的流体出口1013。

密封元件1070在一个平面中，尤其在执行器1030中的腔1035、1035’的移动的平面中，围绕执行器1030。附加地，密封元件1070包围执行器1070的腔面之一1031，尤其是朝向流体入口1011和/或流体出口1013的腔面。

密封元件1070能够至少部段地接触执行器1030的六个侧部中的至少五个，对此也参见图10a和10c。

流体入口1011的部段和/或流体出口1013的部段由密封元件1070包围。流体入口1011的扩散器1012和/或流体出口1013的扩散器1014也能够部段地由密封元件1070包围。

凹部1072和1074(在图10b中表明)基本上与流体入口1011(扩散器1012)齐平或与出口1013(扩散器1014)齐平。由此能够实现，当腔1035、1035’已经移动到能够实现腔1035与扩散器1014和流体出口1013的流体连通的位置时，也确保腔1035与腔1035’的流体连通，使得流体能够从两个腔1035、1035’中从流体出口1013流出。类似地，确保流体经由流体入口1011和扩散器1012流入到腔1035、1035’中。

在图10c中示出运输设备1000的示意的侧视图，其中在所述视图中示出在腔1035’、凹部1071、凹部1072、腔1035、扩散器1014和流体出口1013之间的流体连通。

密封元件1070在其侧面处(完全地)环绕执行器1030并且围绕执行器1030的朝向流体入口1011和/或流体出口1013的腔面1031。优选地，密封元件1070(基本上)不接触执行器1030的朝向驱动器1050的腔面。

在图10d中以示意的俯视图示出运输设备1000。流体入口1011与扩散器1012连接。凹部1073、1074与扩散器1012齐平。

流体出口1013与扩散器1014连接。凹部1071、1072与扩散器1014齐平。

密封元件1070(在一个平面中)完全地围绕执行器1030。同样地，扩散器1014、1012由投影的密封元件1070包围。

壳体1010的能够与腔1035、1035’之一中的流体接触的一个或多个面优选是覆层的，尤其由ptfe覆层来覆层。

特别地，第一壳体部段1020的朝向执行器1030的面设有这种覆层。

第三壳体部段1028的朝向执行器1030的面也能够设有这种覆层。

图11a至11d示出运输设备1100的一个实施方式。运输设备1100特别是泵，更特别是微泵。

在图11a中立体地且示意地示出运输设备1100，其中示出断面。

运输设备1100包括壳体1110、执行器1130、驱动器1150和密封元件1170。执行器1130包括磁性形状记忆合金。通过由驱动器1150提供的磁场，执行器能够改变其形状。执行器1130能够由磁性形状记忆合金构成。

执行器1130的基本形状基本上是方形的。执行器1130包括两个侧面、两个端面和两个腔面，其中在腔面中应构成腔1135、1135’(在图11a中仅示出腔1135)。

腔面的面积大于端面和侧面的面积。尤其地，腔面的面积至少是执行器1130的端面和侧面的面积的三倍大。

在腔面1131中形成腔1035，所述腔在执行器1130的侧面之间伸展。腔1135(并且还有腔1135’)部段地在执行器1130中在端面之间构成。

壳体1110包括流体入口1111和流体出口1113。执行器1130能够在壳体1110中设置成，使得端面1132、侧面1133和腔面中的至少一个腔面1131由壳体1110围绕。

密封元件1170具有凹部1171、1172、1173、1174(凹部1173和1174在图11a中未示出)。凹部1171、1172、1173、1174连同执行器1130的侧面一起形成各一个通道。如果一个腔1135处于凹部1171、1172附近并且另一腔1135’处于执行器1130的与具有腔1135的面相对置的面上，那么腔1135、1135’经由凹部1171、1172流体连通地连接。

运输设备1100包括密封轨1177，所述密封轨设置在执行器1130和驱动器1150之间。

运输设备1100包括两个夹紧元件1126、1127，其中各一个夹紧元件1126、1127接触执行器1130的侧部，尤其端面1132。夹紧元件1126、1127能够在执行器1130的分别被接触的侧部或面的整个长度上延伸。

夹紧元件1126、1127具有梯形的基本形状。夹紧元件1126、1127的至少一个侧部分别梯形地构成。

夹紧元件1126、1127能够接触密封元件1170、壳体1110、执行器1130和/或密封轨1177。

夹紧元件1126、1127能够由不可压缩的材料构成。

在图11b中示出运输设备1100的示意的前视图。运输设备1100包括壳体1110、执行器1130、驱动器1150和密封元件1170，所述驱动器具有多个磁体1151。

壳体1110包括流体入口1111和扩散器1112以及具有所连接的扩散器1114的流体出口1113。密封元件1170环绕腔面1131和侧面1133中的至少一个侧面，特别是两个侧面1133。

凹部1172和1174(在图11b中表明)基本上与流体入口1111(扩散器1112)齐平或与出口1113(扩散器1114)齐平。由此能够实现，当腔1135、1135’已经移动到能够实现腔1135与扩散器1114和流体出口1113的流体连通的位置时，也确保腔1135与腔1135’的流体连通，使得流体能够从两个腔1135、1135’中从流体出口1113流出。类似地，确保流体经由流体入口1111和扩散器1112流入到腔1135、1135’中。

夹紧元件1126、1127中的各一个夹紧元件接触执行器1130的端面中的各一个端面。

在图11c中示出运输设备1100的示意的侧视图，其中在所述视图中示出在腔1135’、凹部1171、凹部1172、腔1135、扩散器1114和流体出口1113之间的流体连通。

在图11d中以示意的俯视图示出运输设备1100。流体入口1111与扩散器1112连接。凹部1173、1174与扩散器1112齐平。

流体出口1113与扩散器1114连接。凹部1171、1172与扩散器1114齐平。

示例性地，在图12a和12b中示出具有传感器1290、1291、1292、1293、1294、1295、1296的运输设备1200。

传感器1290，……的参照运输设备1200描述的特征可整合到在本文中描述的运输设备100，……的每一个中。

运输设备1200包括壳体1210，所述壳体尤其包括第一壳体部段1220和第二壳体部段1225。附加地，运输设备1200包括执行器1230、驱动器1250和密封元件1270，所述驱动器尤其具有多个磁体1251，所述密封元件特别设置在壳体1210的槽1217中。

运输设备1200的传感器装置包括光学传感器1291。光学传感器1291设置在壳体1210中并且穿引所述壳体。光学传感器1291的端部在壳体中设置成，使得执行器1230的面(特别是腔面)能够光学地由传感器1291检测。

所述端部能够是光导体的一个端部，在所述光导体的另一端部上设置有光学传感器1291的评估单元或分析单元。

通过光学传感器1291可光学地测量执行器的面(腔面)。特别地，执行器1230中的腔能够通过光学传感器1291检测。这涉及执行器1230中的腔的几何形状特性并且涉及在执行器1230中出现腔的频率。

运输设备1200的传感器装置也能够包括压力传感器1292。压力传感器1292至少部分地设置在流体入口1211处并且能够测量流体入口1211中的绝对压力。

如果在执行器1230中形成与流体入口1211流体连通的腔，那么出现负压，从而流体能够经由流体入口1211流入到执行器1230的腔中。通过压力传感器1292可测量流体入口1211中的所述压力。

压力传感器1292(也为压差传感器)能够包括第一压力传感器1292a和第二压力传感器1292b，使得能够确定流体入口1211和流体出口1213之间的压差。对此，两个压力传感器1292a、1292b能够在流体入口1211上游设置或者两个压力传感器能够在流体出口1213下游设置(未完全在图12a和12b中示出)。

通过压力传感器1292的数据能够监控运输设备1200的运行，并且基于压力传感器1292的数据能够控制或调节运输设备1200的运行。

温度传感器1290在运输设备1200中设置成，使得通过温度传感器1290能够检测执行器1230的温度。尤其地，温度传感器1290(部分地)设置在运输设备1200的壳体1210中。温度传感器1290能够接触执行器1230的面。

温度传感器1290的数据能够用于监控、控制或调节运输设备1200的运行。

尤其地，运输设备1200的运行调整(控制或调节)成，使得执行器1230的温度不超过100℃的值，特别是不超过55℃的温度。执行器1230的温度例如能够经由(未在图12a和12b中示出的)加热和/或冷却元件例如帕尔贴元件调整。

压电传感器1293、1294能够检测执行器1230沿在流体入口1211和流体出口1213之间的腔移动的方向的应变(执行器1230的力效应)。压电传感器1293、1294能够设置在执行器1230的端面上。在执行器1230的一个端面上能够设有一个压电传感器1293、1294。

压电传感器1293、1294能够接触执行器1230的各一个端面并且尤其接触各一个夹紧元件1226、1227。

压电传感器1293、1294的数据能够用于监控、控制或调节运输设备1200的运行。通过由压电传感器测量的值的大小和/或频率，能够推断出由运输设备1200运输的体积流和/或执行器1230的老化。

通过应变片1295、1296同样能够推断出由运输设备1200输送的体积流和/或执行器1230的老化。应变片1295、1296能够设置在壳体1210中。在此，应变片1295、1296能够接触执行器1230的各一个侧面。一个应变片1295、1296能够设置在执行器1230的一个侧面上并且接触所述执行器。

应变片1295、1296的数据允许监控、控制或调节运输设备1200的运行。

图13a和13b示出具有分离层1380的执行器1330。

在本文中描述的执行器130，……，1330中的每一个能够包括分离层1380。

在图13a中，在执行器1330中未构成腔。分离层1380围绕执行器1330的全部侧部，其中同样执行器1330的至少一个侧部能够由分离层1380围绕。

分离层1380包括第一薄膜元件1381和第二薄膜元件1382。薄膜元件1381、1382通过焊接部1398气密地连接。

分离层1380能够包括一件式的薄膜元件。特别地，能够将软管形的薄膜元件围绕执行器1330设置，并且将薄膜元件的一个或多个敞开的侧部(气密地)焊接，使得执行器1330尤其完全地由薄膜元件包围。

分离层1380包括阀1399。经由阀1399能够调整在分离层1380之外的压力(包围分离层1380)和在分离层1380和执行器1330之间的压力。例如，薄膜元件1381、1382或一件式的薄膜能够围绕执行器1330铺设，使得在执行器1330和薄膜之间的空气能够经由阀1399抽吸或压缩。由此，薄膜紧密地贴靠在执行器1330上并且在执行器1330和分离层1380之间的压力相对于周围环境降低。薄膜元件1381、1382(或一件式的薄膜)能够彼此焊接，使得在执行器1330和分离层1380之间保持负压。

在图13b中构成有腔1335、1335’，在执行器1330的腔面之一中的各一个腔1335、1335’。分离层1380紧接执行器1330的缩窄部，以构成腔1335、1335’。

如果在腔1335、1335’中运输流体(如上所述)，那么流体不直接接触执行器1330，而是接触分离层1380。由此，也能够在具有带有分离层1380的执行器1330的运输设备100，……中运输腐蚀性的或敏感性的流体。特别地，确保这种运输设备100，……的生物兼容性。

分离层1380的厚度sb能够小于腔13330的最大地在执行器1330中构成的深度sk。

除了参照图13a和13b描述的分离层1380之外，分离层也能够构成为牢固附着地与执行器1330连接的覆层。