一种干式真空泵冷却系统的制作方法

1.本发明涉及真空泵冷却技术领域，尤其涉及一种干式真空泵冷却系统。


背景技术：

2.无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
3.由于在半导体工艺中,使用的气体往往都是比较高的温度，高温气体经过反应腔进入泵体内部,最后经泵的排气口排出，因此气体将部分热量传给了干泵,同时由于干泵自身也不断压缩气体,产生大量热量,这些热量也有很大一部分传导到泵体上，经过多方面的热量传导干泵自身的温度就比较高,使得泵体内部的零部件由于高温而变形,这对泵自身的寿命以及人员安全都造成威胁，且驱动干泵的电机在工作时也会产生热量，影响电机的寿命，故而需要对泵体和电机进行冷却，现有的冷却大多是通过循环冷却装置进行冷却，由于电机和泵体的对冷却液的需求不同，故而需要操作人员实时的监测热量的具体情况，以此控制冷却液的流量，导致冷却工作较为繁琐。


技术实现要素：

4.本发明的目的是为了解决现有技术中不足的问题，而提出的一种干式真空泵冷却系统。
5.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种干式真空泵冷却系统，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，所述泵体通过电机驱动，所述循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，所述电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，所述泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置，所述循环冷却装置、第一开启装置和第二开启装置均与控制面板电连接；所述第一开启装置包括设置于底座顶部的安装箱、设置于电机右侧的冷却管中的阀门和水流检测机构，所述水流检测机构位于阀门的左侧，所述安装箱内壁上端设置有密封筒，所述密封筒内设置有活塞，活塞的右侧设置有贯穿密封筒右端的活塞板，所述密封筒的内壁右侧设置有第一导热片，所述第一导热片远离活塞的一端与电机表面接触，所述密封筒左上端内开设有进气口，进气口内嵌设有气嘴，所述密封筒左上端表面设置有与进气口连通的通气管，通气管伸出电机的保护罩外，所述活塞与密封筒之间设置有第一复位弹簧；所述阀门包括阀壳、转动设置于阀壳内的球状阀芯和设置于球状阀芯顶部的转杆，所述转杆顶部设置有第一齿轮，所述活塞板的前侧设置有与第一齿轮啮合的多个齿块，所述球状阀芯内开设有与冷却管连通的通槽；所述水流检测机构包括与冷却管连通的壳体和转设置于壳体内的螺纹杆，所述螺
纹杆底部设置有液压传感器，所述螺纹杆顶部贯穿壳体上端，且螺纹杆顶部与壳体上端螺纹连接，所述螺纹杆顶部设置有滑块，所述滑块上下滑动设置于转轴内，所述转轴转动设置于壳体顶部，所述转轴上部设置有第三齿轮，所述第三齿轮与转杆上的第二齿轮啮合连接；所述滑块的横截面为非圆状。
6.进一步，所述循环冷却装置的动力源通过控制开关控制，所述安装箱内设置有用于触发控制开关的触发机构，所述触发机构包括设置于活塞板顶部的导向座、左右滑动设置于导向座内的t型滑板和设置于安装箱内的固定板，所述固定板左侧设置有固定式触点，所述t型滑板右侧设置有与固定式触点接触的活动式触点，所述t型滑板与导向座之间设置有第二复位弹簧。
7.进一步，所述第二开启装置与第一开启装置结构一致，其中第二开启装置中的第二导热片与泵体接触，所述第二导热片嵌设于密封箱内，所述密封箱右上端通过保温式气管与第二开启装置中的密封筒右下端连通，所述第二开启装置中的密封筒位于安装箱的右侧。
8.进一步，所述控制面板安装于循环冷却装置前侧，所述控制面板内设置有处理器和继电器，所述控制面板前侧设置有显示屏和按键，所述显示屏和按键均与处理器电连接；所述液压传感器的输出端以及第二开启装置与第一开启装置中的的控制器均与处理器的输入端电连接，所述处理器的输出端与继电器的输入端电连接，所述继电器的输出端与循环冷却装置中的水泵电连接。
9.进一步，所述螺纹杆底部设置有防水罩，所述液压传感器安装于防水罩的内部，且液压传感器的感应部位贯穿防水罩的底端，所述防水罩的底端内开设有通孔，所述通孔内壁设置有用于抱紧液压传感器的感应部位的防水圈。
10.进一步，所述安装箱内设置有导向杆，所述活塞板与导向杆滑动连接。
11.进一步，所述壳体内的水流从右到左水平流动，所述螺纹杆与壳体内的水流呈九十度垂直设置。
12.进一步，所述t型滑板右上端设置有与固定板接触的推板。
13.与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：在本发明中，通过电机和泵体具体的热量情况，分别开启第一开启装置和第二开启装置中的阀门，自动控制电机和泵体所需冷却液的流量；且在阀门开启的同时带动水流检测机构，使得操作者实时监测电机和泵体所用冷却液具体的流量情况，避免出现缺少冷却液工作的现象。
附图说明
14.图1为本发明提出的一种干式真空泵冷却系统的外部结构示意图；图2为本发明提出的一种干式真空泵冷却系统的内部结构示意图；图3为本发明提出的一种干式真空泵冷却系统中第一开启装置的内部结构示意图；图4为本发明提出的一种干式真空泵冷却系统中阀门的内部结构示意图；图5为图4中a处的放大图；图6为本发明提出的一种干式真空泵冷却系统中触发机构的内部结构示意图；
图7为本发明提出的一种干式真空泵冷却系统中第二开启装置的内部结构示意图。
15.图中：1、底座；2、泵体；3、电机；4、循环冷却装置；5、第一开启装置；51、安装箱；52、阀门；521、阀壳；522、球状阀芯；523、转杆；524、第二齿轮；53、水流检测机构；531、壳体；532、螺纹杆；533、转轴；534、第三齿轮；535、液压传感器；536、防水罩；54、密封筒；55、活塞板；56、第一导热片；57、第一齿轮；58、导向杆；59、触发机构；591、导向座；592、t型滑板；593、固定板；594、推板；6、第二开启装置；61、第二导热片；62、密封箱；63、保温式气管；7、控制面板。
具体实施方式
16.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
17.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
18.参照图1-7，一种干式真空泵冷却系统，包括底座1和从左到右依次设置于底座1顶部的泵体2、电机3与循环冷却装置4，泵体2通过电机3驱动，循环冷却装置4中的冷却管分别设置于电机3外壳和泵体2的出气口处，电机3右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置5，泵体2右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置6，循环冷却装置4、第一开启装置5和第二开启装置6均与控制面板7电连接；第一开启装置5包括设置于底座1顶部的安装箱51、设置于电机3右侧的冷却管中的阀门52和水流检测机构53，水流检测机构53位于阀门52的左侧，安装箱51内壁上端设置有密封筒54，密封筒54内设置有活塞，活塞的右侧设置有贯穿密封筒54右端的活塞板55，密封筒54的内壁右侧设置有第一导热片56，第一导热片56远离活塞的一端与电机3表面接触，密封筒54左上端内开设有进气口，进气口内嵌设有气嘴，密封筒54左上端表面设置有与进气口连通的通气管，通气管伸出电机3的保护罩外，活塞与密封筒54之间设置有第一复位弹簧；阀门52包括阀壳521、转动设置于阀壳521内的球状阀芯522和设置于球状阀芯522顶部的转杆523，转杆523顶部设置有第一齿轮57，活塞板55的前侧设置有与第一齿轮57啮合的多个齿块，球状阀芯522内开设有与冷却管连通的通槽；水流检测机构53包括与冷却管连通的壳体531和转设置于壳体531内的螺纹杆532，螺纹杆532底部设置有液压传感器535，螺纹杆532顶部贯穿壳体531上端，且螺纹杆532顶部与壳体531上端螺纹连接，螺纹杆532顶部设置有滑块，滑块上下滑动设置于转轴533内，转轴533转动设置于壳体531顶部，转轴533上部设置有第三齿轮534，第三齿轮534与转杆523上的第二齿轮524啮合连接；滑块的横截面为非圆状。
19.进一步，循环冷却装置4的动力源通过控制开关控制，安装箱51内设置有用于触发控制开关的触发机构59，触发机构59包括设置于活塞板55顶部的导向座591、左右滑动设置于导向座591内的t型滑板592和设置于安装箱51内的固定板593，固定板593左侧设置有固
定式触点，t型滑板592右侧设置有与固定式触点接触的活动式触点，t型滑板592与导向座591之间设置有第二复位弹簧。
20.进一步，第二开启装置6与第一开启装置5结构一致，其中第二开启装置6中的第二导热片61与泵体2接触，第二导热片61嵌设于密封箱62内，密封箱62右上端通过保温式气管63与第二开启装置6中的密封筒54右下端连通，第二开启装置6中的密封筒54位于安装箱51的右侧。
21.进一步，控制面板7安装于循环冷却装置4前侧，控制面板7内设置有处理器和继电器，控制面板7前侧设置有显示屏和按键，显示屏和按键均与处理器电连接；液压传感器535的输出端以及第二开启装置6与第一开启装置5中的的控制器均与处理器的输入端电连接，处理器的输出端与继电器的输入端电连接，继电器的输出端与循环冷却装置4中的水泵电连接。
22.进一步，螺纹杆532底部设置有防水罩536，液压传感器535安装于防水罩536的内部，且液压传感器535的感应部位贯穿防水罩536的底端，防水罩536的底端内开设有通孔，通孔内壁设置有用于抱紧液压传感器535的感应部位的防水圈。
23.进一步，安装箱51内设置有导向杆58，活塞板55与导向杆58滑动连接。
24.进一步，壳体531内的水流从右到左水平流动，螺纹杆532与壳体531内的水流呈九十度垂直设置。
25.进一步，t型滑板592右上端设置有与固定板593接触的推板594。
26.工作原理：在使用时，当电机3温度升高时，第一导热片56将电机3的热量传递至密封筒54内，使得密封筒54内的气体受热膨胀，进而推动活塞远离第一导热片56，并挤压第一复位弹簧，进而通过活塞板55的移动带动第一齿轮57转动，进而通过转杆523带动球状阀芯522转动，使得球状阀芯522内的通槽与冷却管连通；其中，在活塞板55移动的过程中带动t型滑板592上的活动式触点与固定式触点接触，进而控制开关给处理器发送信号，进而处理器给继电器发送指令控制水泵开启，使得冷却管中通入冷却水，进而冷却电机3；且在转杆523转动的同时带动第二齿轮524转动，进而带动第三齿轮534转动，进而带动螺纹杆532上移，此时通过螺纹杆532底部的液压传感器535将壳体531内冷却液的流量信号传递给处理器进行处理，进而处理器将流量情况发送至显示屏上便于使用者监测，避免出现缺少冷却液工作的现象；由于电机3是持续工作的，故而电机3 的温度会一直变化，故而气体受热膨胀的体积也会一直变化，从而活塞板55的移动距离也会一直变化，故而可以通过球状阀芯522实现自动控制冷却液的流量；且在活塞板55的移动距离变化时，通过第一齿轮57带动转动转杆523，进而通过第二齿轮524、第三齿轮534和转轴533使得螺纹杆532移动，从而使得液压传感器535的位置一直变化，使得液压传感器535的位置可以与冷却液流量的位置匹配，使得冷却液流量监测更加准确；其中，在活塞板55移动的过程中，先带动活动式触点与固定式触点接触，推板594与固定板593接触，若活塞板55持续移动，t型滑板592将压缩第二复位弹簧，且推板594与固定板593接触，可以避免活动式触点与固定式触点相互挤压而损伤的现象；
泵体2冷却的过程与上述电机3冷却的过程一致，此时需要注意的是：只有当第一开启装置5中的控制开关和第二开启装置6中的控制开关同时失去信号时，处理器才会给继电器发送指令控制水泵停止；当密封筒54内的气体不充足时，可以通过通气管对其密封筒54内进行补气。
27.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。