真空泵的制作方法

本发明涉及真空泵。

背景技术：

1、一般，在真空泵，为了转子部的温度上升的抑制、气体流路的温度调整等而设置有冷却机构、加热机构。某个真空泵具备多个温度传感器，基于从多个温度传感器输出的传感器信号，对冷却机构及加热机构的至少一方进行控制(例如参照专利文献1)。在该真空泵中，在基座部和马达部分别设置有温度传感器，基于传感器信号进行冷却水的电磁阀的开及加热器的开启关闭。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2011/021428号

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在真空泵中，通常温度传感器被设置在成为温度控制对象的气体流路的近旁、或者冷却机构或加热机构的近旁，按照该温度传感器的传感器信号对冷却机构或加热机构进行控制。

3、一般，真空泵的气体流路内的气体流量根据真空泵的上游处的工艺而变动，如果由真空泵排出的气体流量增加，则真空泵内的气体流路温度上升，如果由真空泵排出的气体流量减少，则真空泵内的气体流路温度下降。因此，即使气体流量变化，也需要将真空泵的运转中的气体流路温度调整以成为从不发生气体析出物的下限值到对于转子部的热膨胀等的上限值的容许范围内。

4、在上述的温度传感器被设置在成为温度控制对象的气体流路的近旁的情况下，从冷却机构或加热机构到温度传感器的距离(沿着热流路的距离)变长，到当气体流量变化而温度传感器的测量温度变化时进行的冷却机构或加热机构的温度变化被传递给温度传感器为止花费时间，所以在温度传感器的设置场所、进而气体流路的温度容易发生过冲或下冲。因而，在此情况下，气体流路温度难以收敛于目标温度，所以为了使气体流路温度成为容许范围内，能够由真空泵稳定地排出的气体流量被限制。

5、此外，在上述的温度传感器被设置在冷却机构或加热机构的近旁的情况下，从气体流路到温度传感器的距离(沿着热流路的距离)变长，虽然难以发生温度传感器的设置场所处的过冲或下冲，但由温度控制带来的温度误差(即，实际的气体流路温度与温度传感器的测量温度的差量)变大，气体流量越变大，该温度误差越变大。因而，在此情况下，气体流路温度相对于目标温度的测量误差根据气体流量而变化，所以为了使气体流路温度成为容许范围内，能够由真空泵稳定地排出的气体流量同样被限制。

6、这样，因温度测量系统的特性，能够由真空泵稳定地排出的气体流量被限制。

7、本发明的目的是得到适当地进行气体流路的温度管理并减轻起因于温度管理的气体流量的限制的真空泵。

8、用来解决课题的手段

9、本发明所涉及的真空泵是借助转子的旋转将吸入的气体排出的真空泵，具备：温度调整机构，进行气体流路的温度调整；第1温度传感器，被配置在与温度调整机构相比靠近气体流路的位置；第2温度传感器，被配置在与气体流路相比靠近温度调整机构的位置；以及控制装置，基于第1温度传感器的传感器信号及第2温度传感器的传感器信号，对温度调整机构进行控制，以使气体流路的温度接近于规定的气体流路目标温度。

10、发明效果

11、根据本发明，得到适当地进行气体流路的温度管理并减轻起因于温度管理的气体流量的限制的真空泵。

12、本发明的上述或其他目的、特征及优越性，结合附图根据以下的详细的说明会变得更清楚。

技术特征：

1.一种真空泵，借助转子的旋转将吸入的气体排出，其特征在于，

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

技术总结
得到适当地进行气体流路的温度管理并减轻起因于温度管理的气体流量的限制的真空泵。冷却管(305)进行气体流路的温度调整。温度传感器(401)被配置在与冷却管(305)相比靠近气体流路的位置；温度传感器(402)被配置在与气体流路相比靠近冷却管(305)的位置；控制装置(200)基于温度传感器(401)的传感器信号及温度传感器(402)的传感器信号，对冷却管(305)(的开闭阀)进行控制，以使气体流路的温度接近于规定的气体流路目标温度。

技术研发人员：坂口祐幸
受保护的技术使用者：埃地沃兹日本有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/5