管以及使用该管的泵的制作方法

本发明涉及在流体输送中使用的管和泵。特别涉及如在蠕动泵这样的蠕动装置中使用的管那样，对于通过管的变形来控制管内的流体的流通是有用的管以及具备这样的管的泵。

背景技术：

1、近年来，不限于化学工业工厂、半导体制造装置，在制药/饮食品工厂也越来越要求耐久性优异的管。以往的管大多以静置的方式使用，但为了抑制制造空间而提高单位用地内的生产率，制造装置复杂地移动，其结果是，管自身发生各种变形来使用的情形增加。在这样的情况下，对于管，要求针对因弯曲、滑动或扭转产生的反复应力的机械耐性。

2、此外，作为其他方案，可以举例示出蠕动泵这样的蠕动装置。管被蠕动装置内的辊朝径向按压而变形之后，变形位置根据辊的移动而移动，由此输送流体(例如液体)。该蠕动泵与其他泵相比，能简化流路的结构，污染流体的可能性小。因此，大多用于食品、医疗设备等领域，近年来，也用于制造半导体时的光致抗蚀剂的送液。

3、作为用于这种蠕动泵的管，现有技术文献1(日本特表2002―502735)公开了一种具备多个拉伸膨胀聚四氟乙烯层的复合材料。该聚四氟乙烯层被至少一种弹性体浸渍，该浸渍的聚四氟乙烯层通过弹性体层粘接在一起。

4、现有技术文献2(国际公开号wo2017/094807)公开了一种管，所述管由内层、中间层以及外层构成，所述内层由浸渍有氟系弹性体的多孔质氟树脂形成，所述中间层由层叠于该内层的氟系弹性体形成，所述外层层叠于该中间层。通过将具有高的耐有机溶剂性的氟系弹性体作为内层、将具有优异的形状复原性的硅橡胶作为外层，来实现即使对有机溶剂进行送液也能长时间维持形状复原性的管。

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、上述那样的管与一般构成的管相比发挥高的耐久性，但要求进一步提高耐久性。

3、用于解决问题的方案

4、为了解决上述问题，提供例如具有以下的构成的管等。第一管的特征在于，其用于通过蠕动来输送流体的泵，其中，所述管具备：流路，成为所述流体的输送路径且沿第一方向延伸；以及主体部，形成于所述流路的周围，所述主体部包括：第一层，形成于所述流路上；以及第二层，具有与所述第一层不同的特性且形成于所述第一层上，在将所述第一层的弹性模量比r1设为所述第一层的所述第一方向上的拉伸弹性模量/所述第一层的周向上的拉伸弹性模量时，所述弹性模量比r1大于1。

5、第二管的特征在于，其用于通过蠕动来输送流体的泵，所述管具备：流路，成为所述流体的输送路径且沿第一方向延伸；以及主体部，形成于所述流路的周围，所述主体部包括：第一层，形成于所述流路上；以及第二层，具有与所述第一层不同的特性且形成于所述第一层上，所述第一层包括多个线状的纤维状物，所述第一层的多个线状的纤维状物与沿着所述周向的方向相比优先在沿着所述第一方向的方向取向。

技术特征：

1.一种管，用于通过蠕动来输送流体的泵，其中，

2.根据权利要求1所述的管，其中，

3.根据权利要求1或2所述的管，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的管，其中，

5.根据权利要求4所述的管，其中，

6.根据权利要求5所述的管，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的管，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的管，其中，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的管，其中，

10.根据权利要求1至9中任一项所述的管，其中，

11.根据权利要求1至4中任一项所述的管，其中，

12.根据权利要求11所述的管，其中，

13.一种管，用于通过蠕动来输送流体的泵，其中，

14.一种蠕动泵，其特征在于，具备：

15.一种流体的输送方法，其特征在于，

技术总结
本发明提供具备优异的长期可靠性的管。本发明的管的特征在于，具备：流路，成为流体的输送路径且沿第一方向延伸；以及主体部，形成于流路的周围，主体部包括：第一层，形成于流路上；以及第二层，具有与第一层不同的特性且形成于第一层上，在将第一层的弹性模量比R1设为第一层的第一方向上的拉伸弹性模量/第一层的周向上的拉伸弹性模量时，弹性模量比R1大于1。

技术研发人员：野内弘一
受保护的技术使用者：株式会社润工社
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16