专利名称：用于制备流体动压轴承的方法
技术领域：
本发明涉及用于制备无接触式承载旋转轴的流体动压轴承，其目的是通过尤其是在流体动压轴承的内周面(inner peripheral surface)和边缘表面上形成的四氧化三铁 (Fe3O4)膜，充分提高密封效果，该动压轴承由烧结金属制成，在轴承内周面上形成有用于产生动压的凹槽；并进而提高尺寸精度和动压效果，以及提高烧结金属的强度，因此，可提高电机的耐久性和旋转精度，并实现低噪音。
背景技术：
近年，随着AV设备和OA设备等精度提高，明显提高了对电机旋转精度的要求，例如尤其是用于以DVD和CD及更进一步的蓝光盘等为代表的硬盘驱动和光盘驱动的主轴电机、使用色轮(color wheel)电机的投影仪、LBP多角镜扫描仪电机、风扇电机，并要求实现低噪音，这样无接触承载电机轴的流体动压型轴承就引起了注意，以响应这些要求。通过在轴承的内周面和端表面上形成凹槽、并且在凹槽中充填润滑油，借此产生动压，流体动压型轴承就能够无接触地承载电机旋转轴。至于制备这些流体动压型轴承的方法，在很多情况下都要将坯料(材料)切割成轴承形状，然后在在其内周面上通过切割或轧制(rolling)而形成凹槽，所述坯料主要为诸如黄铜或不锈钢等冶炼材料。在选用黄铜作为流体动压型轴承坯料(材料)的情况下，虽然其切割性能出色，但由于电机因启动或停止、外部载荷、振动等原因要与电机轴瞬间接触，所以不但耐久性差， 而且由于与不锈钢制成的电机轴的膨胀系数的差异，所以因环境温度的变化而难以保持有效的间隙，这样，十分突出的问题是电机的使用环境温度范围很窄。在选用不锈钢作为轴承坯料(材料)的情况下，由于与电机轴接触而使其耐久性出色，并且因为膨胀系数的差异小，所以可以保持有效的间隙，但其在切割加工中有少许问题。在任何坯料中，在被切割成轴承形状的情况下，有必要通过NC车床、或机加工等进行很高精度的加工；因为在大规模生产及降低生产成本中有少许问题，因此开始考虑能以近终形(near-net-shape)加工轴承、并且可大批量地生产以降低成本的流体动压轴承。尤其是在使用粉末冶金方法制备的烧结金属作为坯料的情况下，因为选择金属材料的自由度高，不但可以选用与由不锈钢制成的电机轴的膨胀系数差异小的铁系材料，而且可以实施近终形工艺，这样可以省去将材料切割困难的坯料切割成轴承形状的方法，结果是可以有助于大批量生产及降低成本。然而，另一方面，因为粉末烧结金属坯料是由粉末金属制得的多孔固体，所以其在用于流体动压轴承的情况下有致命的问题，会导致作用在轴承内周面上的动压泄漏，以及必须用来产生稳定动压的油面的下降，原因在于电机轴和轴承内周面之间的间隙里所注入的正常量的油会渗透到多孔固体中。事实上，在通常的方法中，由于构成粉末烧结(powderintered)金属材料的金属颗粒间存在气隙，不可能消除连通孔隙的存在，轴承内部边缘表面(inner periphery surface)上产生的动压会通过连通孔隙泄漏，所以轴承的刚性会下降，这样会导致大问题，对旋转精度及进一步的电机寿命都会有负面影响，并且进一步使得控制油量非常困难。因此，用树脂浸渍粉末烧结的金属材料对气隙进行密封，这样的动压轴承已经有人提出(JP 8-221897 A)。其是在纯铁的情况下进行，用树脂浸渍粉末烧结的金属材料对气隙进行密封，然后在其上面实施涂层以弥补表面刚性的缺失。进一步地用诸如树脂、金属或玻璃的物质浸渍粉末烧结的金属材料对气隙进行密封之后，认为可以通过在轴承表面上使用金属颗粒或树脂颗粒进行喷丸(shot blast)处理，以使气隙的开口区域收缩。此外，还提出了一种流体动压轴承，其目的是通过对粉末烧结的金属材料进行蒸汽处理而在表面上对孔隙进行密封，由此改善表面粗糙度、耐腐蚀性和耐磨性能(JP 2007-57068 A)。
发明内容
然而，将主要由诸如黄铜或不锈钢的冶炼材料的坯料(材料)切割成轴承形状之后，在内周面通过切割或轧制加工凹槽的情况下，因为必须通过NC车床以极高的精度进行加工，所以不可避免成本会变得很高。在用树脂浸渍粉末烧结的金属材料的情况下，常常是以常规方法在轴承材料的表面上保留树脂浸渍材料。其它问题仍然存在，例如对尺寸精度容易有不良影响，并且，当树脂浸渍材料留在轴承材料的表面上时，难以在树脂表面上涂敷涂层；如果树脂浸渍之前的孔隙比较大，则涂布处理作为后加工往往会不很完美；并且进一步来说，遗留的涂敷液体易于产生金属腐蚀， 虽然为了弥补纯铁表面强度不足而使涂敷处理发生在轴承材料的表面上，但仍难以从孔隙中完全除去涂敷液体。此外，在进行树脂浸渍处理的情况下，虽然清洁工作必须在每件轴承材料上进行， 但是由于轴承材料大批量清洗时轴承材料自身之间的碰撞会产生擦痕，所以如果不想有擦痕，就必须对每件轴承材料进行单独清洁，这样成本会明显增加，并且浸渍树脂会与用于流体动压轴承元件的诸如润滑油的流体发生反应，从而进一步发生膨胀或收缩的情况，结果是可能引起质量和精度的问题。进一步，在树脂或其它物质浸渍到粉末烧结的金属材料中，对孔隙进行密封之后在轴承表面上进行喷丸处理加工的情况下，轴承的表面粗糙度通常会变差，这会存在这样一些问题，如不仅不适合用作流体动压轴承，而且有成本会变高等问题，因为尺寸精度变差，产品质量会相当不稳定，并进而要求单独进行用于除去留在轴承材料上的喷丸粉末的清洁过程。此外，由于对粉末烧结的金属材料进行蒸汽处理而在轴承表面上对孔隙进行密封，其表面粗糙度、耐腐蚀性和耐磨性能都会得到改善，在这样的流体动压轴承的情况下， 因为表面上的孔隙直径以及粉末烧结的金属材料的内部通常会有很大的变化，并且孔隙的密封效果也会有明显变化，难以保持稳定的动压，所以需要作为动态轴承发挥充分的作用。因此，本发明是为了解决现有技术中对尚有不足的粉末烧结的金属材料进行蒸汽处理时所得到的流体动压轴承的问题，其通过在其内周面和端面上形成四氧化三铁(Fe3O4) 膜而提高对孔隙的密封效果，并且能够进一步产生适于形成动压凹槽的流体动压轴承。具体地，本发明涉及制备由粉末烧结的金属制成的流体动压轴承的方法，用于产生动压的凹槽形成在轴承的内周面上，其中动压凹槽形成在由压制、成型以及烧结金属粉末形成的粉末烧结的金属材料上，该金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)的直径不超过45 μ m的颗粒，然后，经过蒸汽处理使四氧化三铁(Fe3O4)膜形成在其多孔表面上。如上所述，因为本发明是制备由粉末烧结的金属制成的流体动压轴承的方法，其中产生动压的凹槽形成在轴承的内周面上，其中动压凹槽形成在由压制、成型以及烧结金属粉末形成的粉末烧结的金属材料上，所述金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)的直径不超过45 μ m的颗粒，然后，经过蒸汽处理使四氧化三铁(Fe3O4)膜形成在其多孔表面上，所以，与仅仅在粉末烧结的金属材料上进行蒸汽处理的情况相比，不但可以完美地进行孔隙密封，而且轴承的表面结构可以得到极好改善，并且耐腐蚀性和耐磨性能可以进一步通过设计而得到提高。在此情况下，由于组成粉末烧结的金属材料的原料粉末颗粒的直径小并且比较平均，颗粒之间的缝隙也变小，并且小孔隙也均勻，结果，容易通过蒸汽处理密封表面上的孔隙，除了可以防止作用在轴承内周面上的动压渗漏，也可以对油量稳定控制，因为油不会浸渍到多孔材料中。此外，虽然铁基材料是在700-1300°C的范围内烧结，在使用金属粉末的粉末压紧成型的情况下，因为所述金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)的直径不超过45 μ m 的颗粒，金属粉末颗粒直径的平均值小，所以提高了烧结性能，这样用作流体动压轴承材料可以获得高的烧结强度。
图IA和IB所示为局部放大的视图，每个图显示了蒸汽处理后轴承的内周面的一面，其中图IA显示本发明的，图IB显示现有技术的；图2A和2B所示为局部放大的视图，每个图显示了烧结后蒸汽处理前轴承材料的金属截面图，其中图2A显示本发明的，图2B显示现有技术的；图3所示为金属粉末中直径不超过45 μ m的颗粒质量与通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的50%累积粒径(D50)之间的关系图；图4所示为金属粉末中直径不超过45 μ m的颗粒质量与粉末压紧成型材料的 Rattler值之间的关系图；图5所示为金属粉末中直径不超过45 μ m的颗粒质量与烧结后轴承材料的环压强度之间的关系图；以及图6所示为金属粉末中直径不超过45 μ m的颗粒质量与蒸汽处理后轴承的空气渗透率之间的关系图。
具体实施例方式在下文中描述了本发明的具体内容，本发明为用于制备由粉末烧结的金属制成的流体动压轴承的方法，其中用于产生动压的凹槽形成在轴承的内周面上。在此使用的金属粉末优选为含不低于98% (基于重量)铁成分的纯铁粉末或不锈钢粉，以使其与电机旋转轴的热膨胀系数的差异小，但不限于这些，只要其主要成分为铁材料，可通过蒸汽处理而形成四氧化三铁(Fe3O4)膜，并可以进一步得到孔隙的密封效果，这样的材料即可。
此外，金属粉末必须含有不低于70% (基于重量)、优选不低于80% (基于重量) 的直径不超过45 μ m的颗粒。在此情况下，当直径不超过45 μ m的颗粒少于70% (基于重量)时，因为烧结材料的孔径变得太大，即使进行蒸汽处理，也不足以或不能在轴承表面上实现孔隙密封。在此情况下，对于金属粉末的详细粒径，通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的 50%累积粒径(D50)低于20μπι时，不但在粉末压紧成型时难以将粉末装满到模具中，而且由于降低了的压紧粉末材料的强度，烧结过程会变差，这样有可能在轴承材料上产生裂纹和碎片。此外，相反地，当通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的50%累积粒径(D50)超过60 μ m时，因为烧结材料的孔径变得太大，将不能实现通过蒸汽处理在表面上密封孔隙。 相应地，通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的50%累积粒径(D50)必须在20 μ m-60 μ m 的范围内。对于以上提及的不超过45 μ m的颗粒质量与通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的50%累积粒径(D50)之间的关系，如图3所示，可以看出“粒径不超过45μπι的颗粒不低于70% (基于重量)”和“通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的50%累积粒径(D50) 在20-60 μ m的范围内”两者是互相对应的。在此情况下，金属粉末中直径不超过45μπι的颗粒质量与粉末坯块(power compact)的Rattler值之间的关系在图4中示出。如根据图4所能理解的，其显示了这样的趋势随着Rattler值变高以及进一步地粉末坯块强度的下降，粒径变小。因此，当直径不超过45 μ m的颗粒为100% (基于重量)[也即当50%累积粒径(D50)为20 μ m]时，对于稳定的生产而言粉末坯块的强度成了极低的最低强度。此此情况下当50%累积粒径(D50) 落在20 μ m以下时，有可能形成裂纹和碎片。以上提及的金属粉末与粉末润滑剂混合后，得到的混合物在粉末压紧成型(power compacting forming)中成型，然后进行烧结，所述润滑剂以硬脂酸锌或脂肪酸酰胺体系的蜡为代表。此外，优选在对金属粉末进行粒径调整、并增加了粉末流动性之后进行粉末压紧成型，该金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)的直径不超过45 μ m的颗粒，优选其至少不低于80% (基于重量)，并且通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的其50%累积粒径 (D50)为 20-60 μ m。以上制备的粉末坯块在700-1300°C内在诸如真空气氛和减压气氛或惰性气氛等下用网带烧结炉或间歇烧结炉烧结10-60分钟。优选根据相应所用的金属材料，有效选择烧结炉、烧结温度、气氛、烧结时间，这样可尽可能地控制烧结后对轴承材料尺寸精度的影响，但不限于这些条件。此外，在此情况下，金属粉末中直径不超过45 μ m的颗粒质量与烧结后轴承材料的环压强度之间关系的试验结果在图5中示出。在此情况下可清楚看出，当粒径较小时，烧结坯块(sintered compact)的烧结性能提高，并且环压强度也提高。进一步，由于粉末烧结的金属材料为多孔的，因为在用作流体动压轴承的情况下， 动压泄漏会使其容易产生压降，所以通过进行再压缩(粒径调整(sizing))，使相对密度提高到不低于80%，优选不低于85%，就可以减少烧结坯块内部及其表面上的孔隙质量或孔径。由于再压缩，可以同时实现尺寸精度弥补、材料表面粗糙度改善及表面孔隙控制。
加工并使产生动压的凹槽形成在由以上提及的粉末烧结的金属制成的材料上。形成产生动压的凹槽时可使用诸如切割或轧制的加工方法。进一步，为了在形成产生动压的凹槽后在轴承材料中密封多孔表面上的孔隙，要形成四氧化三铁(Fe3O4)膜。形成四氧化三铁时要进行蒸汽处理。在此情况下，对于蒸汽处理的条件而言，现有专利文献2 (JP 2007-57068A)等中所描述的内容可以适用。即使仅实施蒸汽处理而在现有的普通烧结金属材料表面上形成四氧化三铁膜，也难以在粉末烧结的金属材料表面上充分地密封孔隙，一些开口的孔会留下来，这样容易产生一些缺点，如难以控制以正常量注入到电机轴和轴承内周面之间间隙中的油量，因为油会被吸到多孔材料中，况且还会有作用在轴承内周面上的动压泄漏等情况。然而，像在本发明中使用金属粉末的情况下，所述金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)、更优选不低于80% (基于重量)的直径不超过45 μ m的颗粒质量，因为在粉末压紧成型和烧结后粉末烧结的金属材料的金属微粒之间的缝隙均勻并且极小，所以当约 5ym的四氧化三铁O^e3O4)膜通过进行蒸汽处理形成在多孔表面上时，孔隙密封的效果极大提高，这样可防止油被吸入烧结材料中及电机轴旋转时的动压渗漏，而且进而使形成用于产生动压的凹槽会变得容易，且凹槽尺寸的精度也可明显提高。事实上，蒸汽处理后轴承内周面的部分放大示意图在图IA和IB中示出，具体而言图IA所示为根据本发明的轴承，图IB所示为现有技术的轴承。在此情况下，虽然在金属部分1中会存在许多孔隙3，轴承中金属粉末之间的气隙较大(如图IB所示)，这样烧结材料内部和烧结材料表面上的孔隙3的直径会变大。结果是，即使通过蒸汽处理提供了形成在内周面上的四氧化三铁的膜4，因为孔隙 3的尺寸存在大的变化，且暴露在表面上的开口孔隙2没有得到充分密封，这样在轴承内部开口孔隙2会与孔隙3相通。相反地，在根据本发明的轴承中(图IA所示)，因为金属粉末之间的气隙较小，总体上每个孔隙3都小，所以就能够通过蒸汽处理所形成的四氧化三铁膜4容易地密封暴露在内周面上的开口孔隙，这样可以通过完全密封孔隙而防止与轴承内部孔隙3的连通。此外，烧结后金属材料的金属截面部分放大图在图2A和2B中示出。图2A所示为本发明的轴承材料，图2B所示为现有技术的轴承材料。由所述图可看出，本发明的轴承(图 2A所示)具有细小的颗粒和均勻的孔隙。使用金属粉末情况下蒸汽处理效果的试验结果在图6中显示，所述金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)、更优选80% (基于重量)的直径不超过45 μ m的颗粒。如从图6清晰可见，当金属粉末的粒径较小时，可促进通过蒸汽处理对轴承材料表面上的孔隙进行密封，因此防止与轴承内部的孔隙的连通、以及降低空气渗透率可得到支持。如上所述，因为本发明中金属粉末包括至少不低于70% (基于重量)、更优选不低于80% (基于重量)的直径不超过45μπι的颗粒，通过在内周面和端面上形成四氧化三铁 (Fe53O4)膜，可以充分提高孔隙的密封效果，并且可以更进一步地提高尺寸精度和动压效果， 可以设计增加烧结强度，因此可以提高电机的耐久性和旋转精度，并降低噪音。[实施方案][金属粉末]金属粉末为纯铁粉末，其包括不低于98 %的铁成分，并且其直径不超过150 μ m ；分别制备包括60% (基于重量)、70% (基于重量)、80% (基于重量)、90% (基于重量)、 100% (基于重量)的直径不超过45μπι的多种金属粉末，并进一步向其中混入0. 75% (基于重量)的硬脂酸锌。[粉末压紧成型]在250_350MPa的焊接压力下进行粉末压紧成型，并且进行有效调整，由此获得相对密度不低于80%的粉末压紧密度。[烧结]使用网带型的炉在混合了氢和氮的空气流中在1000°C的气氛温度下烧结20分钟。[粒径调整]烧结后对轴承材料进行再压，直到模具中的相对密度变得不低于85%。[凹槽加工]在粒径调整后的轴承材料中，产生动压的凹槽形成在电机轴滑动并与其接触的内表面的表面部分上。[蒸汽处理]在加工凹槽后的轴承材料中，在400-600°C温度下进行25_80分钟的蒸汽处理。[发现结果]在根据以上方法制备的轴承中，当金属粉末中直径不超过45 μ m的颗粒质量为 60% (基于重量)时，四氧化三铁(Fe3O4)膜形成所产生的孔隙密封的效果不足，渗透体积会高达Scm3以上，但是当颗粒质量超出70% (基于重量)时，表面孔隙变得均勻而细小，这样形成的四氧化三铁(Fe3O4)膜所产生的孔隙密封效果变高，渗透体积可明显降低到不超过 3cm3。此外，当直径不超过45 μ m的颗粒质量超出70% (基于重量)时，与60% (基于重量)的情况相比，可明显提高材料的表面粗糙度，这样人们发现其有助于促进形成产生动压的凹槽以及提高尺寸精度。此外，如图5所示，随着直径不超过45 μ m的颗粒质量的进一步增加，轴承材料的环压强度(kgf/mm2)进一步提高，这样人们发现还可以提高轴承组装的可靠性。如上所述，根据本发明，通过在流体动压轴承的内周面和两个端面上形成四氧化三铁Pe3O4)膜，由烧结金属组成并且在内周面上有产生动压的凹槽的所述流体动压轴承可充分提高孔隙的密封效果，并可在增加烧结强度的同时进一步提高尺寸精度和动压效果，这样就可以提高电机的耐久性和旋转精度，并且实现低噪音，从而可以获得极佳的流体动压轴承。
权利要求
1.一种制备由粉末烧结的金属制成的流体动压轴承的方法，其中用于产生动压的凹槽在所述轴承的内周面上形成，该方法包括压紧金属粉末以得到轴承材料，所述金属粉末包括至少不低于70重量％的直径不超过45 μ m的颗粒，烧结所述轴承材料，在所述烧结轴承材料上形成用于产生动压的凹槽，以及对含所述凹槽的所述烧结轴承材料进行蒸汽处理，在内表面的多孔表面上或内表面和两个端面的多孔表面上形成四氧化三铁(Fe3O4)膜。
2.权利要求1的制备流体动压轴承的方法，其中通过压紧金属粉末和使金属粉末成型而得到所述轴承材料，所述金属粉末包括至少不低于80重量％的直径不超过45 μ m的颗粒。
3.权利要求1的制备流体动压轴承的方法，其中通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的所述金属粉末的50%累积粒径(D50)为 20 μ m-60 μ m。
4.权利要求2的制备流体动压轴承的方法，其中通过激光束衍射系统粒径分析仪测得的所述金属粉末的50%累积粒径(D50)为 20 μ m-60 μ m。
5.权利要求1的制备流体动压轴承的方法，其中通过造粒方法控制金属粉末的粒径，然后对粒径控制过的金属粉末进行压紧和成型， 所述金属粉末包括至少不低于70重量％的直径不超过45 μ m的颗粒。
6.权利要求2的制备流体动压轴承的方法，其中通过造粒方法控制金属粉末的粒径，然后对粒径控制过的金属粉末进行压紧和成型， 所述金属粉末包括至少不低于80重量％的直径不超过45 μ m的颗粒。
7.权利要求3的制备流体动压轴承的方法，其中通过造粒方法控制金属粉末的粒径，然后对粒径控制过的金属粉末进行压紧和成型， 所述金属粉末包括至少不低于70重量％的直径不超过45 μ m的颗粒。
8.权利要求4的制备流体动压轴承的方法，其中通过造粒方法控制金属粉末的粒径，然后对粒径控制过的金属粉末进行压紧和成型， 所述金属粉末包括至少不低于80重量％的直径不超过45 μ m的颗粒。
9.权利要求1的制备流体动压轴承的方法，其中所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
10.权利要求2的制备流体动压轴承的方法，其中所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
11.权利要求3的制备流体动压轴承的方法，其中所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
12.权利要求4的制备流体动压轴承的方法，其中所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
13.权利要求5的制备流体动压轴承的方法，其中所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
14.权利要求6的制备流体动压轴承的方法，其中 所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
15.权利要求7的制备流体动压轴承的方法，其中 所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
16.权利要求8的制备流体动压轴承的方法，其中 所述金属粉末为包括98重量％铁成分的铁粉或不锈钢粉。
17.权利要求1的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
18.权利要求2的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
19.权利要求3的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
20.权利要求4的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
21.权利要求5的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
22.权利要求6的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
23.权利要求7的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
24.权利要求8的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
25.权利要求9的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
26.权利要求10的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
27.权利要求11的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
28.权利要求12的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
29.权利要求13的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
30.权利要求14的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
31.权利要求15的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
32.权利要求16的制备流体动压轴承的方法，其中在烧结后对烧结粉末金属材料实施再压方法，然后形成用于产生动压的所述凹槽。
全文摘要
一种制备由粉末烧结金属制成的流体动压轴承的方法，其中用于产生动压的凹槽形成在内周面上，其目的是促进在轴承材料表面上形成四氧化三铁(Fe3O4)膜，该方法包括压紧金属粉末以得到轴承材料，该金属粉末包括至少不低于70重量％的直径不超过45μm的颗粒；烧结所述轴承材料；在所述烧结轴承材料上形成产生动压的凹槽；和对含所述凹槽的所述烧结轴承材料进行蒸汽处理，以便在内表面的多孔表面或内表面和两个端面的多孔表面上形成四氧化三铁(Fe3O4)膜，这样颗粒间的间隙变小，原因是粉末烧结轴承材料的材料粉末的颗粒直径接近均匀且细小，且孔隙均匀，结果由于蒸汽处理而容易在表面上使孔隙密封，且动压不会泄漏。
文档编号F16C33/14GK102345677SQ20111003809
公开日2012年2月8日 申请日期2011年2月12日 优先权日2010年8月2日
发明者田边重之, 竹崎阳二, 麻生忍 申请人:保来得株式会社