技术特征:
技术总结
一种流量控制阀,其具有:阀座,其具有在上端部具有封闭面的内筒部和高度比内筒部的高度高的外筒部;以及阀芯,其沿着与阀座的封闭面垂直的方向进行开闭动作,利用能气密地嵌合的为彼此独立的构件的内筒构件和外筒构件构成内筒部和外筒部。由此,能够对内筒部的封闭面进行加工以使其平滑,利用该流量控制阀,能够比以往更精确地控制较少的流量范围的气体的流量。优选阀座的封闭面的算术平均粗糙度为100纳米以下。
技术研发人员:佐佐木龙;岩吉亮一
受保护的技术使用者:日立金属株式会社
技术研发日:2017.09.29
技术公布日:2019.05.24