闸阀门的安装构造的制作方法

本发明涉及在半导体制造装置等中，例如用于将用于使工艺腔和输送腔之间等两个腔之间选择性地连通或气密地隔断的闸阀门固定地安装在两腔之间的安装构造。

背景技术：

例如，在半导体制造装置的基板处理装置中，如在专利文献1及专利文献2中公开的那样，通过在相互邻接的工艺腔和输送腔之间装配闸阀门，能够使这些腔之间选择性地连通或隔断。

此时，上述闸阀门是将板状阀门收容于在相互相向的侧壁上分别具有闸开口的空心的阀箱内而成的闸阀门，使该阀门在阀箱内在沿着上述侧壁的方向及与该侧壁接触、分离的方向移动，对上述闸开口进行开闭，由此，能够使这些闸开口之间连通或隔断。

另一方面，上述两个腔分别具有用于由机械臂等将工件放入该腔内或从该腔内取出的腔开口，上述闸阀门相对于上述两个腔，在使上述闸开口与腔开口连接的状态下，由螺栓等固定部件分别气密地固定。

但是，在这样夹着闸阀门连结两个腔时，存在使多个闸阀门相互邻接地安装在这些腔之间的情况。

然而，最近，有进行腔的小型化的要求，在该情况下，若如上述的那样欲将多个闸阀门并列地固定在两个小型化的腔之间，则邻接的闸阀门的阀箱之间的间隙变得非常狭窄。因此，在将闸阀门相对于一方的腔固定后，欲将其也相对于另一方腔固定，将配置在邻接的阀箱之间的间隙中的特别是中央部分上的固定部件紧固是极其困难的。这是因为，工具难以到达，而且能够操作工具的区域也被限制为狭窄的范围内，其结果，存在在上述闸阀门和上述另一方腔之间不能充分确保气密性的危险。

[先行技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本特开2012-197476号公报

专利文献2：日本特开2013-128117号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

因此，本发明的技术课题在于，提供一种在将多个闸阀门固定地安装在两个腔之间时，可确保更优异的气密性的该闸阀门的安装构造。

为了解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明是一种闸阀门的安装构造，该闸阀门的安装构造是用于使多个闸阀门相互邻接地固定地安装在分别开设了多个腔开口的第一腔及第二腔之间的构造，其特征在于，上述闸阀门具有空心的阀箱、阀芯和阀驱动部，该空心的阀箱具备一对闸开口，该阀芯通过在该阀箱内动作对上述一对闸开口之间的连通进行开闭，该阀驱动部使该阀芯动作，上述阀箱具有开设上述闸开口且相互背向的一对侧壁面和将这些侧壁面的两侧端彼此互相连结且相互背向的一对侧端面，在将上述一对闸开口分别与上述第一及第二腔的腔开口连接而将上述一对侧壁面分别相对于上述第一及第二腔气密地压接的状态下，相对于该第一及第二腔双方固定，在相互邻接的闸阀门的阀箱中的相互相向的上述侧端面之间形成了固定用空间，该固定用空间具有沿着上述侧壁面的侧端的轴，该轴方向的第一端及第二端开口，从这些相向的侧端面朝向上述固定用空间分别直立设置了沿上述轴延伸的一对突壁，在该固定用空间内收容了用于将上述闸阀门相对于第二腔固定的阀门固定机构，上述阀门固定机构由支承部件、一对杆部件和一对固定操作用部件构成，该支承部件在上述固定用空间的轴方向中央部被固定在上述第二腔中，该一对杆部件具备被压接于该支承部件中的朝向上述第二腔侧的支承部的支点部、与上述一对突壁抵接并使推压力朝向上述第二腔侧作用的作用点部及朝向上述第二腔侧被加力的力点部，该一对固定操作用部件在上述力点部向各杆部件加力并且朝向第二腔侧推压上述一对突壁，上述一对杆部件在夹着上述支承部件的上述轴方向的两侧将上述力点部与上述作用点部相比分别配置在上述第一端及第二端的开口侧。

在上述闸阀门的安装构造中，优选上述支承部件由从上述第二腔直立设置的支柱部和从该支柱部朝向上述第一端及第二端的开口侧延伸的一对凸缘部构成，在这些凸缘部中的朝向上述第二腔侧的面上分别形成了上述支承部。

另外，更优选上述杆部件中的朝向上述第二腔侧的面被形成为使该杆部件的厚度沿着轴从上述支点部侧的端部到上述作用点部逐渐扩大的倾斜面，上述支点部中的杆部件的厚度形成得比上述支承部件的支承部和上述一对突壁中的该作用点部抵接的被推压面之间的垂直距离小。

而且，进而优选上述一对突壁的被推压面分别由沿着轴的平坦面构成，上述杆部件具有沿着轴从该作用点部延伸到上述力点部侧的端部的平坦的推压面，该推压面与上述被推压面抵接，朝向第二腔侧推压上述一对突壁。

在这里，也可以上述支承部件的支承部被形成为与上述一对突壁的被推压面平行的平坦面，上述杆部件的支点部被形成为与上述推压面平行的平坦面。

进而，在上述闸阀门的安装构造中，优选上述固定用操作部件是固定操作用螺栓，上述固定操作用螺栓被穿插到开设于上述杆部件的力点部的贯通孔中，与形成于上述第二腔的螺纹孔进行螺纹结合，由此，将力点部朝向第二腔侧加力，并且上述杆部件由上述作用点部和力点部与上述一对突壁抵接，朝向第二腔侧推压该突壁。

此时，更优选上述固定用操作螺栓由形成了外螺纹的螺纹主体部和与该螺纹主体部结合且具有比该螺纹主体部大的外径的螺纹头部构成，上述杆部件的贯通孔被形成为在轴方向延伸的长孔，具有比上述螺纹头部的外径小的宽度，上述杆部件的力点部由上述螺纹头部朝向第二腔侧加力。

另外，更优选上述一对突壁分别具有由沿着轴的平坦面构成并使上述作用点部抵接的被推压面，上述杆部件具有沿着轴从该作用点部延伸到上述力点部侧的端部的平坦的推压面，该推压面与上述被推压面抵接，朝向第二腔侧推压上述一对突壁。

在这里，也可以是上述支承部件的支承部被形成为与上述一对突壁的被推压面平行的平坦面，上述杆部件的支点部被形成为与上述推压面平行的平坦面。

发明的效果

如上所述，根据本发明，在将多个闸阀门并列地固定地安装在两个腔之间时，在形成在邻接的阀箱之间的固定用空间中设置阀门固定机构，该阀门固定机构由支承部件、一对杆部件和一对固定操作用部件构成，该支承部件被配置在上述固定用空间的轴方向中央部，该一对杆部件具有支点部、作用点部及力点部，使上述支承部件支承该支点部，与作用点部相比将力点部配置安装在上述固定用空间的轴方向两端部侧，该一对固定操作用部件在上述力点部向各杆部件加力并且将各阀箱的突壁朝向第二腔侧推压。因此，在被配置在上述轴方向两端部侧的力点部，由固定操作用部件朝向第二腔侧推压上述各突壁，另外，在轴方向中间部，也由杠杆的原理，杆部件的作用点部与上述一对突壁抵接，使推压力朝向第二腔侧作用。因此，不仅在固定用空间的轴方向两端部，在中间部也能够在使阀箱的侧壁面相对于第二腔气密地压接的状态下将多个闸阀门相对于第二腔固定。其结果，可将两个腔和相互邻接地被配置在这些腔之间的多个闸阀门在确保了更优异的气密性的状态下连结。

附图说明

图1是表示有关本发明的闸阀门的安装构造的一个实施方式的概略的主要部分侧剖视图。

图2是图1中的a-a剖视图。

图3是图2中的仰视图。

图4是省略了在图1中用于将闸阀门相对于第二腔固定的各种部件的概略的b-b剖视图。

图5是图4中的c-c剖视图。

图6(a)是图2中的w部的放大图，(b)是图3中的x部的放大图。

图7(a)是图2中的y部的放大图，(b)是图3中的z部的放大图。

图8是本发明中的闸阀门的概略的局部剖主视图。

图9是本发明中的闸阀门的概略的局部剖后视图。

图10(a)及(b)是支承部件的立体图。

图11(a)及(b)是杆部件的立体图。

图12是示意性地表示由阀门固定机构将闸阀门向第二腔固定的原理的概略的主要部分剖视图，表示由阀门固定机构进行的固定前的状态。

图13是示意性地表示由阀门固定机构将闸阀门向第二腔固定的原理的概略的主要部分剖视图，表示由阀门固定机构进行的固定后的状态。

具体实施方式

为了实施发明的方式

下面，使用附图，对有关本发明的闸阀门的安装构造的一个实施方式详细地进行说明。图中，符号1表示作为输送腔的第一腔，符号5表示作为工艺腔的第二腔。而且，如图1-5所示，这些腔1、5都被形成为空心，在第一腔1内形成了用于将半导体基板等工件向上述第二腔5内外运入运出的运送空间2，在第二腔5内形成了用于对上述工件在真空环境下进行工艺处理的处理空间6。

这些第一及第二腔1、5分别具有外表面3a、7a由平坦面构成的第一及第二腔壁3、7，在第一腔壁3上并列地开设了贯通到上述第一腔1的运送空间2内的两个第一腔开口3b、3b，在第二腔壁7上并列地开设贯通到上述第二腔5的处理空间6内的两个(即与上述第一腔开口3b、3b数量相同)第二腔开口7b、7b。此时，这些第一腔开口3b、3b及这些第二腔开口7b、7b均形成为大致同形同大的大致矩形，分别并列设置在长度方向，形成在邻接的第一腔开口3b、3b之间的间隙和形成在邻接的第二腔开口7b、7b之间的间隔形成得相互大致相等。

在本实施方式中，具有这样的结构的第一及第二腔1、5被配置成上述第一腔壁3的外表面3a和第二腔壁7的外表面7a夹着规定空隙相互平行地相向。其结果，上述两个第一腔开口3b、3b和上述两个第二腔开口7b、7b被配置成分别相互相向地成对。而且，在形成在上述第一腔1和第二腔5之间的空隙中，相互邻接地配置了用于分别将上述第一腔开口3b、3b和第二腔开口7b、7b的各对气密地连接的两个闸阀门10、10，这些闸阀门10、10分别相对于上述第一腔壁3及第二腔壁7固定地安装。

上述闸阀门10，如图1、图8及图9所示，由空心的阀箱11、阀芯21、阀驱动部22和阀轴23构成，该空心的阀箱11开设了第一及第二闸开口12a、13a，在内部形成了阀空间11a；该阀芯21通过在该阀空间11a内动作对上述一对闸开口12a、13a之间的连通进行开闭(即，使这些闸开口12a、13a之间通过阀空间11a连通或气密地隔断)；该阀驱动部22用于使该阀芯21动作；该阀轴23在轴l1方向延伸设置，将上述阀芯21及阀驱动部22相互连结。

下面更具体地进行说明。上述阀箱11具有第一及第二侧壁面12b、13b、第一及第二侧端面14a、16a和第一及第二周端面18a、20a，该第一及第二侧壁面12b、13b在该阀箱11的表面(即，朝向外方的面)上分别开设了第一及第二闸开口12a、13a，相互背向；该第一及第二侧端面14a、16a将这些侧壁面12b、13b中的位于与上述轴l1正交的长度方向(图中为水平方向)两端的两侧端彼此连结，相互背向；该第一及第二周端面18a、20a将上述一对侧壁面12b、13b中的位于上述轴l1方向(图中为上下方向)两端的两周端彼此连结，相互背向。

而且，上述一对侧壁面12b、13b、一对侧端面14a、16a及一对周端面18a、20a由分别贯穿地设置了上述第一及第二闸开口12a、13a的第一及第二阀门侧壁12、13；将上述一对阀门侧壁12、13中的位于上述长度方向两端的两侧端部彼此连结的第一及第二侧端壁14、16；和将上述一对阀门侧壁12、13中的位于上述轴l1方向两端的两周端部彼此连结的第一及第二周端壁18、20形成。此时，上述一对阀门侧壁12、13、一对侧端壁14、16及一对周端壁18、20分别相向地配置成经上述阀空间11a相互平行。

上述阀芯21被形成为比上述第二闸开口13a大的大致矩形的板状，在朝向上述第二阀门侧壁13侧的密封面的外周部设置了相对于该阀门侧壁13的内面接触分离的环状的密封部件21a。另外，在此阀芯21的长度方向的中央，由作为固定部件的螺栓23a从该阀芯21的与上述密封面相反的背面侧固定了上述阀轴23的轴l1方向的前端部。另一方面，该阀轴23的轴l1方向的基端部侧气密且滑动自由地贯通上述第二周端壁20而与上述阀驱动部22连结。

在这里，上述阀驱动部22被设置在轴l1上，在与轴l1正交的方向，该阀驱动部22的宽度尺寸形成得比阀箱11的宽度尺寸小。另外，该阀驱动部具有阀驱动机构(省略图示)，所述阀驱动机构通过驱动上述阀轴使上述阀芯21向堵塞位置(在图1及图9中用实线表示的位置)和避让位置(在图1及图9中用双点划线表示的位置)移动，该堵塞位置是气密地堵塞第二闸开口13a而将第一及第二腔1、5之间(即，运送空间2和处理空间6之间)的连通气密地隔断的位置；该避让位置是使上述第一及第二闸开口12a、13a之间连通而使上述第一及第二腔1、5之间连通的位置。另外，因为该阀驱动机构是周知的阀驱动机构，所以在这里详细的说明省略。

而且，具有这样的结构的两个相同的闸阀门10、10在将它们的上述第一及第二闸开口12a、13a分别与被开设于上述第一及第二腔1、5上的两对第一及第二腔开口3b、7b连接的状态下，由后述的构造相对于该第一及第二腔1、5双方固定。此时，在上述第一腔壁3和第一阀门侧壁12之间设置了环状的密封部件3c，以便将上述第一腔开口3b及第一闸开口12a包围，另外，在第二腔壁7和第二阀门侧壁13之间设置了环状的密封部件13c，以便将上述第二腔开口7b及第二闸开口13a包围。由此，上述第一及第二阀门侧壁12、13中的整体由平坦面构成的各侧壁面12b、13b和上述第一及第二腔壁3、7中的整体同样由平坦面构成的各外表面3a、7a成为相互气密地被压接的状态。

接着，对上述两个闸阀门10、10的相对于上述第一及第二腔1、5的安装构造具体地进行说明。

首先，如图4、图5及图9所示，在各闸阀门10的阀箱11中的上述第一及第二侧端壁14、16上，分别设置三个固定孔15及第一定位孔17，该三个固定孔15贯通上述第二侧壁面13b和第一侧壁面12b之间，用于使第一固定螺栓8穿插；该第一定位孔17在上述第一侧壁面12b上开口，用于使定位销9的一端侧嵌合。此时，上述三个固定孔15沿上述侧端壁14、16的长度方向(图中为上下方向)呈直线状地配置在其一端部(图中为上端部)、另一端部(图中为下端部)及其中间部。另外，上述第一定位孔17被设置在配置于上述一端部及中间部的两个固定孔15、15的中间。

上述固定孔15由在上述第二侧壁面13b上开口的大径部15a和在第一侧壁面12b上开口的小径部15b形成，上述第一固定螺栓8由螺纹头部8a和螺纹主体部8b构成，该螺纹头部8a与上述小径部15b相比为大径，且轴方向长度比上述大径部15a小；该螺纹主体部8b形成了外螺纹，与上述小径部15b相比为小径，且轴方向长度比该小径部15b大。

另一方面，在上述第一腔1的腔壁3中的与上述固定孔15及第一定位孔17对应的位置，开设了用于使上述第一固定螺栓8进行螺纹结合的固定螺纹孔3d及用于使上述定位销9的另一端侧嵌合的第二定位孔3e。

即，使上述定位销9分别从两端与各闸阀门10中的上述第一及第二侧端壁14、16的各第一定位孔17、17和上述第一腔壁3的第二定位孔3e、3e嵌合，将各闸阀门10相对于第一腔壁3定位。此时，上述第一腔开口3b和上述第一闸开口12a处于相互重叠地一致的状态。而且，上述第一固定用螺栓8从与上述第二腔壁7相接的第二侧壁面13b侧穿插在各闸阀门10中的上述第一及第二侧端壁14、16的各固定孔15中，并且与第一腔壁3的上述固定螺纹孔3d进行螺纹结合，将上述各闸阀门10、10相对于上述第一腔壁3气密地固定。

另一方面，在相互邻接的两个闸阀门10、10中的相互相向的上述侧端面14a、16a之间，如图2及图6所示，具有沿上述阀门侧壁12、13的侧端延伸的上下方向的轴l2，并且形成了该轴l2方向的第一端24a及第二端24b分别开口的截面大致矩形的固定用空间24。该固定用空间24如图3及图6所示，由相互相向的上述一对侧端面14a、16a和相互相向的上述第一及第二腔壁3、7的外表面3a、7a这四个面划分为截面大致四边形的筒状。而且，从上述一对侧端面14a、16a，分别朝向上述固定用空间24内呈直角地直立设置以沿上述轴l2的方式延伸的第一及第二突壁25、26。

另外，从在第一侧端面14a上直立设置了上述第一突壁25的一方的阀箱11的第二侧端面16a(在图2中为左侧的闸阀门的第二侧端面)，朝向与上述第一突壁25相反的外方同样呈直角地直立设置了第三突壁27。同样，从在第二侧端面16a直立设置了上述第二突壁26的另一方阀箱11的第一侧端面14a(图2中为右侧的闸阀门的第一侧端面)，朝向与上述第二突壁26相反的外方呈直角地直立设置了第四突壁28。进而，从各闸阀门10的上述第一周端面18a，也朝向外方呈直角地直立设置了以沿其长度方向的方式延伸的第五突壁19。

这些突壁19、25-28都是用于由后述的夹具部件29及阀门固定机构32将闸阀门10、10的阀箱11、11相对于第二腔5固定的结构，与上述第二侧壁面13b成为齐平面(即，构成第二侧壁面13b的一部分)地直立设置。而且，通过使上述夹具部件29及阀门固定机构32分别与这些突壁19、25-28卡合，将该突壁19、25-28朝向上述第二腔壁7侧推压，且相对于该腔壁7的外表面7a压接。其结果，将上述阀箱11、11相对于上述第二腔壁7气密地固定。

在这里，上述突壁19、25-28具有在其前端朝向第一腔壁3侧呈直角地折曲的相同的大致l字的截面形状。即，在上述突壁19、25-28的前端部形成了朝向上述第一腔壁3侧突出设置的突条p。而且，在该突条p和阀箱11的各端面14a、16a、18a之间形成了朝向第一腔壁3侧开口的被卡合槽g，其底面与上述第二侧壁面13b平行，形成了由上述夹具部件29及阀门固定机构32推压的被推压面g1。

上述夹具部件29，如图7所示，由夹具主体30和用于将该夹具主体30相对于第二腔壁7固定的第二固定螺栓31构成。上述夹具主体30，具有用于使上述第二固定螺栓31穿插的贯通孔30a及突出设置在与该贯通孔30a正交的侧方并且前端以与该贯通孔30a平行的方式朝向第二腔壁7侧折曲的大致l字状的钩爪部30b。在该钩爪部30b的前端形成朝向上述第二腔壁7侧与上述被卡合槽g的被推压面g1抵接的推压面30c。另外，上述第二固定螺栓31由与上述贯通孔30a相比为大径的螺纹头部31a和与该贯通孔30a相比为小径，且形成了外螺纹的螺纹主体部31b构成。进而，在上述第二腔壁7上，在安装上述夹具部件29的位置分别开设用于使上述第二固定螺栓31进行螺纹结合的多个固定螺纹孔7c。

而且，在使上述夹具主体30的钩爪部30b与被配置在上述一对阀箱11、11的外围的突壁即第三突壁27、第四突壁28及第五突壁19的上述突条p及被卡合槽g卡合的状态下，上述第二固定螺栓31被穿插于贯通孔30a，与上述固定螺纹孔7c进行螺纹结合。其结果，上述钩爪部30b前端的推压面30c与上述被卡合槽g的被推压面g1抵接，朝向第二腔壁7推压第三突壁27、第四突壁28及第五突壁19，由此，将上述第二阀门侧壁13的侧壁面13b相对于第二腔壁7的外表面7a压接。另外，在本实施方式中，上述夹具部件29，如图2所示，在第三突壁27、第四突壁28及第五突壁19中，分别被安装在长度方向的两端部及中央部共三个部位，但不限定于此，也可以在各突壁中安装在共四个部位以上。

但是，如图6所示，上述阀门固定机构32是被收容在上述固定用空间24内并且朝向第二腔壁7侧推压同样被配置在该固定用空间24内的上述第一及第二突壁25、26的结构。具体地说，此阀门固定机构32如图6、图10、图12及图13所示，具有支承部件33和一对杆部件37、37，该支承部件33在上述固定用空间24中的轴l2方向的中央部被固定在上述第二腔壁7上，该一对杆部件37、37被配置在该支承部件33的轴l2方向两侧，由使该支承部件33支承支点部37a的杠杆的原理朝向第二腔壁7侧分别推压上述突壁25、26双方。

上述支承部件33由支柱部34和一对凸缘部35、35构成，该支柱部34在上述第一及第二突壁25、26的前端之间相对于上述第二腔壁7由第三固定螺栓36直接固定，朝向第一腔壁3侧直立设置；该一对凸缘部35、35分别从该支柱部34的前端部朝向上述固定用空间24的第一端24a侧及第二端24b侧相互向反方向延伸。而且，这一对凸缘部35、35中的与上述第二腔壁7的外表面7a相向的面，分别形成了用于使上述一对杆部件37、37的后述的各支点部37a抵接而进行支承的支承部(支承面)35a。

在这里，在上述支承部件33的支柱部34的中央，在与上述轴l2正交的方向贯穿地设置了贯通孔34a。另外，上述第三固定螺栓36由与上述贯通孔34a相比为大径的螺纹头部36a和与该贯通孔34a相比为小径且形成了外螺纹的螺纹主体部36b构成。进而，在上述第二腔壁7上，在安装上述支承部件33的位置开设了用于使上述第三固定螺栓36进行螺纹结合的固定螺纹孔7d。而且，在使上述支柱部34与上述第二腔壁7的外表面7a抵接的状态下，上述第三固定螺栓36穿插于贯通孔34a中与上述固定螺纹孔7d进行螺纹结合，由此，将上述支承部件33相对于第二腔壁7固定。

另一方面，上述一对杆部件37、37具备支点部37a、一对作用点部37b和力点部37c，该支点部37a上述一对杆部件37、37相对于上述支承部件33中的一对凸缘部35、35的各支承部35a从第二腔壁7侧朝向第一腔壁3侧被压接；该一对作用点部37b相对于上述第一及第二突壁25、26的被推压面g1通过抵接使推压力分别从第一腔壁3侧朝向第二腔壁7侧作用；该力点部37c从第一腔壁3侧朝向第二腔壁7侧由后述的固定用操作部件40加力。而且，这些杆部件37、37，在夹着上述支承部件33的上述轴l2方向两侧，将上述力点部37c与上述作用点部37b相比分别配置在上述第一端24a及第二端24b的开口侧，被装配在上述固定用空间24内。另外，上述第一及第二突壁25、26的被推压面g1被形成为沿着轴l2的平坦面，与同样由平坦面构成的上述支承部件33的支承面35a平行。

因此，如图13所示，下面基于将闸阀门10、10由阀门固定机构32相对于第二腔5气密地固定的状态更具体地进行说明。上述各杆部件37由块状的杆主体部38和从该杆主体部38的两侧端以沿着轴l2的方式相互背向地直立设置的一对杆卡合部39、39一体地形成，在轴l2方向两端分别具有前端部37d及后端部37e。

上述杆主体部38具有与轴l2平行地相互背向的第一面38a及第二面38b，在该杆主体部38中的上述第一面38a和第二面38b之间贯穿地设置了用于使作为上述固定用操作部件40的固定用操作螺栓穿插的贯通孔38c。在这里，上述第一面38a与第一腔壁3的外表面3a大致平行地相向，上述第二面38b与第二腔壁7的外表面7a大致平行地相向。另外，上述一对杆部件37、37分别将它们的前端部37d、37d配置安装在上述支承部件33侧，使各前端部37d的第一面38a分别作为由平坦面构成的上述支点部37a与上述支承部件33的各支承面35a抵接。另外，上述贯通孔38c被形成为在轴l2方向长的长孔，该贯通孔38c周围形成了由上述固定用操作螺栓40加力的上述力点部37c。另外，在上述第一面的轴l2方向的上述支点部37a和上述力点部37c之间(与贯通孔38c之间)，形成了在与轴l2正交的宽度方向横穿上述杆部件37的凹槽37g。

上述一对杆卡合部39、39是从上述杆主体部38的两侧端中的靠近上述第一面38a的位置与该第一面38a成为齐平面地在与上述贯通孔38c正交的方向分别突出设置的结构，在它们的前端部分别形成了以与上述贯通孔38c平行的方式朝向上述第二面38b侧(即，第二腔壁7侧)折曲的卡合突部39a。而且，在该卡合突部39a的前端，形成了朝向上述第二腔壁7侧与上述支点部37a平行的推压面39b，该推压面39b与上述第一及第二突壁25、26的被推压面g1抵接。此时，在上述一对杆卡合部39、39的卡合突部39a、39a和上述杆主体部38的两侧端之间，分别形成了朝向第二腔壁7侧开口的卡合槽39c、39c。而且，通过将上述第一及第二突壁25、26的突条p收容在该卡合槽39c、39c内，上述一对突壁25、26和上述一对杆卡合部39、39相互卡合。

进而，在上述杆部件37的前端部37d侧，朝向上述第二腔5侧的面被形成为从该前端部37d朝向后端部37e侧(沿着轴l2)将厚度逐渐扩大的倾斜面37f。即，在轴l2方向，上述杆部件37的第二面38b形成得比第一面38a短，与该第二面38b相比，前端部37d侧由上述倾斜面37f形成为楔状。

这样，通过将上述支点部37a中的杆部件37的厚度形成得比上述支承部件33的支承面35a和上述一对突壁25、26的各被推压面g1之间的垂直距离小，能够将该杆部件37的支点部37a插入上述支承面35a和第一及第二突壁25、26的被推压面g1之间。而且，此倾斜面37f和上述一对杆卡合部39、39中的推压面39b、39b的边界成为与第一及第二突壁25、26分别对应的上述作用点部37b、37b。即，在上述杆部件37中，上述推压面39b、39b由从该作用点部37b、37b延伸到上述后端部37e(力点部侧的端部)为止的平坦面形成。

另外，上述固定用操作螺栓40由与作为长孔的上述贯通孔38c的宽度相比为大径的螺纹头部40a和与该贯通孔38c的宽度相比为小径且形成了外螺纹的螺纹主体部40b构成。而且，在上述第二腔壁7上，在与上述贯通孔38c对应的位置即上述固定用空间24中的上述第一端24a及第二端24b的开口附近，分别开设了用于使上述固定用操作螺栓40进行螺纹结合的两个固定螺纹孔7e。另外，至少在由上述固定用操作螺栓40相对于杆部件37加力前的状态下，上述支点部37a，即第一面38a和上述一对杆卡合部39、39中的各推压面39b之间的垂直距离形成得比上述支承部件33的支承面35a和上述一对突壁25、26的各被推压面g1之间的垂直距离稍大。

下面，对使上述两个闸阀门10、10以相互邻接的状态固定地安装在上述第一腔1和第二腔5之间的方法进行说明。首先，如图4及图5所示，使上述定位销9的两端部分别与被开设在各阀箱11的第一及第二侧端壁14、16上的各第一定位孔17和被开设在第一腔壁3上的各第二定位孔3e嵌合。通过这样做，在使第一腔1的两个腔开口3b、3b和两个闸阀门10、10的各第一闸开口12a一致的状态下，将这些闸阀门10、10相对于第一腔壁3定位。而且，分别将第一固定螺栓8从第二腔壁7的外表面7a侧穿插到同样在第一及第二侧端壁14、16上各贯穿设置了三个的上述固定孔15中，分别与被开设在上述第一腔壁3上的对应的固定螺纹孔3d进行螺纹结合。由此，将这两个闸阀门10、10在相互邻接的状态下相对于上述第一腔壁3气密地固定。

接着，在被开设在上述第二腔5上的两个腔开口7b、7b之间，由第三固定螺栓36将上述阀门固定机构32的支承部件33固定在第二腔壁7上。而且，做成使该第二腔5的两个腔开口7b、7b和两个闸阀门10、10的各第二闸开口一致的状态。在该状态下，如图2及图7所示，使多个夹具部件29相对于被配置成将这些成对的闸阀门10、10的周围包围的第三突壁27、第四突壁28及第五突壁19、19的每一个，至少在长度方向的两端部及其中间部共三个部位卡合，并由上述第二固定螺栓31相对于第二腔壁7固定。其结果，成为由上述夹具部件29朝向第二腔壁7侧推压上述第三突壁27、第四突壁28及第五突壁19、19的状态，将一对闸阀门10、10相对于该第二腔壁7临时固定。此时，在上述阀箱11、11之间形成了规定宽度的上述固定用空间24。另外，由此夹具部件29进行的闸阀门10的固定作业，通过形成于第一腔壁3和第二腔壁7之间的闸阀门10的厚度的量的隙间来进行。

接着，在上述固定用空间24中，由上述阀门固定机构32使朝向第二腔壁7侧的推压力相对于上述第一及第二突壁25、26作用，并且将上述一对闸阀门10、10相对于该第二腔壁7正式固定。此作业通过上述固定用空间24的第一端24a及第二端24b的开口进行。

具体地说，首先，如图12所示，将包括上述一对杆部件37、37的支点部37a在内的前端部37d插入支承部件33的支承面35a和第一及第二突壁25、26的被推压面g1之间。此时，如上所述，因为上述杆部件中的支点部37a和各推压面39b之间的垂直距离形成得比上述支承部件33的支承面35a和上述第一及第二突壁25、26的被推压面g1之间的垂直距离稍大，所以上述杆部件37成为其前端部37d与后端部37e相比被配置在第二腔壁7侧的前倾状态。在此前倾状态下，上述倾斜面37f和上述一对推压面39b、39b的边界分别作为上述作用点部37b与上述第一及第二突壁25、26的各被推压面g1抵接。

而且，若使上述固定用操作螺栓40分别穿插中这些杆部件37、37的各贯通孔38c中，由从上述第一端24a及第二端24b的开口插入的工具逐渐拧紧，则将上述杆部件37的力点部37c由其螺纹头部40a朝向第二腔侧被加力(推压)。此时，因为上述固定用操作螺栓40分别被配置在上述固定用空间24内的第一端24a及第二端24b的开口附近，所以确保了用于由工具操作固定用操作螺栓所需要的区域。

若这样对上述力点部37c加力，则由杠杆的原理，杆部件37的各作用点部37b、37b朝向第二腔壁7侧推压第一及第二突壁25、26。而且，如图13所示，若将上述固定用操作螺栓40充分紧固，则在上述作用点部37b及上述力点部37c双方，上述一对推压面39b、39b分别与上述第一及第二突壁25、26的各被推压面g1抵接，朝向第二腔壁7侧推压这些突壁25、26。其结果，将上述闸阀门10、10相对于第二腔5也气密地固定。

如上所述，在本实施方式中，在形成于相互邻接的闸阀门10、10的阀箱11、11之间的固定用空间24中，阀门固定机构32的固定用操作螺栓40被配置在轴l2方向两端部，即上述第一端24a及第二端24b的开口附近。而且，上述固定用操作螺栓40在上述力点部37c中朝向第二腔壁7侧对上述杆部件37加力，同时，通过该杆部件37朝向第二腔壁7侧推压上述第一及第二突壁25、26。

即，除了上述固定用空间24的轴l2方向两端部以外，还在其中间部由杠杆的原理通过杆部件37向上述第一及第二突壁25、26的各被推压面g1作用了朝向第二腔壁7侧的推压力。因此，不仅在固定用空间24的轴l2方向两端部，在中间部也能够在使第二阀门侧壁13的侧壁面13b相对于第二腔壁7的外表面7a气密地压接的状态下将上述闸阀门10、10相对于第二腔5固定。

其结果，可将第一及第二腔1、5和相互邻接地被配置在这些腔1、5之间的两个闸阀门10、10在确保了更优异的气密性的状态下连结。

上面，对有关本发明的闸阀门的安装构造的一个实施方式详细地进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围当然可进行各种各样的设计变更。

例如，在上述实施方式中，对第一及第二腔1、5中的腔开口3b、7b的数量、闸阀门10的数量分别是两个的情况进行了叙述，但不限定于此，也可以是三个以上。另外，就上述阀门固定机构32中的支承部件33、杆部件37的形态而言，在将上述支点部37a、作用点部37b及力点部37c按照上述那样的顺序配置的范围中，也可以采用各种各样不同的形态。

符号的说明

1：第一腔(输送腔)；3：第一腔壁；3b：第一腔开口；5：第二腔(工艺腔)；7：第二腔壁；7b：第二腔开口；10：闸阀门；11：阀箱；12a：第一闸开口；12b：第一侧壁面；13a：第二闸开口；13b：第二侧壁面；14a：第一侧端面；16a：第二侧端面；21：阀芯；22：阀驱动部；23：阀轴；24：固定用空间；24a：第一端；24b：第二端；25：第一突壁；26：第二突壁；32：阀门固定机构；33：支承部件；34：支柱部；35：凸缘部；35a：支承部(支承面)；37：杆部件；37a：支点部；37b：作用点部；37c：力点部；37d：前端部；37e：后端部；37f：倾斜面；38：杆主体部；38a：第一面；38b：第二面；38c：贯通孔；39:杆卡合部；39a：卡合突部；39b：推压面；39c：卡合槽；40：固定用操作部件(固定用操作螺栓)；40a：螺纹头部；40b：螺纹主体部；l1：轴(shaft)；l2：轴(固定用空间的轴)；p：突条；g：被卡合槽；g1：被推压面。