阀门及排水装置的制作方法

本发明涉及阀门结构设计技术领域，尤其是涉及一种阀门及排水装置。

背景技术：

在半导体晶圆制造工艺过程中，晶圆需要经过多步骤的清洗，晶圆的洁净度对后续加工的合格率有较大影响；通常在后续加工的每一道工艺进行之前，以及工艺完成之后，须对晶圆进行一次清洗，以清除附着在晶圆表面上的材料磨削微粒和化学液残留等；目前，在晶圆的清洗洁净过程中，快速排水清洗法是广为使用的一种晶圆清洗方式；快速排水清洗法是先将晶圆完全浸泡于清洗槽的去离子水中，再快速地排除清洗槽中的去离子水，与此同时，利用喷嘴对晶圆喷洒去离子水，以达到清洗晶圆的目的；

现有的和清洗槽相配合的阀门，阀门的入口始终和清洗槽的排放口连通，只具有对清洗槽内的清洗液进行单一排放的功能，当清洗槽完成对晶圆的清洗工艺后，清洗槽内的清洗液通过阀门直排到废水排放系统或者回收系统。

但是现有技术中的和晶圆清洗槽配合的阀门结构简单，功能单一，不能实现对可回收的清洗液和废弃的清洗液进行选择性排放，不利于清洗液的回收和重复利用，资源浪费严重。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种阀门及排水装置，以缓解现有技术中的阀门结构简单、功能单一的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案在于：

本发明提供的阀门，包括第一移动部、移动密封组件、第二移动部、内部密封部和阀座组件；

阀座组件设置有第一容置腔，第一移动部设置于第一容置腔内，移动密封组件设置于阀座组件的一端，第一移动部伸出第一容置腔的一端与移动密封组件连接，第一移动部用于带动移动密封组件往复移动；

移动密封组件上设置有进液口，阀座组件远离移动密封组件的一端设置有第一出液口，进液口与第一出液口连通；

阀座组件设置有第二容置腔，第二移动部设置于第二容置腔内，内部密封部设置于移动密封组件和阀座组件之间，且第二移动部伸出第二容置腔的一端与内部密封部连接，第二移动部用于带动内部密封部往复移动，以将进液口打开或关闭。

进一步的，移动密封组件包括外部密封部和连接部；

外部密封部设置于阀座组件的一端，连接部设置于外部密封部和第一移动部之间，且连接部的一端与外部密封部连接，另一端与第一移动部连接，第一移动部通过连接部带动外部密封部往复移动，外部密封部上设置有进液口。

进一步的，阀座组件包括阀座主体、挡水部和导流部；

第一容置腔和第二容置腔均设置于阀座主体内，挡水部与阀座主体靠近外部密封部的一端连接导流部与阀座主体远离挡水部的一端连接，第一出液口设置于导流部上。

进一步的，阀门还包括第一密封圈和第二密封圈；

第一密封圈设置于挡水部和阀座主体之间；

第二密封圈设置于导流部和阀座主体之间。

进一步的，阀门还包括第一堵头和第二堵头；

第一堵头和第二堵头分别设置于第一容置腔和第二容置腔靠近导流部的一端。

进一步的，阀门还包括第一进气部和第二进气部；

第一进气部和第二进气部均设置于阀座主体的外表面上，且第一进气部和第二进气部分别与第一容置腔和第二容置腔连通。

进一步的，第一进气部包括第一气孔和第二气孔；

第一气孔和第二气孔均设置于阀座主体的外表面上，第一气孔和第二气孔均与第一容置腔连通；

当第二气孔向第一容置腔输送气体时，第一移动部带动外部密封部向远离导流部的方向移动，当第一气孔向第一容置腔输送气体时，第一移动部带动外部密封部向靠近导流部的方向移动。

本发明提供的排水装置，包括水槽、固定组件和阀门；

水槽的一侧与固定组件连接，水槽靠近固定组件的一端设置有第二出液口；

固定组件内设置有安装空间，阀门设置于安装空间内，且阀门与固定组件连接，第一移动部可带动移动密封组件朝向靠近水槽的方向移动，以使移动密封组件与水槽抵接，以将第二出液口与进液口连通，以使水槽内的液体通过阀门流出。

进一步的，固定组件包括固定部和固定板；

固定部与水槽的一侧连接，固定部内设置有安装空间，固定板与固定部远离水槽的一端连接，阀门与固定板连接，固定板上设置有通孔，出液管穿过通孔与第一出液口连通。

进一步的，移动密封组件上设置有凸起部，进液口设置于凸起部上，凸起部上设置有第三密封圈；

第一移动部能够带动凸起部朝向靠近水槽的方向移动，以使凸起部伸入到第二出液口内，第三密封圈用于将凸起部和第二出液口之间密封。

结合以上技术方案，本发明达到的有益效果在于：

本发明提供的阀门，包括第一移动部、移动密封组件、第二移动部、内部密封部和阀座组件；阀座组件设置有第一容置腔，第一移动部设置于第一容置腔内，移动密封组件设置于阀座组件的一端，第一移动部伸出第一容置腔的一端与移动密封组件连接，第一移动部用于带动移动密封组件往复移动；移动密封组件上设置有进液口，阀座组件远离移动密封组件的一端设置有第一出液口，进液口与第一出液口连通；阀座组件设置有第二容置腔，第二密封部设置于第二容置腔内，内部密封部设置于移动密封组件和阀座组件之间，且第二移动部伸出第二容置腔的一端与内部密封部连接，第二移动部用于带动内部密封部往复移动，以使内部密封部与移动密封组件抵接或分离，以将进液口打开或关闭；由于第二移动部能够带动内部密封部往复移动，使得内部密封部与移动密封组件接触或者分离，以改变进液口的打开或者关闭状态，第一移动部能够带动移动密封组件移动，也即能够改变进液口和外界水槽之间的距离，进而能够改变外界水槽和阀门之间的流通关系；缓解了现有技术中的阀门结构简单、功能单一的技术问题，实现了对阀门结构的优化，阀门的进液口与外界水槽之间的距离可变的技术效果。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚的说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的阀门的整体结构示意图；

图2为本发明实施例提供的阀门的爆炸图；

图3为本发明实施例提供的阀门的内部结构示意图；

图4为本发明实施例提供的排水装置的整体结构示意图；

图5为本发明实施例提供的排水装置的爆炸图。

图标：100-第一移动部；110-第一容置腔；200-移动密封组件；210-外部密封部；211-凸起部；212-进液口；220-连接部；300-第二移动部；310-第二容置腔；400-内部密封部；500-阀座组件；510-阀座主体；511-液体流动通道；520-挡水部；530-导流部；531-第一出液口；600-第一密封圈；610-第二密封圈；620-第一堵头；630-第二堵头；700-第一进气部；701-第一气孔；702-第二气孔；710-第二进气部；800-水槽；810-储液腔；820-第二出液口；900-固定组件；910-固定部；911-安装空间；920-固定板；930-第三密封圈；940-出液管。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

图1为本实施例提供的阀门的整体结构示意图；图2为本实施例提供的阀门的爆炸图；图3为本实施例提供的阀门的内部结构示意图；图4为本实施例提供的排水装置的整体结构示意图；图5为本实施例提供的排水装置的爆炸图。

如图1-图3所示，本实施例提供了一种阀门，包括第一移动部100、移动密封组件200、第二移动部300、内部密封部400和阀座组件500；阀座组件500设置有第一容置腔110，第一移动部100设置于第一容置腔110内，移动密封组件200设置于阀座组件500的一端，第一移动部100伸出第一容置腔110的一端与移动密封组件200连接，第一移动部100用于带动移动密封组件200往复移动，移动密封组件200上设置有进液口212，阀座组件500远离移动密封组件200的一端设置有第一出液口531，进液口212与第一出液口531连通；阀座组件500设置有第二容置腔310，第二移动部300设置于第二容置腔310内，内部密封部400设置于移动密封组件200和阀座组件500之间，第二移动部300伸出第二容置腔310的一端与内部密封部400连接，第二移动部300用于带动内部密封部400往复移动，以将进液口212打开或关闭。

具体的，阀座组件500内设置有第一容置腔110，第一容置腔110设置为圆柱形腔室，第一移动部100包括活塞杆和活塞座，活塞杆和活塞座设置为一体成型，第一容置腔110构成第一移动部100的活塞移动腔，第一移动部100的活塞杆靠近活塞座的一端以及活塞座设置于第一容置腔110内，活塞座上设置有凹槽，凹槽内设置有密封圈，活塞座通过密封圈与第一容置的内壁相配合；移动密封组件200设置于阀座组件500的一端，第一移动部100伸出第一容置腔110的一端通过销轴与移动密封组件200连接，在第一容置腔110的顶部还设置有环形凹槽，环形凹槽内嵌套有密封圈，上述密封圈与第一移动部100的活塞杆的外表面相配合，以在第一容置腔110内形成密封环境，第一移动部100用于带动移动密封组件200往复运动；阀座组件500和移动密封组件200之间设有进液腔，移动密封组件200上开设有圆形进液口212，进液口212与进液腔连通；阀座组件500内设置有液体流动通道511，液体流动通道511设置为轮廓为扇形的凹槽，阀座组件500远离移动密封组件200的一端设置有第一出液口531，第一出液口531通过液体流动通道511与进液腔连通，液体可依次经过进液口212、进液腔、液体流动通道511，最终从第一出液口531流出；内部密封部400设置于进液腔内，阀座组件500内还设置有第二容置腔310，第二容置腔310的形状及与第二移动部300之间的密封结构与第一容置腔110相同，第二移动部300的整体结构也和第一移动部100的整体结构相同，第二移动部300的一端伸入到第二容置腔310内，第二移动部300的另一端伸出第二容置腔310与内部密封部400连接，第二移动部300用于带动内部密封部400朝向靠近或者远离移动密封组件200的方向运动，以使内部密封部400与移动密封组件200抵接或分离，以将进液口212打开或者关闭；第一移动部100可带动进液口212移动，第二移动部300可带动内部密封部400移动，进而实现了本实施例提供的阀门的进液口212可相对于外界水槽的出液口移动。

本实施例提供的阀门，包括第一移动部100、移动密封组件200、第二移动部300、内部密封部400和阀座组件500；阀座组件500设置有第一容置腔110，第一移动部100设置于第一容置腔110内，移动密封组件200设置于阀座组件500的一端，第一移动部100伸出第一容置腔110的一端与移动密封组件200连接，第一移动部100用于带动移动密封组件200往复移动，移动密封组件200上设置有进液口212，阀座组件500远离移动密封组件200的一端设置有第一出液口531，进液口212与第一出液口531连通；阀座组件500设置有第二容置腔310，第二移动部300设置于第二容置腔310内，内部密封部400设置于移动密封组件200和阀座组件500之间，第二移动部300伸出第二容置腔310的一端与内部密封部400连接，第二移动部300用于带动内部密封部400往复移动，以将进液口212打开或关闭；由于第二移动部300能够带动内部密封部400往复移动，使得内部密封部400与移动密封组件200接触或者分离，以改变进液口212的打开或者关闭状态，第一移动部100能够带动移动密封组件200移动，也即能够改变进液口212和外界水槽之间的距离，进而能够改变外界水槽和阀门之间的流通关系；缓解了现有技术中的阀门结构简单、功能单一的技术问题，实现了对阀门结构的优化，阀门的进液口212与外界水槽之间的距离可变的技术效果。

在上述实施例的基础上，本实施例提供的阀门中的移动密封组件200包括外部密封部210和连接部220；外部密封部210设置于阀座组件500的一端，连接部220设置于外部密封部210和第一移动部100之间，连接部220的一端与外部密封部210连接，另一端与第一移动部100连接，第一移动部100通过连接部220带动外部密封部210往复移动，外部密封部210上设置有进液口212，外部密封部210、连接部220和阀座组件500之间设有进液腔。

具体的，连接部220设置于外部密封部210和第一移动部100之间，外部密封部210通过螺钉与连接部220连接，连接部220靠近第一移动部100的一端设置有凹槽，第一移动部100的顶部设置有通孔，第一移动部100的顶部伸入到凹槽内，连接销伸入到连接部220内并穿过第一移动部100顶部的通孔，以将第一移动部100和连接部220连接，使得第一移动部100可通过连接部220带动外部密封部210往复移动；外部密封部210上设置有圆形进液口212。

进一步的，阀座组件500包括阀座主体510、挡水部520和导流部530；第一容置腔110和第二容置腔310均设置于阀座主体510内，挡水部520与阀座主体510靠近外部密封部210的一端连接。

具体的，阀座主体510设置为圆柱形结构，第一容置腔110和第二容置腔310均设置于阀座主体510内，液体流动通道511也设置于阀座主体510内，且液体流动通道511贯穿阀座主体510；阀座主体510夹设在挡水部520和导流部530之间，且挡水部520设置于阀座主体510靠近外部密封部210的一端，挡水部520和导流部530均通过螺钉与阀座主体510连接，外部密封部210、连接部220、挡水部520和阀座主体510之间设有进液腔。

此外，挡水部520设在连接部220的外侧，挡水部520和连接部220之间设置有一定间隙，在本实施例提供的阀门的设计过程中，第一移动部100带动连接部220移动到上止点时，连接部220的最低位置不会超出挡水部520的最高位置，外部密封部210在上下移动的过程中也不会与挡水部520产生干涉；本实施例提供的阀门在使用过程中也会保证呈竖直状态安装，也即第一移动部100的轴线和水平面垂直，保证了进液腔内的液体从第一出液口531排出而不会从连接部220和挡水部520之间的缝隙溢出；连接部220的外表面还可套设密封圈，连接部220带动密封圈沿挡水部520的外壁移动。

本实施例提供的阀门，通过连接部220的两端分别与外部密封部210和第一移动部100连接，进液口212设置于外部密封部210上，第一移动部100可带动进液口212移动，进而可以改变进液口212与外界水槽800的排放口的配合关系；挡水部520设置于阀座主体510靠近外部密封部210的一端，挡水部520和导流部530均通过螺钉与阀座主体510连接，使得本实施例提供的阀门的各部分结构之间便于组装和连接。

在上述实施例的基础上，本实施例提供的阀门还包括第一密封圈600和第二密封圈610；第一密封圈600设置于挡水部520和阀座主体510之间；第二密封圈610设置于导流部530和阀座主体510之间。

具体的，第一密封圈600和第二密封圈610均设置为o型橡胶密封圈，阀座的两端分别设置有环形凹槽，且环形凹槽的深度小于橡胶密封圈的横截面直径，第一密封圈600和第二密封圈610分别嵌入到两个环形凹槽内，第一密封圈600将挡水部520和阀座主体510之间密封，第二密封圈610将导流部530和阀座主体510之间密封，以防进液腔内的液体从上述部件的连接缝隙之间泄漏。

进一步的，阀门还包括第一堵头620和第二堵头630；第一堵头620和第二堵头630分别设置于第一容置腔110和第二容置腔310靠近导流部530的一端。

具体的，第一堵头620和第二堵头630分别设置于第一容置腔110和第二容置腔310靠近导流部530的一端，第一堵头620和第二堵头630均可通过粘接或者过盈配合的方式与阀座主体510连接，第一堵头620和第二堵头630分别用于限制第一移动部100和第二移动部300移动的下止点。

进一步的，阀门还包括第一进气部700和第二进气部710；第一进气部700和第二进气部710均设置于阀座主体510的外表面上，且第一进气部700和第二进气部710分别与第一容置腔110和第二容置腔310连通；其中，第一进气部700包括第一气孔701和第二气孔702；第一气孔701和第二气孔702均设置于阀座主体510的外表面上，第一气孔701和第二气孔702均与第一容置腔110连通；当第二气孔702向第一容置腔110输送气体时，第一移动部100带动外部密封部210向远离导流部530的方向移动，当第一气孔701向第一容置腔110输送气体时，第一移动部100带动外部密封部210向靠近导流部530的方向移动。

具体的，第一进气部700和第二进气部710均设置于阀座主体510的外表面上，且第一进气部700和第二进气部710分别与第一容置腔110和第二容置腔310连通，第一进气部700的结构和第二进气部710的结构设置为相同，第一进气部700和第二进气部710分别与外界的气管连接，以实现第一移动部100和第二移动部300的往复运动；第一进气部700包括第一气孔701和第二气孔702，第一气孔701和第二气孔702均设置在阀座主体510的外表面上，且第一气孔701设置于阀座主体510靠近挡水部520的一端，也即第一气孔701与第一容置腔110的顶部一端连通；第二气孔702设置于阀座主体510靠近导流部530的一端，也即导流部530和第一容置腔110的底部一端连通；当外界气管通过第一气孔701向第一容置腔110内输送气体时，第一移动部100通过连接部220带动外部密封部210朝向靠近导流部530的方向移动，直至第一移动部100和第一堵头620抵接；当外界气管通过第二气孔702向第一容置腔110输送气体时，第一移动部100带动外部密封部210朝向远离导流部530的方向移动，直至第一移动部100的活塞座上升至第一容置腔110的顶部；第二移动部300的往复运动原理与第一移动部100相同。

本实施例提供的阀门，通过第一密封圈600设置于挡水部520和阀座主体510之间，第二密封圈610设置于导流部530和阀座主体510之间，实现了挡水部520和阀座主体510以及导流部530和阀座主体510之间的可靠密封；第一堵头620和第二堵头630分别设置与第一容置腔110和第二容置腔310靠近导流部530的一端连接，有效限定了第一移动部100和第二的活塞运动的下止点位置；第一进气部700和第二进气部710可与外界气管连接，为第一移动部100和第二移动部300的往复移动提供了动力来源。

在上述实施例的基础上，本实施例提供的一种排水装置，包括水槽800、固定组件900和阀门；水槽800的一侧与固定组件900连接，水槽800靠近固定组件900的一端设置有第二出液口820；固定组件900内设置有安装空间911，阀门设置于安装空间911内，且阀门与固定组件900连接，第一移动部100可带动移动密封组件200朝向靠近水槽800的方向移动，以使移动密封组件200与水槽800抵接，以将第二出液口820与进液口212连通，以使水槽800内的液体可通过阀门流出。

其中，固定组件900包括固定部910和固定板920；固定部910与水槽800的一侧连接，固定部910内设置有安装空间911，固定板920与固定部910远离水槽800的一端连接，阀门与固定板920连接，固定板920上设置有通孔，出液管940穿过通孔与第一出液口531连通。

具体的，如图4和图5所示，水槽800内设置有储液腔810，储液腔810内设置有清洗液，水槽800的一端通过焊接的方式与固定部910连接，水槽800靠近固定部910的一端开设有圆形的第二出液口820，固定部910内设置有阀门的安装空间911，阀门设置于安装空间911内，固定板920设置在固定部910远离水槽800的一端，固定板920可通过螺栓与固定部910连接，且阀门通过螺钉与固定板920连接，以将阀门固定在安装空间911内；第一移动部100可带动外部密封部210朝向靠近或远离水槽800的方向移动，以使外部密封部210与水槽800抵接或者分离，以将第二出液口820与进液口212连通或者使得第二出液口820远离阀门的进液口212；固定板920上设置有通孔，出液管940穿过通孔与第一出液口531连通，以方便将进液腔内的液体通过出液管940排出。

进一步的，移动密封组件200上设置有凸起部211，进液口212设置于凸起部211上，凸起部211上设置有第三密封圈930；第一移动部100能够带动凸起部211朝向靠近水槽800的方向移动，以使凸起部211伸入到第二出液口820内，第三密封圈930用于将凸起部211和第二出液口820之间密封。

具体的，外部密封部210上设置有凸起部211，阀门的进液口212设置在凸起部211上，凸起部211靠近外部密封部210的一端设置有环形凹槽，第三密封圈930嵌入到环形凹槽内，第三密封圈930设置为o型橡胶密封圈，环形凹槽的深度小于密封圈的截面直径；第一移动部100通过外部密封部210带动凸起部211朝向靠近水槽800的方向移动，以使外部密封部210与水槽800抵接，以将凸起部211伸入到第二出液口820内，使得储液腔810内的液体依次通过第二出液口820、阀门和出液管940流出。

本实施例提供的排水装置，阀门与固定板920连接，固定板920与固定部910连接，阀门通过固定板920固定在安装空间911内，固定板920所在平面与水平面平行；首先，当水槽800内的清洗液不需要排放时，通过第一进气部700和第二进气部710分别往第一容置腔110和第二容置腔310输送气体，使得外部密封部210带动凸起部211朝向靠近水槽800的方向移动，以使凸起部211伸入到水槽800的第二出液口820内，以将进液口212和第二出液口820连通，同时，第二移动部300带动内部密封部400朝向靠近外部密封部210的方向移动，以使内部密封部400与外部密封部210抵接，以将进液口212关闭；其次，当水槽800内的清洗液需要回收时，上述的第一移动部100的状态不变，改变第二进气部710的充气方向，使得第二移动部300带动内部密封部400朝向远离内部密封部400的方向移动，以将阀门的进液口212打开，使得水槽800内的清洗液依次通过第二出液口820、进液口212、进液腔、液体流动通道511、第一出液口531和出液管940排放至回收系统；最后；当水槽800内的洗涤液经过重复使用不需回收而需要直接排放时，改变第一进气部700的充气方向，使得第一移动部100带动外部密封部210朝向远离水槽800的方向移动，以使水槽800内的清洗液直接从第二出液口820排出，水槽800的底部设置有废弃清洗液的收集装置，此时第一移动部100和第二移动部300均处于下止点，阀门的进液口212处于关闭状态；综上，本实施例提供的阀门与晶圆清洗用水槽800相配合，可实现对清洗液的多种排放方式，使用方便，清洗液使用效率高，有利于资源的节约和重复利用。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。