一种真空气压调节装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种真空气压调节装置。


背景技术：

[0002]
气压是作用在单位面积上的大气压力，即等于单位面积上向上延伸到大气上界的垂直空气柱的重量，著名的马德堡半球实验证明了它的存在，气压的国际制单位是帕斯卡，简称帕，符号是pa，从分子动理论可知，气体的压强是大量分子频繁地碰撞容器壁而产生的，单个分子对容器壁的碰撞时间极短，作用是不连续的，但大量分子频繁地碰撞器壁，对器壁的作用力是持续的、均匀的，这个压力与器壁面积的比值就是压强大小。
[0003]
目前，现有的气压调节装置是通过设置两个有限联通管，两个有限联通管之间是通过调节阀进行开启和关闭的，采用调控阀时时反馈调节的功能，可实现内外压差不随腔室压力波动的效果，但结构和控制方式都相对复杂，且气体扩散速度增加不均匀性，导致空气中的杂质对产品污染，但腔室压力有波动时，无法实现内外压差的恒定，因此需要对该气压调节装置进行改进。


技术实现要素：

[0004]
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空气压调节装置，具备现内外压差不随腔室压力波动和可通过更换盖板调节和精确控制内外压差的优点，解决了现有的气压调节装置是通过设置两个有限联通管，两个有限联通管之间是通过调节阀进行开启和关闭的，采用调控阀时时反馈调节的功能，可实现内外压差不随腔室压力波动的效果，但结构和控制方式都相对复杂，且气体扩散速度增加不均匀性，导致空气中的杂质对产品污染，但腔室压力有波动时，无法实现内外压差的恒定，因此需要对该气压调节装置进行改进问题。
[0005]
本实用新型提供如下技术方案：一种真空气压调节装置，包括外腔室，所述外腔室内部设置有内腔室，且所述内腔室与所述外腔室固定连接，所述内腔室底端设置有有限联通管，且所述有限联通管与所述内腔室固定连接，所述有限联通管内部设置有盖板，且所述盖板与所述有限联通管滑动连接，所述外腔室一端设置有外腔室进气口，且所述外腔室进气口与所述外腔室固定连接，所述内腔室一端设置有内腔室进气口，且所述内腔室进气口与所述内腔室固定连接。
[0006]
优选的，所述有限联通管为有底管状结构，和所述内腔室直接相连，所述有限联通管底部部分镂空，镂空部分和所述外腔室相连。
[0007]
优选的，所述有限联通管的材质为钢材，且该钢材为不锈钢。
[0008]
优选的，所述盖板为圆形薄板，所述盖板的材质选用金属，且该金属为不锈钢或铝。
[0009]
优选的，所述盖板状态和所述内腔室和所述外腔室的压差，所述有限联通管的镂空面积与所述外腔室的重量有关。
[0010]
优选的，所述盖板受力平衡时，有公式为p*s＝mg，其中p是内外腔室压差，s是所述
有限联通管的镂空面积，m是所述盖板的质量，g是重力常数。
[0011]
与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
[0012]
1、该一种真空气压调节装置，通过设置限联通管，有限联通管为有底管状结构，和内腔室直接相连，底部部分镂空，镂空部分和外腔室相连，盖板为圆形薄板，可盖在有限联通管的镂空部分，且可以自由上下移动，盖板下落将有限联通管的镂空部分盖住，内外腔隔绝(或有微小泄漏)，盖板状态和内腔室和外腔室压差，有限联通管镂空面积及盖板重量有关，当压差较大时，推动盖板上升，压差较小时盖板下落，可以实现内外压差恒定，而不随腔室压力变化，因此增加了该真空气压调节装置的实用性。
[0013]
2、该一种真空气压调节装置，通过设置盖板，当有限联通管的镂空面积不变时，通过更换盖板部件可任意调整内腔室和外腔室的压差，可通过更换盖板调节和精确控制内腔室和外腔室的压差，因此增加了该真空气压调节装置的实用性。
附图说明
[0014]
图1为本实用新型结构示意图；
[0015]
图2为本实用新型的原装置系统结构示意图；
[0016]
图3为本实用新型的现装置系统结构示意图。
[0017]
图中：1、盖板；2、有限联通管；3、内腔室；4、内腔室进气口；5、外腔室进气口；6、外腔室。
具体实施方式
[0018]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0019]
请参阅图1-3，一种真空气压调节装置，包括外腔室6，外腔室6内部设置有内腔室3，且内腔室3与外腔室6固定连接，内腔室3底端设置有有限联通管2，且有限联通管2与内腔室3固定连接，有限联通管2的材质为钢材，且该钢材为不锈钢，有限联通管2内部设置有盖板1，且盖板1与有限联通管 2滑动连接，有限联通管2为有底管状结构，和内腔室3直接相连，有限联通管2底部部分镂空，镂空部分和外腔室6相连，盖板1为圆形薄板，盖板1 的材质选用金属，且该金属为不锈钢或铝，盖板1可盖在有限联通管2的镂空部分，且可以自由上下移动，盖板1下落将有限联通管2的镂空部分盖住，内腔室3和外腔室6隔绝(或有微小泄漏)，盖板1状态和内腔室3和外腔室 6的压差，有限联通管2的镂空面积与外腔室6的重量有关，盖板1下落将有限联通管2的镂空部分盖住，将内腔室3和外腔室6隔绝(或有微小泄漏)，盖板1状态和内腔室3和外腔室6压差，有限联通管2镂空面积及盖板1重量有关，当压差较大时，推动盖板1上升，压差较小时盖板1下落，可以实现内外压差恒定，而不随腔室压力变化，外腔室6一端设置有外腔室进气口5，且外腔室进气口5与外腔室6固定连接，内腔室3一端设置有内腔室进气口4，且内腔室进气口4与内腔室3固定连接，盖板1受力平衡时，有公式为p*s＝mg，其中p是内外腔室压差，s是有限联通管2的镂空面积，m是盖板1的质量， g是重力常数，当有限联通管2的镂空面积不变时，通过更换盖板1部件可任意调整内腔室3和外腔室6
的压差，可通过更换盖板1调节和精确控制内腔室和外腔室6的压差。
[0020]
工作时，盖板1为圆形薄板，可盖在有限联通管2的镂空部分，且可以自由上下移动，盖板1下落将有限联通管2的镂空部分盖住，将内腔室3和外腔室6隔绝(或有微小泄漏)，盖板1状态和内腔室3和外腔室6压差，有限联通管2镂空面积及盖板1重量有关，当压差较大时，推动盖板1上升，压差较小时盖板1下落，可以实现内外压差恒定，而不随腔室压力变化，当有限联通管2的镂空面积不变时，通过更换盖板1部件可任意调整内腔室3 和外腔室6的压差，可通过更换盖板1调节和精确控制内腔室和外腔室6的压差。
[0021]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。