带晃动防止机构的闸阀的制作方法

1.本发明涉及一种安装在半导体处理装置中的真空腔中，用于该真空腔的门的开闭的闸阀，特别是涉及一种用于使阀板的开闭动作稳定化的具备晃动防止机构的闸阀。


背景技术：

2.在半导体处理装置中，作为真空腔的门的开闭使用在专利文件1中公开的那样的闸阀。此闸阀具有开闭通向上述门的阀箱的开口的阀板、与该阀板连结的阀轴和经该阀轴来开闭操作上述阀板的操作部。
3.上述操作部具有阀盖、2个气缸和连结机构，该阀盖安装在上述阀箱的底部，在其中央部，上述阀轴位移自由地贯通；该2个气缸夹着上述阀轴相互平行地安装在该阀盖上；该连结机构夹在该2个气缸之间，连结该2个气缸的杆和上述阀轴，将上述杆的进退动作向上述阀轴传递，通过由上述2个气缸经上述连结机构使上述阀轴进行进退运动(上下运动)，由上述阀板开闭上述阀箱的开口。此外，在上述专利文件1中，上述连结机构由杆臂24、凸轮框架28、杠杆构件12及压缩弹簧25构成。
4.在这样的闸阀中，一般地，在由上述操作部开闭操作上述阀板时，如果在如上述2个气缸的外壳和上述连结机构的凸轮框架的那样的以相互地接近的状态相对地位移的构件之间存在间隙，则因为上述2个气缸不同步，所以容易产生如下的问题：上述连结机构左右地晃动，与气缸的主体接触，上述阀轴及阀板向左右倾斜，或者接触的部分磨损等。因此，在存在上述那样的间隙的情况下，要求通过填埋此间隙使阀板的开闭动作稳定化。
5.另一方面，在专利文件2中公开的真空用闸阀，因为将2个气缸的外壳主体和与上述连结机构接触的阀体开闭驱动体之间的间隙消除，所以将推力轴承安装在该阀体开闭驱动体的左右两侧面上，使得此推力轴承与上述外壳主体的内侧面抵接。
6.但是，由正好适合于两方的间隙的厚度的推力轴承恰好填埋分别夹在上述2个外壳主体的内侧面和上述阀体开闭驱动体的两侧面之间的间隙是非常难的，容易产生由误差产生的间隙。
7.【在先技术文献】
8.【专利文件】
9.【专利文件1】日本特开2013-96557号公报
10.【专利文件2】日本特开2018-71642号公报


技术实现要素：

11.发明所要解决的课题
12.本发明的技术的课题在于，在由具有2个气缸的操作部经连结机构来开闭操作与阀轴连结的阀板的闸阀中，通过将在开闭操作上述阀板时相对地位移的构件之间的间隙消除，来消除由该间隙产生的构件的晃动，使上述阀板的开闭动作稳定化。
13.为了解决课题的手段
14.为了解决上述课题，本发明的带晃动防止机构的闸阀，其特征在于，具有开闭阀箱的开口的阀板；与该阀板连结的阀轴；和经该阀轴来开闭操作上述阀板的操作部，上述操作部具有阀盖、2个气缸和连结机构，该阀盖是上述阀轴位移自由地贯通的阀盖；该2个气缸夹着上述阀轴与该阀轴的中心轴平行地安装在该阀盖上；该连结机构夹在该2个气缸之间，连结该2个气缸的杆和上述阀轴，将上述杆的进退动作向上述阀轴传递，上述连结机构具有基座框架、2个侧框架和中央框架，该基座框架与上述2个气缸的杆连结；该2个侧框架安装在该基座框架上，配设在上述2个气缸的外壳之间，沿着该外壳位移；该中央框架与上述阀轴连结，配设在上述2个侧框架之间，沿着该侧框架位移，在上述2个侧框架的外侧面和上述2个外壳的内侧面各个地面对的2个面对部分及上述2个侧框架的内侧面和上述中央框架的左右的侧面各个地面对的2个面对部分之中的至少1个面对部分上，设置了1个或者多个用于防止由上述操作部开闭操作上述阀板时的晃动的晃动防止机构，上述晃动防止机构具有设置在面对的2个侧面的一方的滑动面及设置在另一方的滑动构件；和将上述滑动构件向与上述滑动面抵接的方向推压的弹簧机构。
15.在本发明中，上述晃动防止机构具有间隔件和固定螺钉，该间隔件夹在上述弹簧机构和上述滑动构件之间，将上述弹簧机构的弹簧力向该滑动构件传递；该固定螺钉用于固定该间隔件，上述间隔件由上述固定螺钉固定在将上述弹簧机构的弹簧力向上述滑动构件传递而将该滑动构件推压到上述滑动面上的位置。
16.在此情况下，希望在上述外壳上形成了收容孔，该收容孔具有孔底侧的小径部和孔口侧的大径部，在上述小径部内收容了上述弹簧机构和上述间隔件，在上述大径部内收容了上述滑动构件。
17.另外，希望上述小径部呈圆形，上述大径部呈在上述中心轴方向细长的长孔状，上述弹簧机构由圆环形的蝶形弹簧构成，上述间隔件呈圆柱状，上述滑动构件呈在上述中心轴方向细长的长圆形状。
18.进而，希望上述滑动构件由合成树脂构成，具有与上述滑动面抵接的抵接面，在该抵接面上具有多个润滑脂保持孔。
19.在本发明中，希望上述晃动防止机构在上述2个侧框架的外侧面和2个外壳的内侧面各个地面对的2个面对部分之中的至少一方的面对部分上设置了多个，该多个晃动防止机构在上述外壳和侧框架相对地位移的方向排列地配置。
20.另外，希望上述晃动防止机构在上述2个侧框架的内侧面和上述中央框架的左右的侧面各个地面对的2个面对部分之中的至少一方的面对部分上设置了多个，该多个晃动防止机构配置在上述侧框架及上述中央框架的前后方向的不同的位置。
21.发明的效果
22.根据本发明，由于通过在阀板的开闭操作时相对地位移的构件彼此面对的面对部分上设置晃动防止机构，并且将此晃动防止机构由设置在与上述面对部分的一方的侧面上的滑动面及设置在另一方的侧面上的滑动构件和将该滑动构件推压到上述滑动面上的弹簧机构构成，使得上述滑动构件由上述弹簧机构的弹簧力推压到上述滑动面上，所以可以可靠地消除在上述面对部分中的两侧面之间的间隙，其结果，能防止由上述间隙产生的构件的晃动，使阀板的开闭动作稳定。
附图说明
23.图1是将本发明的闸阀的一部分剖开表示的主视图，是阀板处于开放位置时的图。
24.图2是沿着图1的ii-ii线的剖视图。
25.图3是省略了阀箱的闸阀的立体图。
26.图4是将图3的一部分分解表示的立体图。
27.图5是阀板处于中间位置时的闸阀的剖视图。
28.图6是阀板处于封闭位置时的闸阀的剖视图。
29.图7是将图4的主要部分扩大表示的立体图。
30.图8是图7的沿着viii-viii线的剖视图。
31.图9是在连结机构中的中央框架的立体图。
32.图10是表示夹设在中央框架和侧框架的面对部分中的晃动防止机构的主要部分剖视图。
具体实施方式
33.为了实施发明的方式
34.图1-图10是表示本发明的带晃动防止机构的闸阀的图。此闸阀，如图1及图2所示，具有阀箱1、阀板3、阀轴4和操作部5，该阀箱1具备与真空处理腔(未图示)的门连通的开口；该阀板3收容在该阀箱1内，开闭上述开口2；该阀轴4与该阀板3连结；该操作部5经该阀轴4来开闭操作上述阀板3。
35.上述阀箱1是左右细长的矩形的箱，具有相对的前壁1a及后壁1b，在上述前壁1a及后壁1b上开设了用于使半导体晶圆等的被处理物出入的上述开口2及开口6。
36.上述开口2构成左右细长的矩形状，在上述前壁1a的内面上形成包围该开口2的周围的呈平面状的阀座2a，通过将安装在上述阀板3上的阀密封件3a推压到该阀座2a上，将上述开口2封闭。
37.上述阀板3，如从图3也明确的那样，在其前面的外周部形成了环状的密封槽，在该密封槽内，安装了o型环等由弹性材料构成的环状的上述阀密封件3a。
38.上述阀轴4以可在该阀轴4的中心轴l方向及上述阀盖7的前后方向位移的方式贯通固定在上述阀箱1的底部的阀盖7的中央部，该阀轴4的上端部与上述阀板3的底面中央部连结，该阀轴4的下端部延伸到上述操作部5的位置，与后述的连结机构12的中央框架22连结。
39.另外，在上述阀盖7和上述中央框架22上，连结了将上述阀轴4的外周气密地包围的波纹管8的上端部和下端部，由该波纹管8从外部遮断了上述阀箱1的内部。该波纹管8由上述阀轴4的上下运动进行伸缩。
40.上述操作部5，如从图4也明确的那样，具有上述阀盖7、2个气缸10、10、杆11、11和上述连结机构12，上述阀盖7呈平板状；该2个气缸10、10以夹着上述阀轴4与上述中心轴l平行并且相互地平行的方式安装在该阀盖7的下面上；上述连结机构12夹在该2个气缸10、10之间，连结该2个气缸10、10的杆11、11和上述阀轴4，将上述杆11、11的进退动作向上述阀轴4传递。
41.上述2个气缸10、10实质上具有相同构造，各气缸10具有呈四棱柱的空心的外壳
13，该外壳13具有朝向上述操作部5的前方的前面13a；朝向该操作部5的后方的背面13b；朝向上述阀轴4侧的内侧面13c；和朝向该内侧面13c的相反侧的外侧面13d。因此，2个气缸10、10的上述内侧面13c、13c经上述阀轴4相互地相向。
42.另外，上述杆11的前端部从上述气缸10的外壳13向下延伸，该杆11的基端部与内置在上述外壳13中的活塞14连结，在该外壳13的内部，形成了位于上述活塞14的上面侧的第一压力室15a和位于该活塞14的下面侧的第二压力室15b。
43.在上述2个气缸10、10之中的一方的气缸10中的外壳13的外侧面13d上，形成了2个空气端口16a、16b，一方的第一空气端口16a通过形成在上述外壳13及阀盖7上的通孔与2个气缸10、10的上述第一压力室15a、15a连通，另一方的第二空气端口16b同样地通过形成在上述外壳13及阀盖7上的其它的通孔与2个气缸10、10的上述第二压力室15b、15b连通。
44.而且，通过上述第一空气端口16a及第二空气端口16b相对于2个气缸10、10的上述第一压力室15a、15a和第二压力室15b、15b交替地供给和排出压缩空气，该2个气缸10、10同步地动作。具体地说，如果通过上述第一空气端口16a向2个气缸10、10的上述第一压力室15a、15a供给压缩空气，并且通过上述第二空气端口16b将2个气缸10、10的上述第二压力室15b、15b的压缩空气向外部排出，则如图1及图2所示，该2个气缸10、10的2个杆11、11同步地下降(前进)，由此，上述阀轴4及阀板3经上述连结机构12向使上述开口2成为全开的开放位置a下降。
45.另一方面，如果从上述阀板3处于上述开放位置a的状态通过上述第二空气端口16b向2个气缸10、10的上述第二压力室15b、15b供给压缩空气，并且通过上述第一空气端口16a将2个气缸10、10的上述第一压力室15a、15a的压缩空气排出，则上述2个气缸10、10的2个杆11、11同步地上升(后退)，由此，上述阀轴4及阀板3，经上述连结机构12，如图5所示，该阀板3与上述阀箱1的开口2保持间隔地面对但经由还没有将该开口2封闭的状态的中间位置b，如图6所示，位移到将上述开口2封闭的封闭位置c。
46.接着将上述连结机构12的结构与其作用一起进行说明。该连结机构12，如图1-图4所示，具有基座框架20、2个侧框架21、21、上述中央框架22和线圈状的压缩弹簧23，该基座框架20架设在上述2个气缸10、10的杆11、11的前端部之间；该2个侧框架21、21将基端部固定在该基座框架20的上面上，以夹着上述中心轴与l该中心轴l平行并且相互地平行的方式配置；上述中央框架22安装在上述阀轴4的下端部，以相对于该侧框架21、21相对地位移自由的方式配设在上述2个侧框架21、21之间；该线圈状的压缩弹簧23夹设在该中央框架22和上述基座框架20之间。
47.此外，上述杆11、11和基座框架20，如图4所示，经垫圈24b、24d及轴环24c由螺母24a连结。
48.上述2个侧框架21、21的外侧面21a、21a分别经微小的间隙g1各个地与上述2个气缸10、10的外壳13、13的内侧面13c、13c面对，与上述2个气缸10、10的杆11、11使上述阀板3从上述开放位置a经过上述中间位置b位移到上述封闭位置c相伴，上述2个侧框架21、21沿着上述外壳13、13的内侧面13c、13c在图的上下方向位移。
49.在上述2个气缸10、10的上述外壳13、13的内侧面13c、13c和上述2个侧框架21、21之间，分别形成了用于在各侧框架21从上述开放位置a位移到上述封闭位置c时使该侧框架21沿着上述外壳13的内侧面13c与上述中心轴l平行(在图1的上下方向)地位移的平行移动
机构26。
50.上述平行移动机构26具有在上下方向排列地安装在上述外壳13的内侧面13c上的多个(在图中是3个)导向辊27a、27b、27c和在上下方向呈直线性地形成在上述侧框架21上的导向槽28。
51.上述3个导向辊27a、27b、27c之中的最下层的第一导向辊27a及中层的第二导向辊27b相互地同径，可嵌合在上述导向槽28的内部，最上层的第三导向辊27c与上述第一导向辊27a及第二导向辊27b相比为大径，并且与上述导向槽28的槽宽相比为大径。
52.另一方面，上述导向槽28具有一定的槽宽，该导向槽28的前面壁28a及背面壁28b之中的背面壁28b的上端部，为了防止在上述侧框架21从中间位置b上升到封闭位置c时大径的上述第三导向辊27c碰撞而进行了切除，此时上述第三导向辊27c仅与上述前面壁28a抵接。
53.但是，上述3个导向辊27a、27b、27c也可以全部是同径，在此情况下，上述导向槽28的背面壁28b的上端部不需要进行切除。
54.上述平行移动机构26的作用如下。即，在上述气缸10、10的杆11、11下降而阀板3处于图2的开放位置a时，各侧框架21也处于下降了的位置，此时，仅第一导向辊27a嵌合在上述导向槽28内。
55.如果从此状态上述杆11、11上升，上述侧框架21上升，则因为上述第二导向辊27b也嵌合在上述导向槽28内，由这些第一导向辊27a及第二导向辊27b引导上述侧框架21的上升，所以该侧框架21能直到到达上述封闭位置c为止沿着上述外壳13的内侧面13c与上述中心轴l平行地笔直地上升。另外，如果上述侧框架21到达上述中间位置b，则因为上述第三导向辊27c与上述导向槽28的前面壁28a抵接，所以此后该侧框架21也由此第三导向辊27c引导上升。
56.另一方面，上述中央框架22在正面看形状呈h字形，具有左右的侧面22a、22a，此左右的侧面22a、22a经微小的间隙g2各个地与上述2个侧框架21、21的内侧面21b、21b面对，在该中央框架22的中心部安装了上述阀轴4的基端部。另外，在该中央框架22的上端面上，形成了与上述阀盖7的下面的止动器7a抵接的由辊构成的抵接部30。而且，该中央框架22，在上述杆11、11上升而上述阀板3从上述开放位置a位移到上述封闭位置c的行程中，直到上述中间位置b为止，与上述基座框架20、侧框架21、21及上述压缩弹簧23成为一体地上升，但通过上述抵接部30在该中间位置b与上述阀盖7的止动器7a抵接，该中央框架22停止在此中间位置b。
57.然后，如果上述杆11、11进一步上升，则因为上述基座框架20及侧框架21、21一边压缩上述压缩弹簧23一边进一步上升，所以上述中央框架22由形成在该中央框架22和上述侧框架21、21上的凸轮机构31的作用朝向上述封闭位置c地在与上述中心轴l垂直的方向位移，经上述阀轴4将上述阀板3推压到上述开口2上，将该开口2封闭。
58.上述凸轮机构31具有凸轮辊32、32和凸轮槽33、33，该凸轮辊32、32分别上下2个2个地安装在上述中央框架22的左右的侧面22a、22a上；该凸轮槽33、33分别上下2个2个地形成在上述2个侧框架21、21上，上述凸轮辊32、32各个地嵌合在该凸轮槽33、33内。
59.上述凸轮槽33、33，因为不是在上下方向笔直的槽，而是局部地向左右方向倾斜，所以在上述侧框架21及该凸轮槽33、33相对于上述中央框架22及凸轮辊32、32从上述中间
位置b上升上述封闭位置c时，沿着该凸轮槽33、33的倾斜向图5的右方向推动上述凸轮辊32、32，上述中央框架22也在与该凸轮辊32、32相同的方向位移。其结果，上述阀轴4及阀板3从上述中间位置b位移到上述封闭位置c，将该阀板3推压到上述阀箱1的开口2上，将该开口2封闭。此时作用在上述阀板3上的反力，从该阀板3经阀轴4、中央框架22及侧框架21由上述导向辊27a、27b、27c承受。
60.在使上述气缸10、10的杆11、11下降而使上述阀板3从上述封闭位置c位移到开放位置a时，进行与上述的情况相反的动作。
61.另外，在上述闸阀上，如图4及图7-图10所示，在由上述操作部5开闭操作上述阀板3时相对地位移的构件彼此面对的面对部分上，设置了用于防止因夹在面对的构件之间的间隙产生的晃动的晃动防止机构36a、36b。在图示的例中，在上述气缸10、10的外壳13、13和上述侧框架21、21面对的面对部分上夹设了多个晃动防止机构36a，并且在上述侧框架21、21和上述中央框架22面对的面对部分上也夹设了多个晃动防止机构36b。
62.上述晃动防止机构36a，如图4、图7及图8所示，在各个地面对的2个面对部分上分别配设了上述2个外壳13、13的内侧面13c、13c和上述2个侧框架21、21的外侧面21a、21a，由此晃动防止机构36a防止在上述侧框架21、21沿着上述外壳13、13从上述开放位置a位移到封闭位置c时的该侧框架21、21的向左右方向的晃动，即，向上述间隙g1(图1参照)的大小变化的方向的晃动。
63.在图示的例中，在一方的气缸10的外壳13的内侧面13c和一方的侧框架21的外侧面21a的面对部分及另一方的气缸10的外壳13的内侧面13c和另一方的侧框架21的外侧面21a的面对部分上，分别设置了2个晃动防止机构36a、36a。
64.上述晃动防止机构36a具有形成在上述侧框架21的外侧面21a上的平坦的滑动面37；设置在上述外壳13的内侧面13c上的滑动构件38；将该滑动构件38向与上述滑动面37抵接的方向推压的弹簧机构39；和夹在该弹簧机构39和上述滑动构件38之间的间隔件40。
65.上述滑动构件38、间隔件40及弹簧机构39收容在形成在上述外壳13的内侧面13c上的收容孔41内。该收容孔41具有孔底侧的小径部41a和孔口侧的大径部41b，上述小径部41a呈圆形，上述大径部41b呈在上述中心轴l方向细长的长孔状，该大径部41b的深度比上述小径部41a的深度浅。而且，在上述小径部41a内，收容了由圆环形的蝶形弹簧构成的上述弹簧机构39和呈短圆柱状的上述间隔件40，在上述大径部41b内收容了呈板状的上述滑动构件38。
66.希望上述滑动构件38由滑动性优异的合成树脂形成，另外，作为在该滑动构件38的外面即与上述滑动面37抵接的抵接面38a上，在该滑动构件38的长度方向排列(在图示的例中是2个)地形成了多个用于充填保持润滑脂的润滑脂保持孔42。
67.但是，上述滑动构件38也能由金属形成。在此情况下，通过将上述间隔件40也做成金属制，能将这些滑动构件38和间隔件40形成为一体。
68.上述2个晃动防止机构36a、36a，在上述侧框架21的外侧面21a与上述外壳13的内侧面13c通常面对的部分上，即，在该侧框架21向图1的开放位置a下降了时也与上述外壳13的内侧面13c面对的部分上，在作为该侧框架21和上述外壳13相对地位移的方向的上下方向排列地配设。
69.另外，在上述外壳13的前面13a上，在与上述晃动防止机构36a的上述间隔件40对
应的位置形成了螺纹孔44，在该螺纹孔44内安装了用于固定该间隔件40的固定螺钉43，以便由以工具进行的旋转操作进退运动自由。此固定螺钉43是带六角孔的螺钉，如以下的那样操作。
70.首先，在上述操作部5的组装时，在将上述连结机构12配置在上述2个气缸10、10之间时，通过将上述滑动构件38强力地推入上述收容孔41内，经上述间隔件40将上述弹簧机构39(蝶形弹簧)推压成扁平状态，并在该状态下将上述固定螺钉43紧入，将上述间隔件40固定在该位置。由此，因为从上述收容孔41突出的滑动构件38的突出量变少，所以能将上述连结机构12顺利地配置在上述2个气缸10、10之间。
71.此外，也可在上述间隔件40的侧面的一部分上形成平面部，使得上述固定螺钉43的前端与此平面部的位置抵接。
72.接着，如果上述连结机构12的配置结束，则暂时将上述固定螺钉43松开，使上述弹簧机构39恢复原状。通过这样做，因为由该弹簧机构39的弹簧力经上述间隔件40推上述滑动构件38，该滑动构件38的抵接面38a与上述侧框架21的滑动面37抵接，所以上述气缸10的外壳13的内侧面13c和上述侧框架21之间的间隙g1由上述滑动构件38填埋。因此，通过将上述固定螺钉43再次紧入，将上述间隔件40固定在该位置，能将上述滑动构件38固定在该滑动构件38和上述侧框架21之间的间隙g1正好成为零的位置，上述闸阀在该状态下使用。
73.另一方面，上述晃动防止机构36b，从图1、图9及图10可知，在上述中央框架22的左右的侧面22a、22a和上述2个侧框架21、21的内侧面21b、21b各个地面对的面对部分上分别配设了多个，由此晃动防止机构36b防止上述侧框架21、21和上述中央框架22从上述中间位置b相对地位移到封闭位置c时的晃动。
74.在图示的例中，在一方的侧框架21的内侧面21b和上述中央框架22的一方的侧面22a的面对部分及另一方的侧框架21的内侧面21b和上述中央框架22的另一方的侧面22a的面对部分上，以将相互的位置在上述中央框架22的前后方向错开的状态分别配置了3个晃动防止机构36b。
75.上述晃动防止机构36b实质上与上述晃动防止机构36a具有相同的结构，具有形成在上述侧框架21的内侧面21b上的平坦的滑动面37；设置在上述中央框架22的侧面22a上的滑动构件38；将该滑动构件38向与上述滑动面37抵接的方向推压的弹簧机构39；和夹在该弹簧机构39和上述滑动构件38之间的间隔件40，上述滑动构件38、间隔件40及弹簧机构39收容在形成在上述中央框架22的侧面22a上的收容孔41内。
76.此外，在上述晃动防止机构36b的滑动构件38上，没有形成在上述晃动防止机构36a的滑动构件38上形成的润滑脂保持孔42，但也可以形成这样的润滑脂保持孔42。
77.这样，通过在上述气缸10、10的外壳13、13的内侧面13c、13c和上述侧框架21、21的外侧面21a、21a的面对部分及上述侧框架21、21的内侧面21b、21b和上述中央框架22的侧面22a、22a的面对部分上分别设置了上述晃动防止机构36a、36b，能在由上述操作部5开闭操作阀板3时可靠地消除上述侧框架21、21及中央框架22的向左右方向的晃动，使该阀板3的开闭动作稳定化。
78.此外，在上述的实施方式中，将上述间隔件40由上述固定螺钉43固定在将来自上述弹簧机构39的弹簧力向上述滑动构件38传递而将该滑动构件38推压到上述滑动面37上的位置，但也可以不将该间隔件40由上述固定螺钉43固定，而是通过预先将该固定螺钉43
保持在松开了的状态下，做成上述弹簧机构39的弹簧力经上述间隔件40通常作用在上述滑动构件38上的状态。在此情况下，需要预先使得上述固定螺钉43不因振动、冲击等脱落，根据情况，也可以省略上述固定螺钉43。
79.另外，在图示的实施方式中，在2个气缸10、10的外壳13、13的内侧面13c、13c和2个侧框架21、21的外侧面21a、21a的面对部分上分别设置了多个晃动防止机构36a，并且在2个侧框架21、21的内侧面21b、21b和中央框架22的左右的侧面22a、22a的面对部分上分别设置了多个晃动防止机构36b，但也可以在各面对部分上分别仅设置1个上述晃动防止机构36a及36b，也可以仅设置上述晃动防止机构36a或上述晃动防止机构36b。
80.或者，在一方的气缸10的外壳13的内侧面13c和一方的侧框架21的外侧面21a之间的间隙小到能够忽视的程度的情况下，也可以仅在另一方的气缸10的外壳13的内侧面13c和另一方的侧框架21的外侧面21a的面对部分上设置1个或者多个晃动防止机构36a。
81.同样地，在一方的侧框架21的内侧面21b和中央框架22的一方的侧面22a的面对部分的间隙小到能够忽视的程度的情况下，也可以仅在另一方的侧框架21的内侧面21b和中央框架22的另一方的侧面22a的面对部分上设置1个或者多个晃动防止机构36b。
82.进而，上述晃动防止机构36a、36b的弹簧机构39在图示的例中由蝶形弹簧形成，但也可以由螺旋弹簧、橡胶弹性体形成，或者也可以使用压缩空气。
83.另外，在上述晃动防止机构36a中，上述收容孔41、弹簧机构39、间隔件40及滑动构件38形成在上述外壳13上，上述滑动面37形成在上述侧框架21上，但也可以相反，上述收容孔41、弹簧机构39、间隔件40及滑动构件38形成在上述侧框架21上，上述滑动面37形成在上述外壳13上。
84.在上述晃动防止机构36b中也同样，也可以是上述收容孔41、弹簧机构39、间隔件40及滑动构件38形成在上述侧框架21上，上述滑动面37形成在上述中央框架22上。
85.另外，上述闸阀，其上述阀轴4及阀板3在从开放位置a到中间位置b由平行移动机构26的作用相对于中心轴l平行地移动，从上述中间位置b到封闭位置c由垂直移动机构31的作用相对于上述中心轴l垂直地移动，但本发明也能适用于上述阀轴4及阀板3从上述开放位置a或者中间位置b朝向封闭位置c倾斜地位移的类型的闸阀。
86.【符号的说明】
87.1:阀箱
88.2:开口
89.3:阀板
90.4:阀轴
91.5:操作部
92.7:阀盖
93.10:气缸
94.11:杆
95.12:连结机构
96.13:外壳
97.13c:内侧面
98.20:基座框架
99.21:侧框架
100.21a:外侧面
101.21b:内侧面
102.22:中央框架
103.22a:侧面
104.36a、36b:晃动防止机构
105.37:滑动面
106.38:滑动构件
107.38a:抵接面
108.39:弹簧机构
109.40:间隔件
110.41:收容孔
111.41a:小径部
112.41b:大径部
113.42:润滑脂保持孔
114.43:固定螺钉
115.l:中心轴。