1.一种磁轴承装置,具备:
2.根据权利要求1所述的磁轴承装置,其特征在于,所述第二运转模式的固有振动频率的测定在所述旋转体的旋转中进行。
3.根据权利要求1或2所述的磁轴承装置,其特征在于,所述第二运转模式的固有振动频率的测定在所述旋转体的旋转的停止中进行。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,基于在所述第二运转模式下测定的固有振动频率,进行所述第一运转模式下的控制所述磁轴承的至少一个控制参数的调整。
5.根据权利要求4所述的磁轴承装置,其特征在于,所述控制参数的调整在所述旋转体的旋转中进行。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,所述第二运转模式具备:
7.根据权利要求1~6中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,重复进行从所述第一运转模式向所述第二运转模式的转变和从所述第二运转模式向所述第一运转模式的转变。
8.根据权利要求7所述的磁轴承装置,其特征在于,根据所述旋转体的转速来进行从所述第一运转模式向所述第二运转模式的转变。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式下,增大为了在所述第一运转模式下使所述磁轴承控制的相位前进而配设的滤波器的相位前进量。
10.根据权利要求1~8中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式下,调整所述滤波器的控制参数以使得减弱为了在所述第一运转模式下降低所述磁轴承控制的增益而配设的滤波器的增益的降低量,或者删除所述滤波器。
11.根据权利要求1~10中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式的固有振动频率测定时,将在所述磁轴承控制器的内部生成的激振信号施加到所述磁轴承控制。
12.根据权利要求1~10中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式的固有振动频率测定时,不对所述磁轴承控制施加激振信号。
13.根据权利要求1~12中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式中,使所述第二磁轴承控制增益在规定时间内逐渐增大,在检测到因该第二磁轴承控制增益的增大而产生的振荡时,或者在确认到该第二磁轴承控制增益达到了规定的控制增益量时,停止该第二磁轴承控制增益的增大。
14.一种真空泵,其搭载有根据权利要求1~13中任一项所述的磁轴承装置。