磁轴承装置及真空泵的制作方法

文档序号:37490202发布日期:2024-04-01 13:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁轴承装置,具备:

2.根据权利要求1所述的磁轴承装置,其特征在于,所述第二运转模式的固有振动频率的测定在所述旋转体的旋转中进行。

3.根据权利要求1或2所述的磁轴承装置,其特征在于,所述第二运转模式的固有振动频率的测定在所述旋转体的旋转的停止中进行。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,基于在所述第二运转模式下测定的固有振动频率,进行所述第一运转模式下的控制所述磁轴承的至少一个控制参数的调整。

5.根据权利要求4所述的磁轴承装置,其特征在于,所述控制参数的调整在所述旋转体的旋转中进行。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,所述第二运转模式具备:

7.根据权利要求1~6中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,重复进行从所述第一运转模式向所述第二运转模式的转变和从所述第二运转模式向所述第一运转模式的转变。

8.根据权利要求7所述的磁轴承装置,其特征在于,根据所述旋转体的转速来进行从所述第一运转模式向所述第二运转模式的转变。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式下,增大为了在所述第一运转模式下使所述磁轴承控制的相位前进而配设的滤波器的相位前进量。

10.根据权利要求1~8中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式下,调整所述滤波器的控制参数以使得减弱为了在所述第一运转模式下降低所述磁轴承控制的增益而配设的滤波器的增益的降低量,或者删除所述滤波器。

11.根据权利要求1~10中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式的固有振动频率测定时,将在所述磁轴承控制器的内部生成的激振信号施加到所述磁轴承控制。

12.根据权利要求1~10中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式的固有振动频率测定时,不对所述磁轴承控制施加激振信号。

13.根据权利要求1~12中任一项所述的磁轴承装置,其特征在于,在所述第二运转模式中,使所述第二磁轴承控制增益在规定时间内逐渐增大,在检测到因该第二磁轴承控制增益的增大而产生的振荡时,或者在确认到该第二磁轴承控制增益达到了规定的控制增益量时,停止该第二磁轴承控制增益的增大。

14.一种真空泵,其搭载有根据权利要求1~13中任一项所述的磁轴承装置。


技术总结
提供一种在使用磁轴承的悬浮系统中能够高灵敏度地测定旋转体的固有振动模式的磁轴承装置及真空泵。在步骤1中,开始第二运转模式的运转。在步骤3中,控制器7的增益比第一运转模式时的增益增大。在步骤5中,在该状态下测定固有振动频率。作为测定对象的固有振动是旋转体103的弯曲模式、旋转叶片102的固有振动模式、起因于定子的振动模式、旋转体103的刚体模式。由控制装置的中央运算处理装置(CPU)进行运算处理,但也可以在外部进行运算处理。在步骤5中的固有振动频率的测定后,在步骤7中使控制器7的增益返回到第一运转模式时的增益。在步骤9中,第二运转模式的运转结束。因此,能够高灵敏度地检测固有振动模式。

技术研发人员:小野贵晃
受保护的技术使用者:埃地沃兹日本有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/31
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