一种基于丝杠驱动的真空新型阀门的制作方法

本发明涉及半导体真空阀，具体为一种基于丝杠驱动的真空新型阀门。

背景技术：

1、在半导体行业中，各个腔室的阀门至关重用，其密封性、稳定性、低振动性及易维修性对整个制程的效率及良品率具有很大的影响。目前的各类阀门一般采用自行设计的气缸驱动，并通过设计对应气路完成阀门的升降动作，此类阀门装配复杂、气路失效后阀门报废，且在关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，解决了目前的各类阀门一般采用自行设计的气缸驱动，并通过设计对应气路完成阀门的升降动作，此类阀门装配复杂、气路失效后阀门报废，且在关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境的问题。

2、具体技术方案如下：

3、本发明提供了一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，包括：腔体1，所述腔体1下端设置有阀板2，所述阀板2下端设置有阀壳连接板4，所述阀壳连接板4下端设置有升降轴3，所述升降轴3上端穿过阀壳连接板4并与阀板2连接，所述阀壳连接板4下端两侧连接有动力固定架5，所述动力固定架5下端连接有气缸18，两个所述动力固定架5一侧连接有两侧外壳6，所述升降轴3下端连接有中心固定架12，所述中心固定架12的前表面连接有转接板13，所述转接板13前表面连接有齿条15，所述齿条15左右两侧啮合连接有直齿轮14，所述直齿轮14内部插入连接有丝杆10，所述丝杆10穿过转接板13与中心固定架12通过轴承连接，所述升降轴3前表面下端连接有丝杆螺母11，所述丝杆10穿过中心固定架12与丝杆螺母11通过螺纹连接，所述齿条15前表面下端连接有推力板7，所述推力板7与气缸18下端连接有传递板8，所述两侧外壳6下端且位于传递板8下端连接有底部外壳9，所述中心固定架12下表面两端连接有弹簧17，所述弹簧17下端与传递板8连接。

4、优选的，所述两侧外壳6内部通过螺钉安装有导轨16，所述传递板8两侧与导轨16插入连接。

5、优选的，所述阀壳连接板4与腔体1连接处做密封处理，所述腔体1前后两端开口处设置有密封圈。

6、优选的，所述腔体1、两侧外壳6与底部外壳9为不锈钢材质，所述阀板2外表面为橡胶材质。

7、优选的，所述动力固定架5与中心固定架12的连接处表面做镀锌处理。

8、优选的，所述腔体1左右两侧开设有安装槽。

9、与现有技术相比，本发明具有如下有益技术效果：

10、（1）该基于丝杠驱动的真空新型阀门，选用气缸或气动元件作为动力源，经济性较好，控制难度小，通过设计丝杠、直齿轮齿条和弹簧结构，把竖直方向运动改变为水平运动，实现阀门的竖直上升及水平关闭，从原理上规避了关闭时产生的冲击载荷、关闭不严密和关闭过程中摩擦产生颗粒，影响设备洁净度。

11、（2）该基于丝杠驱动的真空新型阀门，设计结构紧凑，运动稳定、易于装配调整，维护方便。

12、（3）该基于丝杠驱动的真空新型阀门，通过设计限位及自由度约束机构，实现了传动轴的稳定上升及顺滑水平移动，提高阀门工作寿命。

技术特征：

1.一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，其特征在于，包括：腔体（1），所述腔体（1）下端设置有阀板（2），所述阀板（2）下端设置有阀壳连接板（4），所述阀壳连接板（4）下端设置有升降轴（3），所述升降轴（3）上端穿过阀壳连接板（4）并与阀板（2）连接，所述阀壳连接板（4）下端两侧连接有动力固定架（5），所述动力固定架（5）下端连接有气缸（18），两个所述动力固定架（5）一侧连接有两侧外壳（6），所述升降轴（3）下端连接有中心固定架（12），所述中心固定架（12）的前表面连接有转接板（13），所述转接板（13）前表面连接有齿条（15），所述齿条（15）左右两侧啮合连接有直齿轮（14），所述直齿轮（14）内部插入连接有丝杆（10），所述丝杆（10）穿过转接板（13）与中心固定架（12）通过轴承连接，所述升降轴（3）前表面下端连接有丝杆螺母（11），所述丝杆（10）穿过中心固定架（12）与丝杆螺母（11）通过螺纹连接，所述齿条（15）前表面下端连接有推力板（7），所述推力板（7）与气缸（18）下端连接有传递板（8），所述两侧外壳（6）下端且位于传递板（8）下端连接有底部外壳（9），所述中心固定架（12）下表面两端连接有弹簧（17），所述弹簧（17）下端与传递板（8）连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，其特征在于：所述两侧外壳（6）内部通过螺钉安装有导轨（16），所述传递板（8）两侧与导轨（16）插入连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，其特征在于：所述阀壳连接板（4）与腔体（1）连接处做密封处理，所述腔体（1）前后两端开口处设置有密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，其特征在于：所述腔体（1）、两侧外壳（6）与底部外壳（9）为不锈钢材质，所述阀板（2）外表面为橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，其特征在于：所述动力固定架（5）与中心固定架（12）的连接处表面做镀锌处理。

6.根据权利要求1所述的一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，其特征在于：所述腔体（1）左右两侧开设有安装槽。

技术总结
本发明公开了一种基于丝杠驱动的真空新型阀门，涉及半导体真空阀技术领域。该基于丝杠驱动的真空新型阀门，包括：腔体，所述腔体下端设置有阀板，所述阀板下端设置有阀壳连接板，所述阀壳连接板下端设置有升降轴，所述升降轴上端与阀板连接，所述阀壳连接板下端两侧连接有动力固定架，所述动力固定架下端连接有气缸，所述动力固定架一侧连接有两侧外壳，所述升降轴下端连接有中心固定架，的前表面连接有转接板，所述转接板前表面连接有齿条，所述齿条左右两侧连接有直齿轮，所述直齿轮内部连接有丝杆，所述升降轴前表面下端连接有丝杆螺母，所述齿条前表面连接有推力板，所述推力板下端连接有传递板，所述中心固定架下表面两端连接有弹簧。

技术研发人员：李加平,姜小蛟,赫泽,孙晓恒,王万鹏
受保护的技术使用者：沈阳富创精密设备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17