一种载台调节装置的制作方法

本发明涉及载台调节，尤其涉及一种载台调节装置。

背景技术：

1、激光干涉仪等精密光学检测设备中，载台通常具有高精度调节装置，用于调节载台的水平度。目前的调平装置主要有两类：一类是使用二轴/三轴倾斜平台作为载台调节装置，然而，该调节装置一般仅适用于小尺寸、低负载载台的调节。另一类是使用三点顶升结构安装于载台底部作为载台调节装置，其能够用于大尺寸、高负载载台的调节，顶升执行器直接承受载台自身的重量及载台上承载物的重量，然而，顶升执行器的调节精度与可承受的负载成反比，限制了大尺寸、高负载载台的水平调节。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种载台调节装置，适用于大尺寸、高负载载台的水平调节。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种载台调节装置，包括：

4、板组件，包括间隔设置的上板和下板，载台穿过所述上板且连接于所述下板；

5、两个第一变形块，所述第一变形块包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第一内侧部和第一外侧部，所述第一内侧部抵接且连接于所述下板，所述第一外侧部抵接且连接于所述上板，两个所述第一变形块位于第一连线上；

6、两个第二变形块，所述第二变形块包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第二内侧部和第二外侧部，所述第二内侧部连接于外界结构，且所述上板和所述下板均与所述第二内侧部间隔设置，所述第二外侧部抵接且连接于所述上板，所述第二外侧部与所述下板间隔设置，两个所述第一变形块和两个所述第二变形块交替间隔地设于所述板组件的周侧，两个所述第二变形块位于第二连线上；

7、顶升执行器，设于所述下板，所述顶升执行器设于所述第一连线和/或所述第二连线和/或所述第一连线与所述第二连线之间，所述顶升执行器的移动端穿过且伸出于所述上板；

8、顶块组件，固设于外界结构且设于所述上板背离所述下板的一侧，所述顶升执行器的移动端能够抵接于所述顶块组件。

9、在一些可能的实施方式中，所述第一变形块还包括连接于所述第一内侧部与所述第一外侧部之间的第一连接部，所述第一内侧部和所述第一外侧部均与所述第一连接部之间设有第一间隙；

10、所述第二变形块还包括连接于所述第二内侧部与所述第二外侧部之间的第二连接部，所述第二内侧部和所述第二外侧部均与所述第二连接部之间设有第二间隙。

11、在一些可能的实施方式中，所述第一间隙和所述第二间隙的宽度为1mm-2mm，所述第一连接部和所述第二连接部的宽度为0.5mm-1.5mm。

12、在一些可能的实施方式中，所述第一外侧部开设有第一凹槽，所述第一连接部和所述第一内侧部均设于所述第一凹槽内，所述第一凹槽为梯形槽、矩形槽或弧形槽，所述第一连接部和所述第一内侧部的形状与所述第一凹槽的形状相适应；

13、所述第二外侧部开设有第二凹槽，所述第二连接部和所述第二内侧部均设于所述第二凹槽内，所述第二凹槽为梯形槽、矩形槽或弧形槽，所述第二连接部和所述第二内侧部的形状与所述第二凹槽的形状相适应。

14、在一些可能的实施方式中，所述下板和所述第二内侧部之间形成第三间隙，所述第三间隙的宽度为1mm-5mm。

15、在一些可能的实施方式中，所述上板相对于所述下板设有凸出部，所述凸出部朝向所述第二变形块，以使所述下板与所述第二变形块间隔设置，所述凸出部设有避让槽以与所述第二内侧部相间隔。

16、在一些可能的实施方式中，所述上板、所述下板和所述第一变形块为一体结构或分体结构；和/或，所述上板与所述第二外侧部为一体结构或分体结构，所述第二内侧部通过紧固件与外界结构连接。

17、在一些可能的实施方式中，所述板组件的横截面呈矩形，两个所述第一变形块设于所述板组件一个对角线方向的两侧，两个所述第二变形块设于所述板组件另一个对角线方向的两侧。

18、在一些可能的实施方式中，所述顶升执行器设有三个，三个所述顶升执行器呈三角状排布且环设于所述载台的周侧。

19、在一些可能的实施方式中，所述顶升执行器为促动器。

20、在一些可能的实施方式中，所述上板和所述下板间隔设置，二者之间的间距为2mm-5mm；和/或

21、还包括固定板，所述固定板设于所述下板背离所述上板的一侧，所述第二内侧部连接于所述固定板，所述固定板和所述下板间隔设置，二者之间的间距为2mm-5mm。

22、本发明的有益效果：

23、本发明提供的一种载台调节装置，通过第一变形块和第二变形块分别与上板和下板连接，以及第一变形块和第二变形块均能沿水平方向发生形变、不会发生竖直方向的相对摆动。使顶升执行器的移动端移动并抵接顶块组件，顶块组件给顶升执行器向下的反作用力推动下板。由于顶升执行器的作用力较小，顶块组件给顶升执行器向下的反作用力也较小，推动下板时，下板仅靠近顶升执行器的一侧向下移动，示例性地，靠近该顶升执行器的变形块为第一个第一变形块，力的传导过程为：通过第一个第一变形块的第一内侧部和第一外侧部的连接作用，带动上板及两个第二变形块的第二外侧部变形，上板、下板和第一个第一变形块的运动为同时发生。由于第二个第一变形块未变形即保持在初始位置，因此会导致两个第二变形块的第二外侧部相对第二内侧部沿水平方向向靠近右下角的顶升执行器一侧发生相对移动，从而实现了下板相对于上板绕两个第二变形块形成的第二连线转动，即载台随下板转动，实现了调平。相较于现有的顶升结构作为载台调节装置，本方案中顶升执行器的移动端无需承受载台自身重量及载台上承载物的重量，从而保护顶升执行器免于超载，顶升执行器的调节精度不受负载影响，因此可以适用于大尺寸、高负载载台的调节。

技术特征：

1.一种载台调节装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的载台调节装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的载台调节装置，其特征在于，所述第一间隙和所述第二间隙的宽度为1mm-2mm，所述第一连接部(23)和所述第二连接部的宽度为0.5mm-1.5mm。

4.根据权利要求2所述的载台调节装置，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的载台调节装置，其特征在于，所述下板(12)和所述第二内侧部之间形成第三间隙，所述第三间隙的宽度(n)为1mm-5mm。

6.根据权利要求2所述的载台调节装置，其特征在于，所述上板(11)相对于所述下板(12)设有凸出部(112)，所述凸出部(112)朝向所述第二变形块(6)，以使所述下板(12)与所述第二变形块(6)间隔设置，所述凸出部(112)设有避让槽(113)以与所述第二内侧部相间隔。

7.根据权利要求1所述的载台调节装置，其特征在于，所述上板(11)、所述下板(12)和所述第一变形块(2)为一体结构或分体结构；和/或，所述上板(11)与所述第二外侧部为一体结构或分体结构，所述第二内侧部通过紧固件与外界结构连接。

8.根据权利要求1所述的载台调节装置，其特征在于，所述板组件(1)的横截面呈矩形，两个所述第一变形块(2)设于所述板组件(1)一个对角线方向的两侧，两个所述第二变形块(6)设于所述板组件(1)另一个对角线方向的两侧。

9.根据权利要求1所述的载台调节装置，其特征在于，所述顶升执行器(3)设有三个，三个所述顶升执行器(3)呈三角状排布且环设于所述载台(5)的周侧。

10.根据权利要求1-9任一项所述的载台调节装置，其特征在于，所述顶升执行器(3)为促动器。

11.根据权利要求1-9任一项所述的载台调节装置，其特征在于，

技术总结
本发明属于载台调节技术领域，公开了一种载台调节装置，包括板组件、交替间隔地设于板组件的周侧的两个位于第一连线的第一变形块和两个位于第二连线的第二变形块，板组件包括间隔设置的上板和下板，载台穿过上板且连接于下板；第一变形块包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第一内侧部和第一外侧部，第一内侧部抵接且连接于下板，第一外侧部抵接且连接于上板；第二变形块包括相互连接且仅能够沿水平方向相对移动的第二内侧部和第二外侧部，上板和下板均与第二内侧部间隔设置，第二外侧部抵接且连接于上板，第二外侧部与下板间隔设置，顶升执行器设于下板且伸出于上板；顶升执行器的移动端抵接于顶块组件，适用于大尺寸、高负载载台的调节。

技术研发人员：朱亮,王悦,王晓杰,陈淑楠,王淼操
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/7