专利名称:原子力显微镜金相扫描样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及原子力显微镜扫描成像技术，尤其涉及原子力显微镜金相扫描样品台。
背景技术：
原子力显微镜是一种精密扫描成像设备，其扫描样品台对于待测样品厚度要求不超过3mm，这给原子力显微镜在冶金行业的广泛应用带来了麻烦。这是由于用于冶金行业分析用的样品制备通常要经过切割、镶嵌、研磨、抛光和腐蚀，而用于原子力观察的样品为了使样品表面高低起伏在原子力显微镜的Z向观察范围(＜8μm)之内，也同样需要对样品进行上述五道工序处理，这样加工后的试样厚度在10-20mm之间，为了使样品不超过3mm厚的要求，需要对已经制备好的样品进行再切割，这样的重复工序不仅费时，更突出的缺点就在于会因为再次切割而对已经处理好的样品表面造成污染，这种污染不容易消除，更会直接影响原子力显微镜的显微观测，有时甚至会使样品、镶料间发生断裂，造成样品的彻底破坏。普通样品台的选区也因为受到扫描头的限制而无法在较大范围内进行选区，样品在样品台可以选择进行测量的区域(φ＝5mm)就十分有限。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种原子力显微镜金相扫描样品台，该金相扫描样品台可满足不同厚度样品直接扫描的要求，样品台结构简单，操作方便。
本实用新型是这样实现的一种原子力显微镜金相扫描样品台，其特征是包括底座、筒体、螺栓，底座为凸台，凸台上开有螺纹，筒体内也开有内螺纹，筒体与底座相配合，筒体顶部为环形平面，底座顶部平面为置放样品的平台，筒体顶部稍下方处开有多个均布的螺孔，螺孔内装有螺栓，多个螺栓对准底座顶部平台上的样品。
上述的原子力显微镜金相扫描样品台，所述筒体顶部稍下方处开有四个均布的螺孔。
本实用新型采用筒体、底座、螺栓组成的可调扫描样品台的结构，解决了金相样品不能直接用于原子力显微镜观测的问题，同时可以满足一定厚度样品的原子力显微镜直接观测，如金相样品厚度在30毫米以下，以及水平方向直径在30毫米以下的不同样品，直接进行扫描，避免了金相样品成品在切割过程中可能造成的污染和损坏。
本实用新型可满足不同厚度样品直接扫描的要求，扫描样品台结构简单，操作方便。
下面结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型原子力显微镜金相扫描样品台结构示意图；图2为图1的俯视图。
图中1筒体顶部环形平面，2筒体，3底座，4螺栓，5样品。
具体实施方式
参见图1、图2，一种原子力显微镜金相扫描样品台，包括底座3、筒体2、螺栓4。底座3为凸台，凸台上开有螺纹，筒体2内也开有内螺纹，筒体2与底座3相配合。筒体2顶部为环形平面1，底座3顶部平面为置放样品5的平台，通过旋转底座3，可确定样品5的竖直位置。筒体3顶部稍下方处开有多个均布的螺孔，如三个、四个，本实施例中为四个，螺孔内装有螺栓4，四个螺栓4对准底座3顶部平台上的样品5，通过这四个螺栓4来调节同一垂直高度样品5的水平扫描位置，并对样品5有一个基本的固定。
原子力显微镜金相扫描样品台是通过筒体顶部环形平面1与扫描头固定支架的三个磁极经磁力固定。
原子力显微镜金相扫描样品台采用底座3与筒体2的螺纹旋转结构，可以方便调节扫描样品台高度，底座3顶部与筒体2顶部的距离可满足不同厚度的样品5，金相样品厚度一般小于30mm，而底座3顶部平台的直径比金相样品5直径(金相样品直径一般小于30mm)大，底座3螺纹的螺距定为0.5mm，可满足原子力显微镜样品台本身携带的4mm的高度变化范围。底座3外旋式螺纹结构不仅机加工方便，同时旋转精度也得到保证，从而确保样品5在随底座3上升的过程中，每完成一个全圆周的转动，置于底座3顶部平台上的样品5上升的距离精确可控。通过与光学定位系统的综合调节，可以保证针尖落在样品5的待测范围垂直上方时针尖与样品间的距离在规定的范围内，如0.5mm之内，再借助系统软件对针尖-样品间距离进行微调，最终准确的完成扫描前的定位逼近工作。由于扫描样品台的底座3顶部平台比金相样品5直径大，所以可以扩大样品5表面的待检测区域。
原子力显微镜金相扫描样品台带来的扫描前逼近效率的提高，其效果是显著的，这样在扫描样品多的时候，使用金相扫描样品台带来的优势就更明显了，从而大大提高了成图效率。
本实用新型不仅解决了金相样品不能直接用于原子力显微镜观测的问题，同时也满足了对于一定厚度样品的原子力显微镜直接观测，如金相样品厚度在30毫米以下，以及水平方向直径在30毫米以下的不同样品，直接进行扫描，避免了金相样品成品在切割过程中可能造成的污染和损坏。
本实用新型可满足不同厚度样品直接扫描的要求，扫描样品台结构简单，操作方便。
权利要求
1.一种原子力显微镜金相扫描样品台，其特征是包括底座、筒体、螺栓，底座为凸台，凸台上开有螺纹，筒体内也开有内螺纹，筒体与底座相配合，筒体顶部为环形平面，底座顶部平面为置放样品的平台，筒体顶部稍下方处开有多个均布的螺孔，螺孔内装有螺栓，多个螺栓对准底座顶部平台上的样品。
2.根据权利要求
1所述的原子力显微镜金相扫描样品台，其特征是筒体顶部稍下方处开有四个均布的螺孔。
专利摘要
本实用新型涉及原子力显微镜扫描成像技术，尤其涉及原子力显微镜金相扫描样品台。一种原子力显微镜金相扫描样品台，其特征是包括底座、筒体、螺栓，底座为凸台，凸台上开有螺纹，筒体内也开有内螺纹，筒体与底座相配合，筒体顶部为环形平面，底座顶部平面为置放样品的平台，筒体顶部稍下方处开有多个均布的螺孔，螺孔内装有螺栓，多个螺栓对准底座顶部平台上的样品。本实用新型可满足不同厚度样品直接扫描的要求，扫描样品台结构简单，操作方便。
文档编号G01Q30/00GKCN2874723SQ200620039780
公开日2007年2月28日 申请日期2006年2月28日
发明者肖新星, 李健 申请人:宝山钢铁股份有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan