41内安装有 螺纹镶嵌圈。（如图6、图6A所示)GC螺钉7K穿过气路底板7C上的通孔后，螺纹连接在B-D限位 盲孔2F241的螺纹镶嵌圈上;⑶螺钉7L穿过气路底板7C上的通孔后，螺纹连接在B-C限位盲 孔2F231的螺纹镶嵌圈上;GE螺钉7M穿过气路底板7C上的通孔后，螺纹连接在B-A限位盲孔 2F211的螺纹镶嵌圈上；GF螺钉7N穿过气路底板7C上的通孔后，螺纹连接在B-B限位盲孔 2F221的螺纹镶嵌圈上;通过螺钉与螺纹镶嵌圈的配合，实现了将气路底板7C与底座2的底 面板2E的固定。为了实现对气源的密封，气路底板7C的下端面与底座2的气源腔之间在安装 时，安装了密封件7D。
[0095] 参见图2D所示，底座2的底面板2E上还设有A气源腔2G、B气源腔2H、C气源腔2I、D气 源腔2J、A气流通道2D31、B气流通道2D41、C气流通道2D51;四个气源腔（26、2!1、21、21)用于 存储通过气流通道(2031、2041、2051)进入的气体。
[0096] 在本发明中，A气塞10D、B气塞IOE和C气塞IOF的结构相同，选用江阴市青阳晶体宝 瓶盖厂生产的塑料气塞。
[0097]在本发明中，底座2可以采用非金属材料加工。如塑料、PC材料、PVC材料、ABS材料 等。
[0098] 内护盖4
[0099] 内护盖4上设有AA护板4A、AB护板4B、AC护板4C、AD护板4D、上面板4E;
[0100] AC护板4C上设有AA通孔圆台4C1和AB通孔圆台4C2;所述AA通孔圆台4C1与底座2的 底面板2E的AA支撑柱体2F1对齐，使用螺钉穿过AA通孔圆台4C1后螺母连接在AA支撑柱体 2F1的螺纹孔中；所述AB通孔圆台4C2与底座2的底面板2E的AB支撑柱体2F2对齐，使用螺钉 穿过AB通孔圆台4C2后螺母连接在AB支撑柱体2F2的螺纹孔中。通过AA通孔圆台4C1与AA支 撑柱体2F1的配合，以及AB通孔圆台4C2与AB支撑柱体2F2的配合，实现了内护盖4的一端与 底座2的底面板2E的一端的固定。
[0101] 上面板4E上设有DA矩形孔4E1、DA通孔4E2、DB通孔4E3、DC通孔4E4、DA半圆盲孔 4E5,所述DA半圆盲孔4E5内设有DA通孔圆台4E51，使用一螺钉穿过DA通孔圆台4E51的通孔、 PCB板7A上的开口通孔7A-1后连接一螺母，实现内护盖4的AA护板4A与PCB板7A的固定。DA矩 形孔4E1与上盖1的上面板IA的矩形孔对齐。DA通孔4E2用于气动单元装置7中的GA按钮73穿 过。DB通孔4E3用于气动单元装置7中的GB按钮74穿过。DC通孔4E4用于气动单元装置7中的 GC按钮75穿过。
[0102] 在本发明中，为了加强内护盖4的承载能力，在内护盖4上设有DA加强筋4F1、DB加 强筋4F2。
[0103] 在本发明中，内护盖4可以采用非金属材料加工。如塑料、PVC材料、ABS材料等。
[0104] 内支架5
[0105] 内支架5上设有EA护板5A、EB护板5B、EC护板5C、ED护板5D、EE护板5E、EF护板5F、EG 护板5G AE护板5E位于ED护板的下方。EC护板5C与EF护板5F在同一平面上。EA护板5A与EB 护板5B平行放置。
[0106] EA护板5A的上端设有EA限位件51A和EB限位件51B。限位件（51A、51B)由限位圆柱 和限位矩形块构成。
[0107] EB护板5B的上端设有EC限位件51C和ED限位件51D。限位件（51C、51D)由限位圆柱 和限位矩形块构成。在本发明中，EA限位件51A与EC限位件51C相对设置，EB限位件51B与ED 限位件51D相对设置。EA限位件51A插入气动单元装置7的PCB板7A的GA开口槽-通孔对7A1 中；EB限位件51B插入气动单元装置7的PCB板7A的GB开口槽-通孔对7A2中；EC限位件51C插 入气动单元装置7的PCB板7A的GC开口槽-通孔对7A3中;ED限位件5ID插入气动单元装置7的 PCB板7A的⑶开口槽-通孔对7A4中。通过EA护板5A、EB护板5B上端设置的限位件，与PCB板7A 上设置的开口槽-通孔对相配合，能够阻止PCB板7A在磁屏蔽密封壳体内的移动。
[0108] EC护板5C的A板面5C-1上设有EA加强筋5C1、EB加强筋5C2和EA隔板5C4JA加强筋 5C1上设有EA通孔5C11，该EA通孔5C11用于C螺钉9C穿过(如图IC所示）;EB加强筋5C2上设有 EB通孔5C21，该EB通孔5C21用于D螺钉9D穿过(如图IC所示hEC护板5C的B板面5C-2上设有 EA限位柱5C3，所述EA限位柱5C3置于底座2的B-C限位盲孔2F31中。
[0109] EF护板5F的A板面5F-1上设有EB通孔圆台5F1，所述EB通孔圆台5F1的中心是EC通 孔5F2，该EC通孔5F2用于G螺钉9G穿过（如图IC所示）JF护板5F的B板面5F-2上设有EB限位 柱5F3,所述EB限位柱5F3置于底座2的BG限位盲孔2F5-3中。
[0110] 在本发明中，内支架5可以采用非金属材料加工。如塑料、PVC材料、ABS材料等。
[0111] 位移测量装置6
[0112] 参见图5、图5A、图5B、图5C、图5D所示，位移测量装置6包括有旋转盘6A、角行程大 齿轮6B、角行程小齿轮6C、主轴6D、弹性组件6E、FA轴承6F、FB轴承6G、轴密封圈6H。角行程大 齿轮6B的大齿轮齿盘内壁上设有内驱动齿6B1A，角行程大齿轮6B的大齿轮外凸圆体6B2的 外壁上设有外驱动齿6B2A。内驱动齿6B1A与外驱动齿6B2A分别与齿轮轴8F上的上从动齿 8F12和下从动齿8F3A啮合，实现角位移的传递。
[0113] 在本发明中，FA轴承6F与FB轴承6G结构相同。选用嘉兴嘉善佳俊无油润滑轴承厂 生产的滑动轴承。
[0114] 弹性组件6E
[0115] 参见图5B所示，弹性组件6E包括有FA垫片6E1、FB垫片6E2、FC垫片6Ε3、Π )垫片6E4、 FA碟簧6E6、FB碟簧6E7和FC弹性挡圈6E5JB垫片6E2与FC垫片6E3之间是FC弹性挡圈6E5JA 碟簧6E6的上下分别是FA垫片6E1与FB垫片6E2,且FA碟簧6E6、FA垫片6E1和FB垫片6E2构成 上簧组;所述上簧组套接在主轴6D的FC圆柱段6D3上。FB碟簧6E7的上下分别是FC垫片6E3与 FD垫片6E4，且FB碟簧6E7、FC垫片6E3和FD垫片6E4构成下簧组;所述下簧组套接在主轴6D的 FB圆柱段6D2上，且位于FA轴承6F的上方。
[0116] 旋转盘6A
[0117] 参见图5、图5A、图5B、图5E、图5F所示，旋转盘6A的中心处设有FA中心通孔6A2，所 述FA中心通孔6A2内设有FA凸圆台6A21和FB凸圆台6A22; FA凸圆台6A21与FB凸圆台6A22之 间是FA环形凹槽6A23。旋转盘6A的上盘面板6A1上设有FA减重凹槽6A11、FA沉头腔6A12。该 FA沉头腔6A12用于放置FA弹性挡圈61。旋转盘6A的下盘面板6A3的外缘上设有上齿6A31，上 齿6A31与角行程大齿轮6B的下齿6B3啮合，所述上齿6A31与所述下齿6B3的啮合是为了实现 旋转盘6A与角行程大齿轮6B之间的齿固定。旋转盘6A的下方设有FA圆台6A4、FA锥圆台6A5， FA圆台6A4的外壁与下盘面板6A3之间设有FA加强筋6A6，FA圆台6A4的内壁与FA锥圆台6A5 的外壁之间设有FB加强筋6A7。所述FB加强筋6A7之间是FB减重凹槽6A8。
[0118] 角行程大齿轮6B
[0119] 参见图5、图5A、图5B、图5G、图5H、图51、图5J所示，角行程大齿轮6B为一体成型结 构体。角行程大齿轮6B的中间是FB中心通孔6B8，所述FB中心通孔6B8用于主轴6D的一端穿 过；角行程大齿轮6B的一端是大齿轮齿盘6B1，该大齿轮齿盘6B1的内壁上设有内驱动齿 6B1A(该内驱动齿6B1A与齿轮轴8F上的上从动齿8F12啮合），角行程大齿轮6B的另一端是大 齿轮外凸圆体6B2，该大齿轮外凸圆体6B2上设有外驱动齿6B2A。所述大齿轮齿盘6B1的外缘 上设有外齿形6B1-1，该外齿形6B1-1的设计方便了角行程大齿轮6B的安装，同时也方便调 节角行程大齿轮6B上的驱动齿（6B1A、6B2A)与齿轮轴8F上的从动齿（8F12、8F3A，如图4B所 示)啮合。
[0120]角行程大齿轮6B的A板面6B-1从外向里设有下齿6B3、第一凹腔6B4、第二凹腔6B5、 第三凹腔6B6、第四凹腔6B7;所述第三凹腔6B6用于放置旋转盘6A的FA圆台6A4;所述第二凹 腔6B5为锥形凹腔;所述第二凹腔6B5用于过渡旋转盘6A的FA圆台6A4安装，实现FA圆台6A4 在第三凹腔6B6内的运动不被干涉;所述第四凹腔6B7用于放置旋转盘6A的FA锥圆台6A5。
[0121] 角行程大齿轮6B的B板面6B-2从外向里设有第七凹腔6B10、大齿轮外凸圆体6B2、 第六凹腔6B9、大齿轮内凸圆体6B14;所述大齿轮内凸圆体6B14上均匀分布有FA锥凸块 6B11、FB锥凸块6B12、FC锥凸块6B13,所述三个锥凸块(6B11、6B12、6B13)分别置于与角行程 小齿轮6C的小齿轮内凸圆体6C6上，且通过FA倾斜凸块6C61、FB倾斜凸块6C62、FC倾斜凸块 6C63进行圆周内的限位。所述大齿轮外凸圆体6B2的内壁上设有内凸块6B22，且内凸块6B22 上设有盲孔6B21，该盲孔6B21内内安装有螺纹镶嵌圈。所述内凸块6B22置于弧形孔6C21中。 弧形孔6C21与内凸块6B22的配合，实现了角行程大齿轮6B与角