专利名称：便于测漏的钢瓶连接锁母的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种连接紧固件，尤其涉及一种便于测漏的钢瓶连接锁母。
背景技术：
在半导体生产工艺中，对于用于储存和供应特殊高纯气体的钢瓶需求量比较大。 这些特殊气体有氯气、磷烷、三氟化氮和氨气等四十余种。这些特殊气体往往具有毒性或腐 蚀性或易燃性。随着半导体生产规模的不断扩大，瓶装特殊气体的用量也随之上升。 现在，向生产部门供应特殊气体的方法是分别将两个相同种类的气体钢瓶装在 专用的同一个气瓶柜中，其中一个气瓶供气，另一个气瓶备用。当供气钢瓶内的气体用完 时，该气瓶柜根据预先设定的工作程序可以自动停用用空的钢瓶，同时切换成备用的满钢 瓶来继续供气。从而实现了连续供气的目的。随后，气体供应操作人员可以按操作规程将 空钢瓶拆下，再换上满钢瓶做备用。如此，周而复始的供气以满足生产要求。 目前，更换特殊气体钢瓶已成为气体供应操作人员的主要日常工作，同时这也是 很容易出现误操作的工作环节。其中通过锁母联接好钢瓶螺纹接头和供气管路接头避免 泄露非常关键。现在特殊气体钢瓶螺纹接头与供气管路接头的联接是采用标准接头联接 方式，它在钢瓶螺纹接头的接口与供气管路接头的接口之间装一个专用不锈钢垫片。该不 锈钢垫片在钢瓶锁母紧固时，与钢瓶螺纹接头的接口和供气管路接头的接口相接触产生塑 性变形而起到密封接口的作用。为了保证钢瓶螺纹接头与供气管路接头的连接处不泄露， 每次更换钢瓶后，都要将钢瓶螺纹接头和供气管路接头接头内的管路通入85psi压力(合 0. 583兆帕)的氦气，再用专用的氦气测漏仪进行对钢瓶螺纹接头和供气管路接头接头的 连接处进行测漏。 目前，钢瓶螺纹接头与供气管路接头之间的联接采用普通结构的锁母如图1和图 2所示，由于是本领域公知技术，所以锁母不展开描述。而没有专为氦气测漏提供便捷条件 的锁母。测漏的时候，氦测漏仪探头只能在锁母的两侧端面进行测量。倘若钢瓶螺纹接头和 供气管路接头的连接处存在气体泄露，泄露气体会缓慢地从现有锁母的两侧端面漏出。现 行的测漏方法是每次让氦测漏仪探头在锁母两侧断面停留至少2分钟以上，等待泄露气 体从锁母的两侧断面选出。这种测漏方法不但耗时长、效率低，而且还经常出现误检测的现 象，测漏准确性非常低。而一旦在使用中发生钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处发生 漏气，必定会关闭设备，导致生产停顿，甚至造成人员伤害的安全事故。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种便于测漏的钢瓶连接锁母，可以方便对钢瓶螺纹 接头和供气管路接头的连接处进行测漏操作，而且还可以提高测漏效率和测漏准确性。 为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案 —种便于测漏的钢瓶连接锁母，所述锁母的一端与所述钢瓶螺纹接头连接，另一 端与供气管路接头连接，所述锁母的周壁内表面设有环形集气沟槽，所述锁母的周壁上至少设有一个与所述环形集气沟槽相通的通气孔。 所述环形集气沟槽设置在锁母内的内螺纹的收尾处。 所述通气孔有2-4个。 所述通气孔沿环形集气沟槽圆周方向均布在所述锁母的周壁上。 所述通气孔有3个。 所述钢瓶螺纹接头和供气管路接头采用垫片密封连接。 所述垫片是不锈钢垫片。 本实用新型的有益效果如下 本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁母在锁母内部设置环形集气沟槽和通气孔。当 更换完特殊气体钢瓶需要进行氨气测漏时，如果钢瓶螺纹接头与供气管路接头的连接处有 漏气现象，由于环形集气沟槽相对锁母的两侧端面与密封面更加接近，且环形集气沟槽通 过通气孔连接到室外大气，所以环形集气沟槽内的压强相对比较小，所以漏出的气体会马 上汇集到环形集气沟槽内，并通过通气孔排出。因此，将氦测漏仪探头放在任意一个通气 孔，就可以很方便地捕捉到泄露的氦气，提高了测漏效率，而且可以提高测漏的准确性。通 过提高测漏的准确性，可以从根本上消除了因钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处发生 泄露而关闭设备，以致影响生产，甚至造成人员伤害的安全事故发生。
本实用新型的便于测漏的钢瓶连接锁母由以下的实施例及附图给出。 图1是现有的钢瓶连接锁母的结构示意图； 图2是图1的A-A剖视图； 图3是本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁母的结构示意图； 图4是图1的B-B剖视图； 图5是本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁的使用状态示意图； 图中，l-锁母，ll-环形集气沟槽，12-通气孔，2-供气管路接头，3-钢瓶螺纹接头。
具体实施方式以下将对本实用新型的特殊气体泄露保护装置作进一步的详细描述。 下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选
实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型
的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对
本实用新型的限制。 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。 为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。 请参阅图3、图4和图5，这种便于测漏的钢瓶连接锁母，所述锁母1的一端与所述 钢瓶螺纹接头3连接，另一端与供气管路接头2连接，所述锁母1的周壁内表面设置有与锁 母1内腔连通的环形集气沟槽ll，且所述锁母1的周壁上至少设有一个与所述环形集气沟 槽11相通的通气孔12。 所述环形集气沟槽11设置在锁母1内的内螺纹的收尾处。 所述通气孔12有2-4个。本实施例中，所述通气孔12有3个。所述通气孔12沿 环形集气沟槽11圆周方向均布在所述锁母1的周壁上。 所述钢瓶螺纹接头3和供气管路接头2采用垫片密封连接。本实施例中，所述垫 片是不锈钢垫片。 本实用新型是这样工作的 请参阅图5，当更换完特殊气体钢瓶，需要对钢瓶螺纹接头3和供气管路接头2的 连接处进行氦气测漏时，由于所述通气孔12沿环形集气沟槽11圆周方向均布在所述锁母 1的周壁上，所以可以很方便地将氦气测漏仪的探头放在任意一个通气孔12内。由于环形 集气沟槽11与锁母1的内腔相通，而且环形集气沟槽11相对锁母1的两侧端面更接近钢 瓶螺纹接头3和供气管路接头1的接口位置(即连接处或密封面)，且环形集气沟槽11由 于经通气孔12与室外大气相通故环形集气沟槽11内的压强相对比较小。所以，钢瓶螺纹 接头3和供气管路接头2的连接处漏出的气体很容易汇集到该环形集气沟槽11，并通过通 气孔12排出。所以，处于通气孔12内的氦气测漏仪的探头可以立即探测到泄露的氦气，而 不需要像现有的测漏方法那样需要至少两分钟，等待泄露的氦气从锁母1的两端面缓慢逸 出。因此，采用本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁母不但提高了测量效率，而且提高了测量 的准确性，从而从根本上消除了因钢瓶螺纹接头3和供气管路接头2的连接处发生泄露而 导致生产停顿和人员伤害等安全事故。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种便于测漏的钢瓶连接锁母，所述锁母的一端与所述钢瓶螺纹接头连接，另一端与供气管路接头连接，其特征在于，所述锁母的周壁内表面设有环形集气沟槽，所述锁母的周壁上至少设有一个与所述环形集气沟槽相通的通气孔。
2. 如权利要求1所述的便于测漏的钢瓶连接锁母，其特征在于，所述环形集气沟槽设 置在锁母内的内螺纹的收尾处。
3. 如权利要求1所述的便于测漏的钢瓶连接锁母，其特征在于，所述通气孔有2-4个。
4. 如权利要求3所述的便于测漏的钢瓶连接锁母，其特征在于，所述通气孔沿环形集 气沟槽圆周方向均布在所述锁母的周壁上。
5. 如权利要求4所述的便于测漏的钢瓶连接锁母，其特征在于，所述通气孔有3个。
6. 如权利要求1所述的便于测漏的钢瓶连接锁母，其特征在于，所述钢瓶螺纹接头和 供气管路接头采用垫片密封连接。
7. 如权利要求1所述的便于测漏的钢瓶连接锁母，其特征在于，所述垫片是不锈钢垫片。
专利摘要本实用新型涉及一种连接紧固件，尤其涉及一种便于测漏的钢瓶连接锁母。公开了一种便于测漏的钢瓶连接锁母，所述锁母的一端与所述钢瓶螺纹接头连接，另一端与供气管路接头连接，所述锁母的周壁内表面设有环形集气沟槽，所述锁母的周壁上至少设有一个与所述环形集气沟槽相通的通气孔。本实用新型便于测漏的钢瓶连接锁母，可以方便对钢瓶螺纹接头和供气管路接头的连接处进行测漏操作，而且还可以提高测漏效率和测漏准确性。
文档编号F17C13/00GK201531746SQ20092021096
公开日2010年7月21日 申请日期2009年10月19日 优先权日2009年10月19日
发明者王东海 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司