气体传输系统的制作方法

文档序号:20877058发布日期:2020-05-26 16:42阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体传输系统,包括:气体箱,具有储存气体的多个储气室;多个腔室;气体传输管,一端与多个所述储气室连接,另一端与多个所述腔室连接,所述气体传输系统特征在于,

所述气体传输管包括:

多个第一气体传输管,多个所述第一气体传输管的一端与多个所述储气室一一对应地连接;

第二气体传输管,所述第二气体传输管的一端与多个所述第一气体传输管的另一端连接,所述第二气体传输管的另一端与多个所述腔室连接,

所述第二气体传输管的至少一部分的内径比所述第一气体传输管的内径大。

2.根据权利要求1所述的气体传输系统,其特征在于,

所述第二气体传输管的第一长度比第二长度长。

3.根据权利要求2所述的气体传输系统,其特征在于,

所述第二气体传输管形成为螺旋形状。

4.根据权利要求1所述的气体传输系统,其特征在于,

所述第二气体传输管包括:

气体混合管,所述气体混合管的一端与多个所述第一气体传输管的另一端连接;

多个气体分配管,多个所述气体分配管的每一个所述气体分配管的一端与所述气体混合管的另一端连接,每一个所述气体分配管的另一端与多个所述腔室一一对应地连接,

所述气体混合管的内径比所述第一气体传输管的内径和多个所述气体分配管的内径大。

5.根据权利要求4所述的气体传输系统,其特征在于,

所述气体混合管的第三长度比第四长度长。

6.根据权利要求5所述的气体传输系统,其特征在于,

所述气体混合管形成为螺旋形状。

7.根据权利要求4所述的气体传输系统,其特征在于,

所述气体混合管包括:

第一气体混合管,所述第一气体混合管的两端封闭,所述第一气体混合管的一侧与多个所述第一传输管连接;

第二气体混合管,所述第二气体混合管的一端与所述第一气体混合管的另一侧连接,另一端与多个所述气体分配管连接,

在所述第一气体混合管和所述第二气体混合管中,至少一个气体混合管的内径比所述第一气体传输管的内径和多个所述气体分配管的内径大。

8.根据权利要求7所述的气体传输系统,其特征在于,

所述第一气体混合管的内径和所述第二气体混合管的内径均比所述第一气体传输管的内径和多个所述气体分配管的内径大。

9.根据权利要求7或8所述的气体传输系统,其特征在于,

所述第二气体混合管的第五长度比第六长度长。

10.根据权利要求9所述的气体传输系统,其特征在于,

所述第二气体混合管形成为螺旋形状。

11.根据权利要求1所述的气体传输系统,其特征在于,

多个所述第一气体传输管的内径根据储存在多个所述储气室的气体的密度而设置为彼此不同。

12.根据权利要求11所述的气体传输系统,其特征在于,

储存在多个所述储气室的气体的密度越大,对应连接的第一气体传输管的内径越大。

13.根据权利要求4所述的气体传输系统,其特征在于,

在多个所述气体分配器中的至少一个气体分配器中设置有限流孔。


技术总结
本发明提供一种气体传输系统,包括:气体箱,具有储存气体的多个储气室;多个腔室;气体传输管,一端与多个所述储气室连接,另一端与多个所述腔室连接,所述气体传输管包括:多个第一气体传输管,多个所述第一气体传输管的一端与多个所述储气室一一对应地连接;第二气体传输管,所述第二气体传输管的一端与多个所述第一气体传输管的另一端连接,所述第二气体传输管的另一端与多个所述腔室连接,所述第二气体传输管的至少一部分的内径比所述第一气体传输管的内径大。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:长鑫存储技术有限公司
技术研发日:2018.11.20
技术公布日:2020.05.26
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1