气体传输系统的制作方法

本发明涉及气体传输领域。

背景技术：

现有技术中，大部分的半导体设备具有气体箱，气体从气体箱流出，并且在工艺腔室内汇集并产生混合，参与到制程工艺中。如果是这样，那么当气体在通入具有双工艺腔式的机台中时(dualchamberquarterchamber)，由于途径管道的差异、混合度的差异会使得最终流入到相同机台的不同反应腔室的气体比例和流量有很大的差异，导致每个反应腔体内的制程不稳定，同一机台得到的产品均一性较差。现在已有的改善方法是通过控制一些工艺参数，例如调节射频产生器的功率(rfpower)，加热器温度(heatertemperature)等来改善处理条件控制工艺的稳定性，这样就需要根据各个工艺腔室的气体条件差异来区别进行处理。这样的结果，并非是在相同的设备上生产晶圆(wafer)的理想条件。在晶圆(wafer)进行工艺气体处理的上表面上，会因为工艺腔室的环境不同，最终导致晶圆上表面上量测的工艺数据不同，也会对最终产品的良率产生影响。对于设备而言，因为部件的使用情况不同，导致设备故障率增加，使停机维修的时间增多。

在现有技术的中，如图7所示，包括腔室100、第一气体传输管110、第二气体传输管120、第三气体传输管130、第四气体传输管140、腔室150。其中，第一气体传输管至第四气体传输管的内径的大小相同，其仅仅发挥气体传输的作用。但是，气体在流动过程中，难以在相同内径尺寸的管道中进行充分的混合，而且，如果一味地增加管径的大小，那么成本会增加。在现有技术中，没有考虑到气体充分混合的问题，导致在工艺效果差等问题。

技术实现要素：

本发明为了解决上述问题而提出，提供一种气体传输系统，能够将气体进行充分混合后供给给各个腔室。

为了解决上述问题，本发明提供一种气体传输系统，包括：气体箱，具有储存气体的多个储气室；多个腔室；气体传输管，一端与多个所述储气室连接，另一端与多个所述腔室连接，

所述气体传输管包括：

多个第一气体传输管，多个所述第一气体传输管的一端与多个所述储气室一一对应地连接；

第二气体传输管，所述第二气体传输管的一端与多个所述第一气体传输管的另一端连接，所述第二气体传输管的另一端与多个所述腔室连接，

所述第二气体传输管的至少一部分的内径比所述第一气体传输管的内径大。

所述第二气体传输管的第一长度比第二长度长。

所述第二气体传输管形成为螺旋形状。

所述第二气体传输管包括：

气体混合管，所述气体混合管的一端与多个所述第一气体传输管的另一端连接；

多个气体分配管，多个所述气体分配管的每一个所述气体分配管的一端与所述气体混合管的另一端连接，每一个所述气体分配管的另一端与多个所述腔室一一对应地连接，

所述气体混合管的内径比所述第一气体传输管的内径和多个所述气体分配管大。

所述气体混合管的第三长度比第四长度长。

所述气体混合管形成为螺旋形状。

所述气体混合管包括：

第一气体混合管，所述第一气体混合管的两端封闭，所述第一气体混合管的一侧与多个所述第一传输管连接；

第二气体混合管，所述第二气体混合管的一端与所述第一气体混合管的另一侧连接，另一端与多个所述气体分配管连接，

在所述第一气体混合管和所述第二气体混合管中，至少一个气体混合管的内径比所述第一气体传输管的内径和多个所述气体分配管的内径大。

所述第一气体混合管的内径和所述第二气体混合管的内径均比所述第一气体传输管的内径和多个所述气体分配管的内径大。

所述第二气体混合管的第五长度比第六长度长。

所述第二气体混合管形成为螺旋形状。

多个所述第一气体传输管的内径根据储存在多个所述储气室的气体的密度而设置为彼此不同。

储存在多个所述储气室的气体的密度越大，对应连接的第一气体传输管的内径越大。

在多个所述气体分配器中的至少一个气体分配器中设置有限流孔。

附图说明

图1是示出本发明一实施例的气体传输系统的示意图。

图2是示出本发明一实施例的气体传输系统中，第二气体传输管的示意图。

图3是示出本发明另一实施例的气体传输系统的示意图。

图4是示出本发明的另一实施例的气体传输系统中，第二气体传输管的示意图。

图5是示出本发明的又一实施例的气体传输系统的示意图。

图6是示出本发明的又一实施例的气体传输系统中，第二气体传输管的示意图。

图7是示出现有技术的气体传输系统的示意图。

具体实施方式

参照图1，本发明提供一种气体传输系统，包括：气体箱90，具有储存气体的多个储气室91、92；多个腔室13；气体传输管10，一端与多个储气室91、92连接，另一端与多个腔室13连接。在腔室13中可以对晶圆进行加工。

在本发明的一实施例中，气体传输管10可以包括：多个第一气体传输管11，多个第一气体传输管11的一端与多个储气室91、92一一对应地连接；第二气体传输管12，第二气体传输管12的一端与多个第一气体传输管11的另一端连接，第二气体传输管12的另一端与多个腔室13连接。

第二气体传输管12的至少一部分的内径比第一气体传输管11的内径大。

为了在第二气体传输管12中流动的气体能够更加充分地进行混合，因此，气体在第二气体传输管12中流动的总长度(第二气体传输管12的第一长度)比第二气体传输管12的实际长度要长。也就是说，第一长度可以比第二气体传输管12的与多个第一气体传输管11的另一端连接的一端到与多个腔室13连接的另一端的直线距离(第二气体传输管12的第二长度)长。由此，气体在第二气体传输管12中能够更加充分地混合。这里的直线距离是指两个端点之间最短的距离，可以是第二气体传输管12的两个端点的直线距离。

参照图2，第二气体传输管12可形成为螺旋形状。螺旋形状的第二气体传输管12不仅可以加长第二气体传输管12的长度，而且能够减少所占据的空间。当然，第二气体传输管12也可以是不规则形状，只要能够在加长长度以提供气体混合的足够的空间，则不限制其形状。

参照图3，在本发明的另一实施例中，第二气体传输管12可以包括：气体混合管121，气体混合管121的一端与多个第一气体传输管11的另一端连接；多个气体分配管122，多个气体分配管122的每一个气体分配管122的一端与气体混合管121的另一端连接，每一个气体分配管122的另一端与多个腔室13一一对应地连接。

气体混合管121的内径比第一气体传输管11的内径和多个气体分配管122的内径大。

为了在气体混合管121中流动的气体能够更加充分地进行混合，因此，气体在气体混合管121中流动的总长度(气体混合管121的第三长度)比气体混合管121的实际长度要长。也就是说，第三长度可以比气体混合管121的与多个第一气体传输管11的另一端连接的一端到与多个气体分配管122的每一个气体分配管122的一端连接的另一端的直线距离长(气体混合管121的第四长度)。这里的直线距离是指气体混合管121的两个端点之间最短的距离。

参照图4，气体混合管121形成为螺旋形状。

参照图5，在本发明的又一实施例中，气体混合管121可以包括：第一气体混合管121a，第一气体混合管121a的两端封闭，第一气体混合管121a的一侧与多个第一传输管连接；第二气体混合管121b，第二气体混合管121b的一端与第一气体混合管121a的另一侧连接，另一端与多个气体分配管122连接。

在第一气体混合管121a和第二气体混合管121b中，至少一个气体混合管的内径比第一气体传输管11的内径和多个气体分配管122的内径大。

第一气体混合管121a的内径和第二气体混合管121b的内径均比第一气体传输管11的内径和多个气体分配管122的内径大。

气体在第二气体混合管121b中流动的总长度(第二气体混合管121b的第五长度)比第二气体混合管121b的与第一气体混合管121a的另一侧连接的一端到第二气体混合管121b的与气体分配管122的一端连接的另一端的直线距离(第二气体混合管121b的第六长度)长。这里的直线距离可以是第二气体混合管121b的两端之间的最短距离。

第二气体混合管121b形成为螺旋形状。

气体的密度是不同的。因此，在气体密度不同的气体穿过相同内径的管道时，难免出现气体流量不同，导致气体混合效果下降的问题。本发明的多个第一气体传输管11的内径根据储存在多个储气室91、92的气体的密度而设置为彼此不同。

储存在多个储气室91、92的气体的密度越大，对应连接的第一气体传输管11的内径越大。

参照图6，在多个气体分配器中的至少一个气体分配器中设置有限流孔14。混合后的气体利用限流孔14来控制气体的流量，对元件的加工更加有利，得到更加完美的工件。

在本发明中，气体从储气室91、92开始向第一气体传输管11流动，经由第一气体传输管11后再第二气体传输管12充分混合，混合后再分配到各个腔室13中。

以上说明中，将储气室90、腔室13、第一传输管11、气体分配管122的数量以两个为例进行说明。但是其数量不限于此。