一种气体充装加工用柜体的制作方法

文档序号:31261803发布日期:2022-08-24 10:31阅读:129来源:国知局
一种气体充装加工用柜体的制作方法

1.本实用新型涉及气体充装相关技术领域,尤其涉及一种气体充装加工用柜体。


背景技术:

2.随着集成电路等行业的高速发展,在集成电路及半导体成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高。现有技术中的气体充装一般是简单的对零散的若干个充装钢瓶直接进行充装处理,这样的结构设置,使得充装钢瓶的充装过程的管控较差。
3.有鉴于上述的缺陷,本设计人积极加以研究创新,以期创设一种气体充装加工用柜体,使其更具有产业上的利用价值。


技术实现要素:

4.为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种气体充装加工用柜体。
5.为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
6.一种气体充装加工用柜体,包括从下往下依次包括柜体和负压阀箱,柜体内靠近顶部的一侧沿着x轴方向设置有第一卡座,柜体内的底部沿着x轴方向设置有固定底座,柜体沿着x轴方向两侧均铰接设置有柜门,第一卡座上沿着y轴方向的两侧均沿着x轴方向均匀的设置有若干个第一卡腔,柜门的顶部设置有第二卡座,第二卡座上均匀的开设有若干个与第一卡腔相配合的第二卡腔,固定底座上沿着y轴方向的两侧均沿着x轴方向均匀的设置有若干个安装腔体,安装腔体内设置有气体充装钢瓶,安装腔体内设置有顶升台,固定底座的底部内侧开设有顶升空腔,顶升空腔的底部中间位置设置有顶升气缸,顶升气缸顶部的驱动端与上方的顶升联动板沿着z轴方向驱动连接设置,顶升联动板上沿着x轴方向设置有若干个顶升柱,顶升柱穿过安装腔体底部开设的顶升孔后与安装腔体内的顶升台相连接。
7.作为本实用新型的进一步改进,顶升台上设置有接触垫,接触垫为硅胶垫或者橡胶垫。
8.作为本实用新型的进一步改进,顶升空腔内设置有若干个顶升导柱,顶升联动板与顶升导柱相连接。
9.作为本实用新型的进一步改进,安装腔体内沿着x轴方向的两侧均设置有导轨,顶升台沿着x轴方向的两侧均通过滑块与导轨相连接。
10.作为本实用新型的进一步改进,柜体和负压阀箱之间设置有间隔板,气体充装钢瓶正上方的间隔板上开设有通孔。
11.作为本实用新型的进一步改进,固定底座外侧的柜体上还设置有斜坡。
12.作为本实用新型的进一步改进,柜体的顶部一侧还设置有控制柜。
13.借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:
14.本实用新型一种气体充装加工用柜体,通过柜体的结构设置,可以将需要充装的气体充装钢瓶统一放置在柜体内进行统一管理;通过第一卡座、柜门上的第二卡座以及固
定底座同时对气体充装钢瓶进行固定支撑处理,结构设计简单,气体充装钢瓶的安装较为稳固;通过顶升台以及斜坡的结构设置,同时也方便气体充装钢瓶的安放。
15.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
17.图1是本实用新型一种气体充装加工用柜体的结构示意图;
18.图2是图1中第一卡座的结构示意图;
19.图3是图1中柜门的结构示意图;
20.图4是图1中柜体和负压阀箱之间的间隔板的结构示意图;
21.图5是图1中固定底座的结构示意图。
22.其中,图中各附图标记的含义如下。
23.1 柜体
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2 负压阀箱
24.3 控制柜
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4 气体充装钢瓶
25.5 第一卡座
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6 柜门
26.7 固定底座
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8 斜坡
27.9 第一卡腔
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10 第二卡座
28.11 第二卡腔
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12 间隔板
29.13 通孔
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14 安装腔体
30.15 顶升台
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16 接触垫
31.17 顶升空腔
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18 顶升气缸
32.19 顶升联动板
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20 顶升柱
33.21 顶升导柱
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22 顶升孔
34.23 滑块
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24 导轨
具体实施方式
35.下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
36.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面将结合本实用新型实施例中附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例,本领域技术人员在没有
做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
37.实施例
38.如图1~图5所示,
39.一种气体充装加工用柜体,包括从下往下依次包括柜体1和负压阀箱2,柜体1内靠近顶部的一侧沿着x轴方向设置有第一卡座5,柜体1内的底部沿着x轴方向设置有固定底座7,柜体1沿着x轴方向两侧均铰接设置有柜门6,第一卡座5上沿着y轴方向的两侧均沿着x轴方向均匀的设置有若干个第一卡腔9,柜门6的顶部设置有第二卡座10,第二卡座10上均匀的开设有若干个与第一卡腔9相配合的第二卡腔11,固定底座7上沿着y轴方向的两侧均沿着x轴方向均匀的设置有若干个安装腔体14,安装腔体14内设置有气体充装钢瓶4,安装腔体14内设置有顶升台15,固定底座7的底部内侧开设有顶升空腔17,顶升空腔17的底部中间位置设置有顶升气缸18,顶升气缸18顶部的驱动端与上方的顶升联动板19沿着z轴方向驱动连接设置,顶升联动板19上沿着x轴方向设置有若干个顶升柱20,顶升柱20穿过安装腔体14底部开设的顶升孔22后与安装腔体14内的顶升台15相连接。
40.优选的,顶升台15上设置有接触垫16,接触垫16为硅胶垫或者橡胶垫。
41.优选的,顶升空腔17内设置有若干个顶升导柱21,顶升联动板19与顶升导柱21相连接。
42.优选的,安装腔体14内沿着x轴方向的两侧均设置有导轨24,顶升台15沿着x轴方向的两侧均通过滑块23与导轨24相连接。
43.优选的,柜体1和负压阀箱2之间设置有间隔板12,气体充装钢瓶4正上方的间隔板12上开设有通孔13。
44.优选的,固定底座7外侧的柜体1上还设置有斜坡8。
45.优选的,柜体1的顶部一侧还设置有控制柜3。
46.本实用新型一种气体充装加工用柜体,通过柜体的结构设置,可以将需要充装的气体充装钢瓶统一放置在柜体内进行统一管理;通过第一卡座、柜门上的第二卡座以及固定底座同时对气体充装钢瓶进行固定支撑处理,结构设计简单,气体充装钢瓶的安装较为稳固;通过顶升台以及斜坡的结构设置,同时也方便气体充装钢瓶的安放。
47.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
48.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接:可以是机械连接,也可以是电连接:可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
49.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,并不用于限制本实用新型,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
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