一种管道监控装置及管道监控方法与流程

本发明涉及气体输送管道，尤其涉及一种管道监控装置及管道监控方法。

背景技术：

1、在半导体工厂中，许多气体具有高度的危险性，例如硅烷、三氟化氯、氯气等气体都有较高的危险性，对于前述的气体传输过程中，为了保证气体传输的安全性，通常会使用双套管的方式进行传输。双套管包括内管和外管，内管设置于外管内部，在气体在内管中传输。当内管泄漏时，外管可以起到一定程度的防护作用，防止气体泄漏到工厂环境中，从而降低风险。

2、现有技术中有一种双重套管装置，双重套管装置包括内管和外管，内管设置于外管内部，内管用于传输气体，外管的一侧设置有气压传感装置，外管与内管之间填充有氮气，套管的顶部设置有气体检测报警装置。在现有技术的方案中，当外管或内管发生泄漏时，将会引起外管与内管之间的气压产生变化，从而引起气压传感装置的变化，进而引起气体检测报警装置的工作，提示操作人员对双重套管进行维修或更换。

3、但是，在上述技术方案中，不管是内管发生泄漏还是外管发生泄漏，都会引起气压传感装置的变化，操作人员无法直接从气压传感装置的变化上判断出内管发生泄漏还是外管发生泄漏。因此，在现有技术中对于双重套管装置内部的泄漏情况监控并不准确直观，影响操作人员在后续的检查与维修的工作中的工作效率。当内管与外管全部发生泄漏时，泄漏出的气体可能危害到操作人员的人身安全。

4、因此，亟需研究一种管道监控装置及管道监控方法来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种管道监控装置及管道监控方法，在双套管输送气体的方式中，能够对气体压力进行清楚的展示，并且能借助气体压力的变化情况判断出是双套管中的内管发生泄漏还是外管发生泄漏，从而使操作人员在后续的检查与维修的工作中提高效率。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种管道监控装置，包括：

4、第一管道，所述第一管道内部形成第一空间，所述第一管道用于传输气体，所述第一管道在传输气体时，所述第一空间内部的气压定义为第一气压；

5、第一检测显示组件，所述第一检测组件与所述第一管道连接，所述第一检测显示组件用于检测所述第一气压并显示出第一气压值；

6、第二管道，所述第二管道套设于所述第一管道外部，所述第二管道的两端口均与所述第一管道的外侧壁封闭连接，所述第一管道的外侧壁与所述第二管道的内侧壁形成第二空间，所述第二空间内具有第二气压；

7、第二检测显示组件，所述第二检测显示组件与所述第二管道或所述第一管道连接，所述第二检测显示组件用于检测所述第二气压并显示所述第二气压值。

8、作为优选，所述管道监控装置还包括抽气组件，所述抽气组件的抽气端口与所述第二空间内部连通，所述抽气组件用于抽出所述第二空间内的气体。

9、作为优选，所述管道监控装置还包括充气组件，所述充气组件的充气端口与所述第二空间内部连通，所述充气组件用于向所述第二空间内充入气体。

10、作为优选，所述管道监控装置还包括报警组件；

11、所述报警组件与所述第一检测显示组件电连接，检测到所述第一气压变化超出第一预设区间的所述第一检测显示组件能够触发所述报警组件；

12、和/或

13、所述报警组件与所述第二检测显示组件电连接，检测到所述第二气压变化超出第二预设区间的所述第二检测显示组件能够触发所述报警组件。

14、作为优选，所述第二管道的长度能够调节，以套设于不同长度的所述第一管道的外部。

15、作为优选，所述第二管道包括：

16、第一连接管道，所述第一连接管道的一端能够与所述第一管道的外侧壁封闭连接；

17、第二连接管道，所述第二连接管道的一端能够与所述第一管道的外侧壁封闭连接；

18、滑动管道，所述滑动管道的一端与所述第一连接管道的另一端滑动密封连接，所述滑动管道的另一端与所述第二连接管道的另一端滑动密封连接。

19、作为优选，所述管道监控装置还包括支撑件，所述支撑件设置于所述第二空间内部，所述支撑件的一侧与所述第一管道的外侧壁抵接，所述支撑件的另一侧与所述第二管道的内侧壁抵接。

20、一种基于上述管道监控装置的管道监控方法，所述管道监控方法包括：

21、预设第一管道在传输气体时，所述第一空间内部的理论气压为m，预设第二空间内部的理论气压为n；

22、定义所述第一检测显示组件检测并显示出的所述第一气压值为a，定义所述第二检测显示组件检测并显示出的所述第二气压值为b；

23、若|a-m＜l，认定所述第一气压值符合要求，若|a-m＞l，认定所述第一气压值不符合要求；若|b-n＜l，认定所述第二气压值符合要求，若|a-m＞l，认定所述第二气压值不符合要求；若||a+b|-|m+n||＜l，认定所述第一气压值与所述第二气压值之和符合要求；若||a+b|-|m+n||＞l，认定所述第一气压值与所述第二气压值之和不符合要求；l为一常数气压值且100kpa＞l＞30kpa；

24、若，所述第一气压值符合要求，所述第二气压值符合要求，则得出，所述第一管道与所述第二管道均未泄漏；

25、若，所述第一气压值符合要求，所述第二气压值不符合要求，则得出，所述第二管道泄漏；

26、若，所述第一气压值不符合要求，所述第二气压值不符合要求，所述第一气压值与所述第二气压值之和符合要求，则得出，所述第一管道泄漏；

27、若，所述第一气压值不符合要求，所述第二气压值不符合要求，所述第一气压值与所述第二气压值之和不符合要求，则得出，所述第一管道与所述第二管道均泄漏。

28、作为优选，定义大气压值为c；所述第二空间内部的理论气压为正压；

29、所述第二气压值大于所述第一气压值，有b＞a＞c,若，所述第一气压值变大，所述第二气压值变小，所述第一气压值与所述第二气压值之和符合要求，则得出，所述第一管道泄漏；

30、或

31、所述第二气压值小于所述第一气压值，有a＞b＞c,若，所述第一气压值变小，所述第二气压值变大，所述第一气压值与所述第二气压值之和符合要求，则得出，所述第一管道泄漏。

32、作为优选，定义大气压值为c；所述第二空间内部的理论气压为负压，所述第二气压值小于0，有a＞c＞0＞b；

33、若，所述第一气压值变小，所述第二气压值变大，所述第一气压值与所述第二气压值之和符合要求，则得出，所述第一管道泄漏。

34、本发明的有益效果：

35、本发明所提供的管道监控装置中，通过设置第一检测显示组件对第一空间内部的第一气压进行检测并显示，使得操作人员能够由第一检测显示组件直接得出第一气压的变化情况。通过设置第二检测显示组件对第二空间内部的第二气压进行检测并显示，使得操作人员能够由第二检测显示组件直接得出第二气压的变化情况，操作人员结合第一气压的变化情况与第二气压的变化情况能够对第一管道发生泄漏还是第二管道发生泄漏作出判断，使得操作人员在后续检查与维修过程中能够有针对性的进行工作，提高了操作人员的工作效率。

36、本发明所提供的管道监控方法中，首先预设第一管道在传输气体时，第一空间内部的理论气压为m，预设第二空间内部的理论气压为n。然后定义第一检测显示组件2检测并显示出的第一气压值为a，定义第二检测显示组件4检测并显示出的第二气压值为b。随后对第一气压值与第二气压值是否符合要求设定标准，根据此标准来判断第一管道与第二管道的泄漏情况。具体地，若|a-m|＜l，认定第一气压值符合要求，若|a-m|＞l，认定第一气压值不符合要求。若|b-n|＜l，认定第二气压值符合要求，若|a-m|＞l，认定第二气压值不符合要求。若||a+b|-|m+n||＜l，认定第一气压值与第二气压值之和符合要求。若||a+b|-|m+n||＞l，认定第一气压值与第二气压值之和不符合要求。其中，l为一常数气压值且100kpa＞l＞30kpa。若，第一气压值符合要求，第二气压值符合要求，则得出，第一管道与第二管道均未泄漏。若，第一气压值符合要求，第二气压值不符合要求，则得出，第二管道泄漏。若，第一气压值不符合要求，第二气压值不符合要求，第一气压值与第二气压值之和符合要求，则得出，第一管道泄漏。若，第一气压值不符合要求，第二气压值不符合要求，第一气压值与第二气压值之和不符合要求，则得出，第一管道与第二管道均泄漏。