一种光刻胶瓶的拧盖机构及拧盖装置的制作方法

本技术涉及芯片制造辅助用具，尤其涉及一种光刻胶瓶的拧盖机构及拧盖装置。

背景技术：

1、芯片制造主要是在晶圆片上不断累加图案让其达到纵向连接的过程。光刻是不同图案累加的基础。光刻胶又称光阻剂，是光刻的基本物料之一。由于光刻胶中含有易挥发有机溶剂成分，因而光刻胶瓶有着较高的密闭性，进而需要较大力才能开启瓶盖。然而目前为了减小机台的真空泵抽取压力，使得让光刻胶瓶的瓶口面积减小。由于瓶口面积的减小使得瓶盖体积也随之减小，进而导致操作人员的手掌难以在瓶盖上着力将瓶盖开启。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种便于开启光刻胶瓶的瓶盖的装置。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种光刻胶瓶的拧盖机构，包括套件和拧盖组件；所述套件上设置有通孔，所述套件内设置有与通孔连通的拧盖空间；所述拧盖组件包括单向转动设置在所述拧盖空间内的拧盖环，所述拧盖环的内圈用于套设在所述光刻胶瓶的瓶盖上。

3、进一步地，所述拧盖组件还包括棘爪，所述棘爪可转动地设置在所述拧盖空间内，所述拧盖环的外圈上周向设置有与棘爪相适配的单向齿。

4、进一步地，所述拧盖环的内圈上周向设置有多个卡齿。

5、一种光刻胶瓶的拧盖装置，所述拧盖装置包括手柄和上述方案中任一项所述的拧盖机构，所述拧盖机构设置在手柄的端部。

6、进一步地，所述拧盖机构与手柄螺纹连接。

7、进一步地，所述手柄上设置有防滑纹路。

8、本实用新型的有益效果在于：在开启光刻胶瓶的瓶盖过程中，将设置在套件内的拧盖组件的拧盖环套设在光刻胶瓶的瓶盖上，然后操作人员可以旋转手柄将光刻胶瓶的瓶盖拧松。同时单向转动设置的拧盖环，使得在拧盖过程中，无需反复套接拧盖环与光刻胶瓶的瓶盖，从而提高开盖效率。

技术特征：

1.一种光刻胶瓶的拧盖机构，其特征在于：包括套件和拧盖组件；所述套件上设置有通孔，所述套件内设置有与通孔连通的拧盖空间；所述拧盖组件包括单向转动设置在所述拧盖空间内的拧盖环，所述拧盖环的内圈用于套设在所述光刻胶瓶的瓶盖上。

2.根据权利要求1所述光刻胶瓶的拧盖机构，其特征在于：所述拧盖组件还包括棘爪，所述棘爪可转动地设置在所述拧盖空间内，所述拧盖环的外圈上周向设置有与棘爪相适配的单向齿。

3.根据权利要求1所述光刻胶瓶的拧盖机构，其特征在于：所述拧盖环的内圈上周向设置有多个卡齿。

4.一种光刻胶瓶的拧盖装置，其特征在于：所述拧盖装置包括手柄和权利要求1-3中任一项所述的拧盖机构，所述拧盖机构设置在手柄的端部。

5.根据权利要求4所述光刻胶瓶的拧盖装置，其特征在于：所述拧盖机构与手柄螺纹连接。

6.根据权利要求4所述光刻胶瓶的拧盖装置，其特征在于：所述手柄上设置有防滑纹路。

技术总结
本技术涉及芯片制造辅助用具技术领域，具体涉及一种光刻胶瓶的拧盖机构及拧盖装置，包括手柄、套件和拧盖组件；所述套件上设置有通孔，所述套件内设置有与通孔连通的拧盖空间；所述拧盖组件包括单向转动设置在所述拧盖空间内的拧盖环，所述拧盖环的内圈用于套设在所述光刻胶瓶的瓶盖上；所述拧盖机构设置在手柄的端部。本技术在开启光刻胶瓶的瓶盖过程中，将设置在套件内的拧盖组件的拧盖环套设在光刻胶瓶的瓶盖上，然后操作人员可以旋转手柄将光刻胶瓶的瓶盖拧松。同时单向转动设置的拧盖环，使得在拧盖过程中，无需反复套接拧盖环与光刻胶瓶的瓶盖，从而提高开盖效率。

技术研发人员：李慧敏,钟伟华,林武,李景浩,李家昌,鲁日彬,彭足超
受保护的技术使用者：福建兆元光电有限公司
技术研发日：20230410
技术公布日：2024/1/15