流体控制装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及流体控制装置，尤其涉及由多个流体控制设备及多个通路块形成的流体控制装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造装置中使用的流体控制装置中，如下的集成化不断发展:多个流体控制设备相邻地配置，且将安装在支承构件上的管路(line)呈并联状地设置在基座构件上，由此无需经由管和接头地构成流体控制装置。专利文献I中，作为这种流体控制装置，公开了如下装置:该装置具备:上层，其通过将多个流体控制设备呈串联状地配置而成的一列呈并联状地配置多列而形成；和下层，其具有用于将上层的多个流体控制设备连接的多个通路块。
[0003]图12中示出了本发明的流体控制装置作为对象的以往的流体控制装置。图12示出了呈并联状地配置有多列的上层以及下层的一列。
[0004]以往的流体控制装置，作为配置于上层的多个流体控制设备而从左侧(入口侧)开始使用入口侧第3开关阀(91)、压力调节器(92)、过滤器(93)、入口侧第I开关阀(94)、入口侧第2开关阀(95)、质量流量控制器(96)及出口侧第I开关阀(97)。在入口侧第3开关阀(91)上连接有工艺气体供给用的配管(103)。
[0005]质量流量控制器(96)包括:质量流量控制器主体(96a);和在质量流量控制器主体(96a)的两侧面设置的入口侧及出口侧的伸出部(96b) (96c)。
[0006]各流体控制设备(91) (92) (93) (94) (95) (96) (97)具有在下方开口的通路，该通路通过配置于下层的各种形状的多个块接头(或者通路块)而连接。以往的流体控制装置，作为多个块接头(通路块)而具备:6个块接头(99)，其具有V字状通路(99a)且将相邻的流体控制设备(91) (92) (93) (94) (95) (96b) (96c) (97)连接；块接头(100)，其配置于具有V字状通路(99a)的2个块接头(99)之间，并支承入口侧第2开关阀(95);和带管接头(1la)的块接头(101)，其支承出口侧第I开关阀(97)的出口侧端部。
[0007]配置于2个块接头(99)之间且支承入口侧第2开关阀(95)的块接头(100)以及支承出口侧第I开关阀(97)的出口侧端部的块接头(101)，跨越多条管路的全体地设置(有时称为集成块接头)，除此之外的块接头(99)，按各管路而使用独立的部件。集成块接头(100)通常作为吹扫气体管路使用，集成块接头(101)作为工艺气体管路及吹扫气体管路使用。
[0008]在先技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本特开2002-349797号公报发明概要
[0011]根据上述以往的流体控制装置，具有V字状通路(99a)的块接头(99)由于将相邻的流体控制设备(91) (92) (93) (94) (95) (96b) (96c) (97)连接，所以存在数量增多的问题。另外，跨越多条管路的全体地设置的集成块接头(100) (101)，根据列数而设定其大小，在列数增减时，存在需要变更集成块接头(100) (101)的问题。此外，下层的块接头(99)与上层的流体控制设备(91) (92) (93) (94) (95) (96b) (96c) (97)的连接，需要经由密封部进行，也存在密封部增多的问题。因此，在以往的流体控制装置中，存在部件数量增多、另外进行增减列数等变更时需要很多工作量的问题。
[0012]本发明的目的在于提供一种能够削减部件数量、且能够容易地进行增减列数等变更的流体控制装置。
[0013]本发明的流体控制装置具备:上层，其通过将多个流体控制设备呈串联状地配置而成的I列呈并联状地配置至少3列而形成；和下层，其具有用于将上层的多个流体控制设备连接的多个通路块，该流体控制装置的特征在于，作为下层的通路块而具有跨越多列地配置的至少I个多列用通路块，多列用通路块跨越上层的全部列中的一部分的至少2列地支承至少2个流体控制设备，在多列用通路块内设有:纵向通路，其用于将呈串联状地排列的流体控制设备的通路彼此连通；和横向通路，其用于将相邻列的流体控制设备的通路彼此连通。
[0014]上层的I列例如包括:成为主要构成要素的流量控制器；配置在流量控制器的入口侧的2个开关阀；和配置在流量控制器的出口侧的I个开关阀。在上层可以根据需要追加过滤器、压力调节器等。作为流量控制器，可使用像质量流量控制器那样的热式质量流量控制器或被称为FCS的压力式流量控制器等。
[0015]多列用通路块例如为2列用、3列用、4列用、5列用等，可以为其中的I种，也可以使用2种以上。
[0016]通过使用多列用通路块，能够削减下层所需的通路块数量(部件数量)。
[0017]“跨越上层的全部列中的一部分的至少2列地”是指，例如在上层是6列的情况下，并不使用6列用的多列用通路块，而是使用3个2列用、3列用2个、或者2列用和4列用各
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[0018]以往，跨越多列地使用的通路块(即集成块接头)，跨越全部列地配置，因此根据列数而设定其大小。因此，例如，在列数增减时(例如从6列变更为8列时)，需要变更集成块接头。在本发明的流体控制装置中，对于上述的例子，现有的6列(3个2列用，2个3列用，或者2列用和4列用各I个)能够保持现状，并使用2列用的多列用通路块来形成新的2列。因此，减少了变更的工作量。
[0019]另外，通过使用多列用通路块，能够在多列用通路块内进行相邻列之间的连接，因此能够减少密封部的数量。
[0020]优选的是，作为下层的通路块，还具有单列用通路块，该单列用通路块仅支承I列量的多列用通路块所支承的至少2个上层构件进行支承，并用至少I个多列用通路块及至少I个单列用通路块。
[0021]通过进行并用，能够实现各种组合，能够容易地应对列数和配置等的要求规格。另夕卜，对于应对列数仅增加I列的情况，通过多列用通路块的组合也能够进行应对，但该情况下需要将现有部分拆下一部分，通过使用I个单列用通路块，能够保留现有部分地进行应对。
[0022]另外，优选的是，在相邻列的通路块的上表面开口的通路彼此通过倒U字状配管而连接。
[0023]通过使用倒U字状配管，并用多列用通路块及单列用通路块时的列数设定变得容易，另外，也能够容易地进行列数的增减。
[0024]优选的是，作为上层的流体控制设备，具有在流量控制器主体的入口侧及出口侧设有伸出部的、用于控制流量的流量控制器，使用两种多列用通路块，第I多列用通路块所支承的至少2个流体控制设备是流量控制器的入口侧伸出部及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀，第2多列用通路块所支承的至少2个流体控制设备是流量控制器的出口侧伸出部及与其呈串联状地配置的I个出口侧开关阀。
[0025]在流体控制装置中，流量控制器和在其出入口设置的开关阀为基本的构成，通过使用多列用通路块来减少该部分的部件数量，能够大幅削减流体控制装置整体的部件数量。
[0026]作为下层的通路块，以往，为了进行串联连接而使用具有V字状通路的通路块，既可以使用这种具有V字状通路的通路块，也可以不使用。
[0027]此外，在本说明书中，上下是指图1的上下，但该上下是为了方便而设定的，本发明的流体控制装置也能够使用于水平及垂直的任一情况。
[0028]发明效果
[0029]根据本发明的流体控制装置，通过使用跨越上层的全部列中的一部分的至少2列地支承至少2个流体控制设备的多列用通路块，能够削减部件数量。另外，通过在多列用通路块内设置用于将相邻列的流体控制设备的通路彼此连通的横向通路，能够在多列用通路块内进行相邻列之间的连接，从而能够减少密封部的数量。另外，与使用跨越全部列地配置的以往的通路块的装置相比，能够减少列数增减时变更的工作量。
【附图说明】
[0030]图1是表示本发明的流体控制装置的一个实施方式的侧视图。
[0031]图2是表示本发明的流体控制装置的其他实施方式的侧视图。
[0032]图3是将本发明的流体控制装置中使用的第I多列用通路块的一个实施方式与入口侧开关阀一同表不的图，(a)为侧视图，(b)为俯视图。
[0033]图4是表示从图3中除去入口侧开关阀后的第I多列用通路块的图，(a)为侧视图，(b)为俯视图。
[0034]图5是将本发明的流体控制装置中使用的第2多列用通路块的一个实施方式与出口侧开关阀一同表不的图，(a)为侧视图，(b)为俯视图。
[0035]图6是表示从图5中除去出口侧开关阀后的第2多列用通路块的图，(a)为侧视图，(b)为俯视图。
[0036]图7是将本发明的流