专利名称：轨迹测定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及关于轨迹(trace)测定装置中的探针的形状。
背景技术：
在液晶显示装置等的电路的检查中，利用轨迹测定装置的滑动接触进行检查。
轨迹测定装置具有与测定对象物接触的探针，一边使此探针与对象物接触，在预定的方向上移动探针，以进行检查。在电路的检查的场合，一般是在横跨电路的方向上滑动探针。探针与测定对象物接触的顶端为直径数微米的球。
然而，在现有的装置的场合中，因为探针顶端为球，与测定对象物的接触为点接触，因此对于对象物的荷重变大，而产生使测定对象物伤害等的问题。特别是在彩色液晶的基板的场合，其表面膜柔软，此问题较为严重。
发明内容
为此，目前的现状中，为了减轻探针对测定物的接触荷重、且维持真正的接触，对探针保持机构的改进，但并没有针对探针本身作任何的改善。
本发明的目的是为了解决上述现有技术中的存在的问题。
为了实现上述目的，在本发明的轨迹测定装置中，探针与测定对象物接触，且相对于测定对象物相对移动，在测定对象物上滑动接触以进行测定，特征在于上述探针在与测定对象物的轨迹方向的大致正交的方向上线性接触。
根据上述结构，可使探针与测定对象物的接触面积变大，因此使对象物上的荷重大幅减轻，可回避因探针而伤害对象物的危险。又，因为在与轨迹方向正交的方向上的接触面积扩大，而在轨迹方向上的接触面积不扩大，复数的探针可与以前相同的间距在轨迹方向上排列多个探针，可维持在与以前相同的短间距测定，而达到不缩短探针寿命的效果。
上述线接触可为直线形的线接触，也可为曲线形的线接触。
为了得到直线形的线接触，探针的剖面形状做成方形状，在该方形的一边，可与对象物构成线接触。而且，为了得到曲线形的线接触，探针的剖面形状做成具有圆弧的边的方式的结构，在该圆弧的边，可与对象物构成线接触。
图1是表示本发明的一实施例的概略图；图2是表示本发明的另一实施例的概略图；图3是表示本发明的一实施例的动作的说明图；图4是表示本发明的一实施例的动作的说明图；图5是表示本发明的一实施例的动作的说明图；图6是表示的一例子的说明图；以及图7是表示本发明的测定装置的探针支持机构的一例子的侧面图。
具体实施例方式
以下根据
本发明的实施例。
最初表示轨迹测定装置的探针支持机构的一例。图7为本案申请人所提案的日本特开平8-220136号申请，在此支持机构中，探针1由保持部50所保持，保持部50受支轴51支持，由压力调整用弹簧52来调整对于测定对象物的接触压。
又，支持机构并不限定于图7。
图1表示本发明的探针1的一个实施例，探针1的整体做成方棒状，其顶端的端面10为长方形，其一边作为直线形接触边11。直线形接触边11的方形部形成R，较佳为圆形。由此直线形接触边11进行直线形的线接触。
图2表示另一实施例，该探针2的整体为圆柱纵向切割的形状，其顶端的端面12具有圆弧边。其圆弧边作为圆弧形接触边13使用。由此圆弧状接触边13得到圆弧状的线接触。
上述探针1、2系，例如，如第7图所示的保持部50所保持，如第3图所示，在轨迹方向M以45°的程度倾斜，与电路图型40接触，在轨迹方向M上移动，进行电路图型40的测定。
探针1、2通常利用两个，分别在轨迹方向M上与邻接的电路图型40、40接触，由此结构，可检测出电路图型40、40的短路。
如图4所示，因为探针1、2与电路图型40线接触，接触荷重大幅减少至1/25的程度，减少损伤电路图型40的危险。
而且，在轨迹方向M上，接触面积未扩大，如图5和图6所示，顶端可检查的间距可被维持在与以往的球状探针60相同的间距，即使有摩耗，也与以往相同。
如以上说明的那样，根据本发明的轨迹测定装置，可使探针与测定对象物的接触面积变大，而使对象物上的荷重大幅减轻，可回避因探针而伤害对象物的危险。又，因为在与轨迹方向正交的方向上的接触面积扩大，而在轨迹方向上的接触面积不扩大，可维持短测定间距，且达到不缩短探针寿命的效果。
权利要求
1.一种轨迹测定装置，其探针与测定对象物接触，且相对于测定对象物相对移动，在测定对象物上滑动接触以进行测定，其中，上述探针是与测定对象物和轨迹方向大致正交的方向上线接触。
2.根据权利要求1所述的轨迹测定装置，其特征在于，上述线接触为直线形的线接触。
3.根据权利要求1所述的轨迹测定装置，其特征在于，上述线接触为曲线形的线接触。
4.根据权利要求1或2所述的轨迹测定装置，其特征在于，上述探针的剖面为方形状，在该方形的一边，与对象物线接触。
5.根据权利要求1或3所述的轨迹测定装置，其特征在于，上述探针的剖面形状具有圆弧的边，在该圆弧的边上与对象物线接触。
全文摘要
本发明提供了一种轨迹测定装置的探针，其可减轻接触荷重。探针(1)以方形状构成，其顶端的端面(10)以长方形构成，其一边作成直线形接触边(11)，且在其两端形成(R)。该直线形接触边(11)以与轨迹方向大致正交，与测定对象物接触，以扩大接触面积，且能减轻接触荷重。同时可避免增大轨迹方向的接触面积，不使测定间距增大，且不使摩耗增大。
文档编号G01R31/02GK1441254SQ0215868
公开日2003年9月10日 申请日期2002年12月18日 优先权日2002年2月28日
发明者古见忠 申请人:株式会社阿迪泰克工程